用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择制造技术

公开了检测器和检测系统。根据某些实施例，一种检测器包括衬底，该衬底包括多个感测元件，该多个感测元件包括第一感测元件(402)和第二感测元件(403)，其中至少第一感测元件形成为三角形形状。检测器可以包括切换区域(4009A)，该切换区域配置为连接第一感测元件和第二感测元件。还可以提供多个分区，该多个分区包括将第一多个感测元件连接到第一输出的第一分区和将第二多个感测元件连接到第二输出的第二分区。该多个分区可以以六边形形状来设置。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】用于大型活动区域的高速检测器的像素形状和分区形状选择相关申请的交叉引用本申请要求于2018年4月20日提交的美国申请62/660,765的优先权，其全部内容通过引用并入本文。
本文中的描述涉及检测器，并且更具体地涉及可以应用于带电粒子检测的切换检测器阵列。
技术介绍
检测器可以被用于感测物理上可观察到的现象。例如，电子显微镜可以包括检测器，该检测器收集从样品投射的带电粒子，并且输出检测信号。检测信号可以被用于重构受检样品结构的图像，并且可以被用于例如揭示样品中的缺陷。在一些应用中，区域检测器可以包括电子感测元件的像素化阵列，电子感测元件可以检测投射在其上的一个或多个电子束。检测器可以包括活动区域，在该活动区域中响应于被带电粒子撞击而生成电流。在电子感测元件的像素化阵列中，可以提供有具有分离的活动区域的离散检测元件的网格。活动区域可以被隔离区域围绕，以将一个像素与相邻像素分离。诸如在美国申请号62/555,032中讨论的检测器可以在感测元件之间设置有切换区域。在这种检测器中，可以减少死区并且可以增强检测性能。例如，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检测器，包括：/n衬底，包括多个感测元件，所述多个感测元件包括第一感测元件和第二感测元件；以及/n切换区域，被配置为连接所述第一感测元件和所述第二感测元件，其中至少所述第一感测元件被形成为三角形形状。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180420 US 62/660,7651.一种检测器，包括：
衬底，包括多个感测元件，所述多个感测元件包括第一感测元件和第二感测元件；以及
切换区域，被配置为连接所述第一感测元件和所述第二感测元件，其中至少所述第一感测元件被形成为三角形形状。


2.根据权利要求1所述的检测器，其中所述第一感测元件被配置为响应于所述第一感测元件检测到波束生成第一信号，并且所述第二感测元件被配置为响应于所述第二感测元件检测到所述波束生成第二信号。


3.根据权利要求2所述的检测器，其中所述三角形形状是等边三角形，并且所述波束是带电粒子束。


4.根据权利要求1所述的检测器，其中所述多个感测元件中的每个感测元件被形成为三角形形状。


5.根据权利要求1所述的检测器，其中所述切换区域在水平方向上设置在所述第一感测元件与所述第二感测元件之间，所述水平方向垂直于所述衬底的厚度方向。


6.根据权利要求1所述的检测器，还包括：
传感器管芯，包括所述衬底；以及
电路管芯，包括一个或多个电路。


7.根据权利要求6所述的检测器，其中所述一个或多个电路被配置为控制所述切换区域。


8.根据权利要求6所述的检测器，其中所述一个或多个电路包括多个...

【专利技术属性】
技术研发人员：王勇新，董仲华，
申请(专利权)人：ASML荷兰有限公司，
类型：发明
国别省市：荷兰;NL