株式会社日立高新技术专利技术

株式会社日立高新技术共有2469项专利

  • 提供一种不依赖于数据库的获取方法以及执行的信号处理地实现高精度的膜厚监视以及终点判定的等离子处理装置、等离子处理方法以及蚀刻处理系统。等离子处理装置(70)在蚀刻处理中测定来自处理对象晶片的晶片反射光,使用波形图案数据库(122)来根据...
  • 本发明提供一种能够以简单的手段将具备测量容器的第二部件相对于保持光检测器的第一部件拆装,以使光检测器与测量容器成为适当的位置关系的技术。发光分析用检测装置(200)具有对从成为测量对象的试样产生的光进行检测的光检测器(210),具备:圆...
  • 本发明的目的在于,在电解质浓度分析装置中检测出设置了不适当的试剂。参照图2,本发明的电解质浓度分析装置计算使用了一种离子选择性电极时的浓度已知的试样的电动势与试剂的电动势之间的第一比率,并计算使用了两种离子选择性电极时的所述试剂的电动势...
  • 本发明的目的在于提供一种在搬送机构访问消耗品保管箱的自动分析系统中,搬送机构能够准确且高效地掌握保管箱内的消耗品的状态的技术。在本发明的自动分析系统中,消耗品具有表示其属性的编码标记,保管设备具有能够从其外部观察内部的透过窗,通过经由所...
  • 为了提供能够基于在制造工序中制作的电极复合材料片的构造信息来预测完成的二次电池的性能的二次电池的品质管理系统以及二次电池的品质管理方法,采用了以下的构成。一种二次电池的品质管理系统以及二次电池的品质管理方法,所述二次电池的品质管理系统具...
  • 本发明提供一种能够在不变更产生于磁极与磁性体之间的磁吸引力的情况下容易地且在短时间内更换滑动部的检体搬送装置。检体搬送装置(501)通过作用于磁铁或磁性体(104)与磁极(107)之间的电磁力搬送配置于搬送平面(108)的上表面的检体容...
  • 本发明提供自动分析装置,其具备:向捕捉区域(14)导入包含与特定物质结合的磁性粒子(13)的试样的流路(10);向流路(10)供给试样的供给单元;捕捉磁性粒子(13)的磁铁(19);使磁铁(19)移动至捕捉区域(14)所投影的投影面的邻...
  • 本发明提供一种能够抑制线缆对机械臂的动作的制约的机器人机构。作为该方法,使用一种机器人机构,该机器人机构具有:第一机械臂,其被支承体支承,并具备关节;第二机械臂,其被所述支承体支承;前端设备,其设置在所述第一机械臂的前端部;线缆,其沿着...
  • 本发明的目的在于提供能够提升基于积累法的气体的流量测定的精度的技术。因此,本发明的真空处理装置具有:处理室,能够将内部减压;第1流量控制部,将第1处理气体控制流量地供给到处理室;第2流量控制部,将第2处理气体控制流量地供给到处理室;压力...
  • 提供一种等离子处理装置,不使微波能量因等离子生成以外而积极地损失,在宽泛的条件下生成轴对称的电场分布,能进行均匀的处理,为了提供这样的等离子处理装置,等离子处理装置具备:隔膜偏振器,其使经由环行器传播的微波向处理室传播,环行器的一方的端...
  • 本发明目的在于,提供能进行减少了作业工序的分割或评价的遗漏的作业的评价来促进作业的改善的技术。因此,本发明的作业辅助方法辅助作业者对作业对象物进行的作业,具备如下工序:将真实作业数据基于时间或位置的信息分割成包含多个工序的作业工序数据,...
  • 本发明的目的在于,提供如下技术:针对半导体制造装置的设备的随时间劣化所引起的异常,基于从装备于设备的传感器的信号波形得到的特征量趋势的变化,早期虚报少且有效率地进行诊断。因此,本发明的半导体制造装置的诊断装置具备:特征量运算部,其根据与...
  • 本发明目的在于,在用于作成学习用等的数据集的说明变量数据组的选定中,定量地评价该说明变量数据组的性质,将用于作成数据集的说明变量数据组的选定变得容易。为此,本发明的数据集作成辅助系统执行:说明变量输入处理,取得说明变量的种类和说明变量的...
  • 本发明的目的在于,提供一种能够掌握样品台的表面状态并且能够对异常的产生进行诊断的技术。因此,本发明的诊断装置的特征在于,在诊断载置有样品的样品台有无异常的诊断装置中,基于进行除电处理时的电流的过渡变化中的时间常数,来判定样品台有无异常,...
  • 本发明提供一种减少搅拌动作时产生的气溶胶对相邻的检体的污染的技术。本发明的搅拌装置的特征在于,具备:搅拌棒,其在内部具有空间,并具有与所述空间连通的通气口;以及吸气机构,其向所述空间吸引空气,通过所述吸气机构的动作,将包含在搅拌动作时产...
  • 在本公开中,目的在于,提供能在识别带电粒子束像的情况下生成确保辨识性能的识别器的构建所需的数据集的技术。为此,本发明的数据集生成装置生成进行带电粒子束像的图像辨识的识别器的学习中所用的数据集,其特征在于,以为了进行图像辨识而登记的关注区...
  • 本公开的预处理一体型电泳装置具备:预处理单元,其对生物体试样执行预处理来制备电泳用的样品;以及光学系统,其向在毛细管内被泳动分离后的所述样品照射光,检测来自所述样品的光,所述预处理一体型电泳装置具备:第一主体部和第二主体部;以及连接部件...
  • 本发明提供一种能够在清洗槽中不使分注检测体或试剂的分注管嘴上下移动地进行清洗的自动分析装置。一种自动分析装置,其具备:分注管嘴,其用于分注检测体或试剂;以及管嘴清洗槽,其对所述分注管嘴进行清洗,其特征在于,所述管嘴清洗槽具有向所述分注管...
  • 监督信息制作辅助装置具有:类别得分计算部,其针对由多个像素构成的图像,使用分割模型,按像素与类别的组合,计算表示该像素属于该类别的可靠度的类别得分;推论图像决定部,其根据所述类别得分,计算推论图像;邻接类别计算部,其受理关注类别的输入,...
  • 本发明提供一种能够准确地求出在配管中流动的液体的流量的自动分析装置。分析检体的自动分析装置的特征在于,具备:配管,其供液体流动;温度传感器,其与所述配管分离地配置,测定设置有所述配管的空间的温度;以及流量计算部,其基于基准温度时事先测定...
1 2 3 4 5 6 7 8 尾页