本发明提出了装置诊断装置、装置诊断方法、等离子处理装置以及半导体装置制造系统。具备如下要素而构成装置诊断装置：劣化度估计部，其接收装备于等离子处理装置的传感器的输出，并估计等离子处理装置的劣化度；保养作业发生概率估计部，其基于该劣化度估...

具备：流量调整部，其调整从向试样分注探针（111b）的外壁喷出清洗液的清洗喷嘴（202）喷出的清洗液量；液面检测器（210），其测定试样分注探针（111b）的静电电容；以及控制器（118），其基于在清洗试样分注探针（111b）的清洗位置...

本发明的目的在于提供等离子处理装置，能够在同一腔室内进行减少了离子向样品的流出的各向同性蚀刻和将离子向样品入射的各向异性蚀刻中的任一者。因此，本发明具备：处理室，对样品进行等离子处理；高频电源，经由配置在所述处理室的上方的电介质的第一构...

为了提供一种自动培养装置、自动培养系统以及培养方法，设为以下构成。该自动培养装置、自动培养系统以及培养方法能够与所使用的细胞培养容器、装有细胞悬浮液的容器、细胞回收容器的种类无关地进行准确的输送，并且通过不经过泵机构的驱动部而在任意的容...

本发明的目的在于提供一种能够把持形状、尺寸不同的对象物且小型的把持装置。本发明的把持装置（100）具有第一板状构件（110）、第二板状构件（120）以及第三板状构件（130），第一板状构件（110）、第二板状构件（120）以及第三板状构...

本发明的目的在于提供一种能够以紧凑的结构传送具有多样的凸部的被传送物的传送装置。因此，本发明是一种对具有从平面状的基部突出的凸部的被传送物进行传送的传送装置，包括多个夹持部，该多个夹持部按压于所述被传送物的基部表面，以对所述被传送物进行...

本发明提供一种具有检查测量模型的扫描型电子显微镜以及检查测量模型的修正方法，能够使用户认识到检查或测量结果的可靠性的降低并且能够高效地进行调整。具有检查测量模型的扫描型电子显微镜的特征在于，具备：特征量解析部，其输入要检查或测量的试样的...

具备：第一送液泵（201），其向试样用分注探针（207）输送用于清洗试样用分注探针（207）的第一清洗水；第一压力传感器（202），其设置在连接试样用分注探针（207）和第一送液泵（201）的第一清洗流路（301）中，检测第一清洗流路（...

本发明的目的在于提供一种离子传感器用电极体，其通过在不依赖于电极体和离子感应膜的材料的情况下提高接合强度，从而减少性能不佳的情况。为此，本发明所涉及的离子传感器用电极体包括：内部电极，该内部电极向离子感应膜输出电位；以及电极体，该电极体...

自动分析系统的信息处理装置根据储存在运行数据库（32）中的与自动分析装置（100）的动作有关的运行数据，来判定系统参数（31）对于自动分析装置的实际运行的适合性，当判定为系统参数不适合时，生成用于消除不适合的推荐系统参数（33）。由此，...

本发明能够抑制操作者误放入紧急检体或由此引起的检查故障发生。因此，在分析部开始分析之后向设置机构（101）追加检体容器（103）时，控制部（7）控制设置机构和分注机构（4）不执行动作。在经由接入部（104）追加了检体容器之后，在分注机构...

提供一种液相色谱装置，将由装置的故障等引起的突发停止、由机会损失引起的经济的损害、利用者的损害抑制为最小限度。液相色谱装置具有：吸管（102），其吸引检体；注入器（103），其为了向吸管（102）吸引检体而使吸管（102）连通的第一配管...

本发明提供毛细管阵列电泳装置。毛细管编号n＝1，2，…，N的N根毛细管的激光照射部在同一平面上排列，在将各毛细管的激光照射强度设为L（n）、将在各毛细管内部存在等浓度的发光物质时由计算机得到的各毛细管的输出强度设为H（n）时，基于根据1...

本发明提供一种透射型衍射光栅的制造方法以及通过该制造方法得到的衍射效率高的透射型衍射光栅，即使在每个部位制作槽的宽度、槽的间隔不同的高纵横比的形状的情况下，也能够制作槽高度均匀且具有垂直的侧壁的槽形状。透射型的衍射光栅（100）具有沿一...

本发明提供一种能够提高可靠性以及保证冗余性的控制系统。一种控制系统（125），具有：控制装置（120），发送包括控制用数据的分组；控制对象装置（121），接收分组，并遵照接收到的分组进行动作；以及中继装置（123），具备多个通信端口，将...

试样的观察辅助装置具备观察位置显示部、显示处理部、代表图像登记处理部、坐标变换处理部、输入设备监视处理部以及条件控制部，上述显示处理部根据上述图像显示部的倍率被变更的情况，将上述代表图像控制为容易视觉辨认的尺寸并显示于观察位置显示部，上...

能够在更短的时间内判定自动分析装置中的分注喷嘴的清洗的状态。本发明的一个实施方式的自动分析装置具备：分注喷嘴，其吸引和排出液体；清洗部，其向分注喷嘴的外壁和内部供给清洗液；静电电容测定部，其测定分注喷嘴与基准电位部分之间的静电电容；控制...

在二次电池制造中，测量电池材料、半成品的缺陷并对缺陷状态的变化检测和成为缺陷原因的电池材料、制造工序进行排序。一种检查二次电池用部件的缺陷的缺陷检查装置，具有：异常检测部，其根据电池制造工序中的电池材料或半成品的缺陷检测数据来检测异常，...

本发明的目的在于，提供一种能够缩短试样为全血时的测定时间的自动分析装置。本发明的自动分析装置具备：反应盘，其在1个循环中进行1次旋转和1次停止；试样分注机构，其向设置于所述反应盘的反应容器分注试样；以及控制部，所述控制部在所述试样为血细...

本发明提供一种液相色谱装置，该液相色谱装置能够确认基于分析委托计划的分析计划与将要执行的分析处理是否一致，并且即使在不一致的情况下也能够继续分析。为此，采用以下结构。一种液相色谱装置，分离部的流路中连接有多个分离柱，该液相色谱装置包括：...