中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及一种材料相变过程的成像装置和方法,其中,成像装置包括:量子级联激光器,用于在低温环境下发出成像光;耦合输出结构,用于收集所述成像光并进行准直;扩束装置,用于将准直后的所述成像光扩束成共焦的多束激光;透镜,用于将所述共焦的多束激...
  • 本发明涉及一种晶圆表面处理方法。本发明通过控制处理过程中各个阶段的气体配置以及相应的升温退火和降温氧化减薄过程,使最终晶圆表面粗糙度小于5A,有效减少了最终处理工艺成本,具有良好的应用前景。具有良好的应用前景。具有良好的应用前景。
  • 本申请公开了一种三维纳米结构制作方法,包括以下步骤:提供基底;在所述基底上设置光刻材料形成与三维纳米结构尺寸对应的薄膜;基于预先输入的三维纳米结构图形使用电子束对所述薄膜中设定的区域进行电子束三维直写曝光得到待显影三维纳米结构;对所述待...
  • 本实用新型提供一种用于采样与检测的液滴式微流控采样针,微流控针头包括:微流控芯片和其前端的针头;微流控芯片包括进样口、出样口、油相输入口及与其对应连通的进样、出样及油相微流控通道和设置于出样微流控通道上的检测区,进样微流控通道与油相微流...
  • 本发明公开一种地平面识别方法及装置,包括:对当前周期的左右目原始图像预处理得到第一稠密视差图;获取当前周期位姿参数;根据所述当前位姿参数对待旋转图像和所述第一稠密视差图仿射变换得到已旋转图像和第二稠密视差图,所述待旋转图像为预先设定的左...
  • 本发明涉及一种低功耗周期脉冲产生电路,包括:开关电路、第一节点和第二节点,所述开关电路通过所述第一节点分别与充放电电路和电位上升电路相连;所述第二节点与缓冲电路相连,所述缓冲电路的输出端通过反相电路与所述开关电路的控制端相连;所述电位上...
  • 本发明提供一种多级信号选择电路、时序调整系统及方法,包括:多级信号选择模块,对输入信号进行多级延迟,输出多级延迟信号;选通模块,基于控制信号选择对应的延迟信号输出;时序调整电路,基于多级信号选择电路输出的时钟信号对超导控制信号进行采样,...
  • 本申请涉及有机荧光材料的技术领域,特别是涉及一种荧光化合物、其应用及三甲胺气体的检测方法。荧光化合物,包括:噻吩类荧光基团,其结构通式如(Ⅰ)或(Ⅱ)所示:其中,R1、R2、R3、R4、R5、R6、R7和R8为烷基取代基;荧光化合物与三...
  • 本发明提供一种带移动保温的单晶生长设备及方法。设备包括炉体、坩埚、侧加热器、底加热器、导流筒、水冷套、坩埚支撑装置、侧保温层、底保温层及保温层移动装置;侧加热器位于坩埚的周向外侧,底加热器位于坩埚的底部,导流筒自坩埚的外侧延伸到硅料的上...
  • 本发明提供一种基于NbN约瑟夫森结的超导量子比特结构及其制备方法,该超导量子比特结构包括衬底、缓冲层、功能层、隔离层、第一配线部及第二配线部,其中,缓冲层位于衬底的上表面,功能层位于缓冲层的上表面且包括间隔设置的电容器、第一约瑟夫森结、...
  • 本发明提供一种面向异构场景的星间链路功率分配方法,包括:更新当前的中低轨卫星之间的星间链路增益参数;根据低轨卫星的轨道周期、归一化吞吐量分别更新剩余可见时间收敛系数和剩余可见时间惩罚系数,进而得到剩余可见时间代价惩罚函数;基于整体效用博...
  • 本发明提供一种磁场稳定系统及稳定磁场的方法,包括:三轴磁强计,探测水平方向的地球磁场;读出模块,读出三轴磁强计检测到的两路信号;总场探测模块,探测地球磁场的总场;比较模块,将总场探测模块输出的频率信号与一参考信号进行比较;反馈模块,将三...
  • 本发明提供一种基于MoN的SNS约瑟夫森结及其制备方法,该基于MoN的SNS约瑟夫森结的制备方法包括以下步骤,提供一衬底,于衬底上形成层叠的NbN底层膜、MoN势垒层及NbN顶层膜的功能材料层,其中,采用直流反应磁控溅射法形成MoN势垒...
  • 本发明提供一种具有NbN SNS约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法,该超导集成电路包括衬底、功能层、第一隔离层、第一配线部、第二配线部、第二隔离层、第一接地材料层及第二接地材料层,其中,衬底包括基底层及缓冲层,功能层位于缓冲层上表面且...
  • 本发明提供一种具有NbN SNS约瑟夫森结的超导集成电路及其制作方法,该超导集成电路包括衬底、功能层、第一隔离层、第一配线部、第二配线部、第二隔离层、第一接地层及第二接地层,其中,功能层位于衬底上表面且包括底电极、结势垒层及顶电极,第一...
  • 本发明提供一种超导电路与CMOS电路之间的跨温区互联系统、超导测试电路,超导测试电路包括CMOS电路与跨温区互联系统;跨温区互联系统包括衰减模块、放大模块和传输线链路;所述衰减模块的输入端用于连接CMOS电路,所述衰减模块的输出端用于连...
  • 本申请涉及医疗器械领域,特别是涉及一种组织良恶性快速检测活检穿刺枪,包括依次连接的手柄部、盒体和套管;手柄部、盒体和套管内设有针腔,针腔自手柄部远离盒体的一端经盒体直线延伸至套管远离盒体的一端,针腔中还设有与其相配合的穿刺针;盒体的一侧...
  • 本发明提供一种基于多圈UCA的涡旋电磁波发散角度调节方法,包括:确定多圈UCA的每一圈UCA的半径;确定遗传算法的基本参数以及优化角度集合,优化角度集合的每个元素分别表示OAM涡旋电磁波波束的一个优化发散角度;对优化角度集合中每一个优化...
  • 本发明提供一种神经网络边缘
  • 本发明提供一种神经网络在网状网络场景下的分割计算方法,包括:对网状网络划分设备层,得到设备层信息;根据设备层信息和神经网络的神经网络层信息来执行神经网络分割算法,得到满足时延需求的分割方案;根据设备层信息和满足时延需求的分割方案进行神经...