中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明涉及一种双层30度扭角石墨烯单晶晶圆的制备方法,其包括提供300
  • 本申请公开了一种声光耦合衬底、器件及器件制备方法,其中,一种声光耦合衬底,包括依次层叠设置的衬底层、介质层、声学层和光学层:衬底层的材料包括硅;介质层的材料包括二氧化硅;声学层的材料包括高质量氮化铝,高质量是指在X射线衍射测试中,晶向半...
  • 本发明涉及信息功能材料制备领域,特别涉及一种硅基碳化硅薄膜材料制备方法,包括:将第一碳化硅晶圆和第二碳化硅晶圆键合形成第一键合结构;对所述第一键合结构进行退火处理,沿所述第一碳化硅晶圆的缺陷层剥离部分所述第一碳化硅晶圆;在第一碳化硅晶圆...
  • 本申请实施例所公开的一种器件的制备方法及其结构,包括对第二衬底进行离子注入,在第二衬底的内部形成缺陷层,得到待键合结构,将待键合结构和第一衬底进行键合,得到异质衬底,将第三衬底与异质衬底进行键合,得到异质复合衬底;异质复合衬底包括待刻蚀...
  • 本申请公开一种激光器结构的制备方法及其结构,包括对第一衬底结构进行刻蚀处理,得到待制备绝缘结构的待生长区域,对绝缘结构进行刻蚀处理,得到波导结构,波导结构与第三衬底层连接设置,波导结构与第一衬底层间隔设置,且与第二衬底层间隔设置,对第二...
  • 本发明涉及脑电极技术领域,本发明公开了一种一体化脑电极结构及其制备方法。该一体化脑电极结构包括依次连接的采集电极结构、连接结构和焊盘结构,该采集电极结构能够接触头皮层,采集脑电信号;该焊盘结构与信号采集设备连接,连接结构为弯折结构,该弯...
  • 本申请涉及一种光子晶体滤波器及其制备方法。方法包括:获取目标对象图像,目标对象图像与光子晶体滤波器的滤波图案相对应;提取目标对象图像中的颜色区域分布信息;调用光子晶体单胞的结构信息与颜色间的预设关系模型,基于颜色区域分布信息,得到目标对...
  • 本实用新型提供一种核酸检测芯片,所述核酸检测芯片包括若干个反应单元,每个所述反应单元由一端至另一端依次包括连通设置的第一储液件(1)、第一被动阀(2)、第二储液件(3)、第二被动阀(4)、进样缓冲件(5)和PCR检测件(6)。本申请技术...
  • 本发明涉及一种内热式抗膨胀金属储氢装置,抗膨胀结构均匀安装在压力容器罐体的内壁以为储氢合金吸氢膨胀预留空间,换热结构安装在抗膨胀结构的内部以对吸放氢循环进行热交换,储氢合金分布在换热结构中以形成合金粉床体,导气管为中空的两端封闭管且自由...
  • 本申请涉及超导磁体冷却装置技术领域,特别是涉及一种杜瓦瓶,包括:内胆、石墨烯冷屏、外胆和冷凝管;所述内胆与所述外胆相连接形成内腔,所述石墨烯冷屏设置于所述内腔中;所述冷凝管设置于所述内胆上,所述内胆上设置有至少一个冷气排气孔,所述冷凝管...
  • 本发明提供一种应用于超导集成电路的堆栈式电连接结构及其制备方法,通过对光刻胶层进行图形化形成光刻窗口,并基于该光刻窗口形成超导连接层,然后在该超导连接层上形成上层超导金属层,实现上下两层超导金属层通过超导连接层的电性连通。由于光刻胶层是...
  • 本发明提供一种双层约瑟夫森结的超导集成电路及其制备方法,该超导集成电路包括衬底、逻辑层及信号传输层,其中,逻辑层位于衬底上方,逻辑层包括至少一用于存储和/或运算的下层约瑟夫森结;信号传输层位于逻辑层上方并与逻辑层电连接以对逻辑层的输入输...
  • 本发明提供一种深亚微米约瑟夫森隧道结及其制备方法,该结构包括:衬底;约瑟夫森隧道结,沿横向方向延伸形成于衬底的上表面,约瑟夫森隧道结自左向右包括第一电极、势垒层及第二电极;第一电极引出结构,与第一电极一体成形;第二电极引出结构,与第二电...
  • 本发明提供一种声波谐振器,所述声波谐振器包括:底电极;压电膜结构,形成于所述底电极的上方;顶电极,形成于所述压电膜结构的上方;其中,所述压电膜结构包括叠置的底层压电膜及顶层压电膜,所述底层压电膜及所述顶层压电膜均具有正面及与正面相对的反...
  • 本申请涉及信息检索领域,特别涉及一种仿生果蝇的智能识别方法、系统和计算机存储介质,仿生果蝇的智能识别方法包括:获取不同采样时间点的多组采样数据集,其中,采样数据集包括多个获取单元采集到的多个采样数据;对多组采样数据集进行响应态数据识别,...
  • 本发明提供一种高速大动态范围磁场测量系统,包括:捷变射频源,基于频率控制字产生中频信号;混频器连接中频信号及本振信号,输出射频信号;磁场检测模块,对磁场进行检测产生荧光信号及对应的数字电信号;锁相解调模块,输出荧光解调信号;闭环锁频模块...
  • 本发明提供一种MEMS光学偏转器件,包括:基座、2N个悬臂梁致动器、2N个耦合结构及反射微镜,其中N≥1;每个悬臂梁致动器包括:致动器衬底、致动结构、第一柔性结构;基座与致动器衬底固定连接;致动结构与致动器衬底连接;第一柔性结构与致动器...
  • 本申请实施例所公开的一种脑电极器件的焊接方法及脑电极器件,获取脑电信号采集器件和柔性电子电路,脑电信号采集器件具有第一待连接区域,柔性电子电路具有第二待连接区域,基于第二待连接区域对应的目标尺寸,对第一待连接区域进行植球处理,得到目标植...
  • 本发明涉及一种面向物流资源共享的末端配送人员共享方法和装置,方法包括:步骤(1):获取即将到达城市末端不同配送站点的快件信息,其中,所述不同配送站点为覆盖相同配送区域且属于不同快件物流公司的配送站点;步骤(2):统计不同配送站点的配送人...
  • 本发明涉及一种采用太赫兹光学自探测表征光频梳相干光谱的装置和方法,装置包括太赫兹量子级联激光器、IQ解调器、干涉仪、锁相放大器、拍频信号提取器、第一T型偏置器和第二T型偏置器。其中,所述待测太赫兹量子级联光频梳的出射光经过所述干涉仪发生...