中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明提供一种多功能核酸快速检测微流控系统以及应用,所述系统包括:用于高通量快速筛查待测核酸样本的阵列微腔芯片,以及用于快速定量核酸基因拷贝数的微流控液滴芯片或微流控微腔芯片,所述阵列微腔芯片、微流控液滴芯片或微流控微腔芯片共用一个快速...
  • 本实用新型涉及一种具有目标融合的复合传感器,包括震动采集模块、声响阵列模块、微光阵列模块、红外感应模块、信息处理模块和无线传输模块;信息处理模块包括电源管理器和信息处理器;震动采集模块用于采集震动信号以获取初始目标信息,电源管理器在所述...
  • 本实用新型提供一种太赫兹阵列成像装置,包括:太赫兹激光源及依次设置在光路支架上的离轴抛物面反射镜、样品板、平移台、太赫兹阵列探测器;平移台上设置有透镜,透镜在光路支架上沿竖直方向移动;太赫兹激光源输出发散的太赫兹激光;离轴抛物面反射镜将...
  • 本发明涉及一种针对泛在异构接入的边缘计算网关微服务架构,包括边缘计算网关,所述边缘计算网关搭建了微服务软件架构,采用Docker容器技术进行部署和运行;所述边缘计算网关的软件总体结构包括:协议适配层,用于对接收到的消息报文进行解析,根据...
  • 本实用新型涉及一种材料相变过程的成像装置,包括:量子级联激光器,用于在低温环境下发出成像光;耦合输出结构,用于收集所述成像光并进行准直;扩束装置,用于将准直后的所述成像光扩束成共焦的多束激光;透镜,用于将所述共焦的多束激光转变为平行光并...
  • 本实用新型涉及一种硅基耗尽型电光调制器,包括硅层(1
  • 本发明提供一种背孔式片上集成微型红外气体传感器,包括:红外探测芯片,设有红外光源、红外探测器、红外光源和红外探测器之间的透气
  • 本发明公开了一种神经信号处理方法、装置、电子设备及存储介质,方法包括:获取神经信号数据;对神经信号数据进行放电尖峰检索,得到神经元放电波形数据;对神经元放电波形数据进行分类,得到神经元放电波形分类数据;对神经元放电波形分类数据中目标通道...
  • 本发明提供一种含有交错排列椭圆微柱阵列的微色谱柱及制备方法,通过位于微沟道中的交错排列的n
  • 本发明提供一种具有高深宽比的全硅微色谱柱及其制备方法,分别在第一硅衬底及第二硅衬底中形成对应的微沟道及微流控端口,而后通过硅硅键合工艺形成具有闭合微沟道及闭合微流控端口的复合硅基底,从而形成仅具有一种硅材质的全硅微色谱柱,有利于获得均匀...
  • 本发明涉及一种电子管集成电路,包括至少一个电子管,所述电子管包括:阳极,所述阳极设有阳极支点;栅极,所述栅极的第一侧与所述阳极支点连接,所述栅极的第二侧设有栅极支点;阴极,所述阴极与所述栅极支点连接,所述阴极的靠近所述栅极的一侧设有第一...
  • 本申请公开了一种绝缘体上硅及其制备方法和半导体器件,所述方法包括以下步骤,提供外延衬底,在所述外延衬底上外延一器件层;提供支撑衬底,至少在所述支撑衬底和所述器件层之一的表面形成一绝缘层;注入离子,以在所述外延衬底中靠近所述器件层的位置形...
  • 本发明涉及一种自参考太赫兹双光梳系统,包括:第一光频梳、第二光频梳、T型偏置器和分波器;第一光频梳发出的光信号经过自由空间耦合进入第二光频梳的谐振腔中,并与第二光频梳拍频产生双光梳信号;T型偏置器用于获取由第二光频梳的自探测机制得到的双...
  • 本发明涉及一种低功耗相变存储器的制备方法。该制备方法包括:(1)在衬底上生长第一介质层,并形成圆柱状底电极;(2)在第一介质层上形成第二介质层,光刻和刻蚀形成纵向的沟槽1,(3)在沟槽1内形成“倒几字”型相变材料层,回刻蚀;(4)在形成...
  • 本发明涉及一种太赫兹双光梳光谱稳定系统,包括:光学回路,用于将第一光频梳信号和第二光频梳信号进行耦合;混频器,用于将耦合后的第一光频梳信号和第二光频梳信号进行混频,产生双光梳信号;所述混频器的本振信号端连接有多级倍频链路,所述多级倍频链...
  • 本发明提供一种胶型侧壁形貌表征方法,该方法包括:提供待测样品,待测样品包括衬底与位于衬底上方的胶层,胶层中设有图形化的开口;于待测样品的预设区域进行切割以显露特征结构的纵截面;采用图像采集装置获取特征结构的纵截面图像与表面图像;基于表面...
  • 本发明提供一种大尺寸晶圆中深能级缺陷态的检测方法,所述检测方法包括:提供待检测晶圆;于所述待检测晶圆底面刻蚀形成若干个互不连接的刻蚀区,所述待检测晶圆底面未经刻蚀的区域被所述刻蚀区间隔为若干个未刻蚀区;于所述待检测晶圆底面形成底面金属层...
  • 本发明涉及一种递进式双通道红外气体传感器,包括从上至下依次层叠的反光罩、支撑板、基座和ASIC芯片;反光罩上设有反射腔和若干透气孔;支撑板上设有第一通孔和第二通孔,其内分别嵌设有第一滤光片和两第二滤光片;基座的顶面设有红外光源和两红外探...
  • 本发明提供一种约瑟夫测量系统和测量方法,包括励磁线圈、样品超导环路和超导探测器结构;励磁线圈接入励磁电流并产生励磁磁通,样品超导环路根据所述励磁磁通产生所述样品约瑟夫森结两端之间的相位和样品超导环路的超导电流;超导探测器结构根据所述超导...
  • 本发明涉及微电子技术领域,本发明公开了一种高频声波谐振器及应用其的滤波器。该高频声波谐振器包括由下至上依次层叠的支撑衬底、底电极、压电薄膜和叉指换能器;该叉指换能器包括第一汇流条和多个间隔设置的第一电极;该多个第一电极的同一侧与该第一汇...