中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明提供一种异质键合结构及制备方法,通过对异质衬底进行离子注入与退火,在异质衬底中形成结构松散层,以容纳亲水性键合过程中界面处产生的水汽,以及离子束剥离与转移工艺中键合界面处的离子和气体分子,解决了亲水性键合过程中键合界面处水汽聚集引...
  • 本发明涉及一种原位监测核酸扩增过程的装置及方法,装置包括堆叠设置的加热板和微反应板,所述微反应板包括具有开口的空腔及连通所述空腔的进液口和出液口,所述空腔内设置有至少一个测试传感器,所述加热板遮蔽所述开口。本发明的原位监测核酸扩增过程的...
  • 本发明涉及一种原位监测PCR反应过程的装置及方法,装置包括依次连通的进样池、蠕动泵、微反应管道、多个串联的微反应腔和废液池,所述微反应管道的下方设置有加热装置,每个微反应腔内设置有一测试传感器。本发明的原位监测PCR反应过程的装置及方法...
  • 本发明公开了一种碳氮荧光量子点肿瘤细胞检测试剂盒及其使用方法,其特征在于,包括A液和B液;其中,所述A液是碳氮荧光量子点溶液,所述B液是缓冲液;所述碳氮荧光量子点溶液由碳氮荧光量子点和溶剂组成。其使用流程,至少包括以下步骤:步骤S10、...
  • 本发明提供一种用于采样与检测的液滴式微流控采样针及其制备方法,微流控针头包括:微流控芯片和其前端的针头;微流控芯片包括进样口、出样口、油相输入口及与其对应连通的进样、出样及油相微流控通道和设置于出样微流控通道上的检测区,进样微流控通道与...
  • 本发明提供一种基于偏振分束器与光电探测器的8通道结构及制作方法,本发明将光电探测器与偏振分束器进行有效的结合形成8通道结构,降低了系统的偏振灵敏度,同时保持较低的损耗。8通道的设计,有效地提高了系统的带宽,满足大量数据传输的需求。本发明...
  • 本发明涉及一种基于热释电红外信号的人员移动方向判断方法,包括:步骤(1):通过PIR传感器获取红外信号;步骤(2):判断所述红外信号是否存在人员活动;步骤(3):当存在人员活动时,根据所述红外信号判断人员活动的移动方向。本发明不仅能够检...
  • 本发明涉及一种基于尺寸匹配的生物芯片及其检测方法,所述生物芯片为根据检测需求,由数个零维传感器、一维传感器或二维传感器中的一种或几种组成的多维度传感器。本发明利用与待测物尺寸相匹配的多维度传感器进行检测,得到的检测结果具有高灵敏度;使用...
  • 本发明提供一种自动化核酸提取纯化装置,该装置包括:核酸提取纯化转盘芯片及电磁单元。该装置通过将核酸提取纯化室和扩增试剂存储室集成一体化,并通过电磁单元提供的电磁场及转盘提供的离心力驱动将核酸提取纯化及与核酸扩增试剂的混合分配结合起来,在...
  • 本发明提供一种90
  • 本发明提供一种湿法蚀刻设备及湿法蚀刻方法,湿法蚀刻设备包括蚀刻腔室及吸附模块,吸附模块的一端与蚀刻腔室的排液口相连通和/或吸附模块设置于蚀刻腔室内,蚀刻腔室用于基板上氧化硅、硅或氮化硅的湿法蚀刻,吸附模块设置有用于吸附蚀刻产物硅化合物的...
  • 本发明提供一种涡流干扰补偿方法及装置,包括:将感应模块放置于标定模块的中心位置上;标定模块对感应模块分别施加单方向均匀磁场;感应模块基于每一个采样频率获取对应的磁场信号及磁梯度信号;以每一个采样频率对应的磁场信号的相位作为初始相位,经分...
  • 本发明涉及一种磁场探测器及其制备方法,磁场探测器包括衬底以及设置在所述衬底上的栅极和至少一对源极和漏极,所述源极和所述漏极之间形成导电沟道,所述导电沟道为石墨烯,所述导电沟道上覆盖有蛋白膜保护层,所述蛋白膜保护层上连接有磁感应蛋白。本发...
  • 本发明提供一种集成微电极阵列的器官芯片,包括微电极层和微流控芯片层;微电极层包括透明基底和附着于其上表面的阵列微电极,每组微电极包括一组叉指结构,叉指结构与两条微引线相连,且每条微引线与引脚相连;微流控芯片层包括进样口、多个细胞培养孔、...
  • 本发明涉及一种用于复合传感器系统的无线网络架构,包括中继传输节点、中继传感器节点、普通传感器节点和一个中心汇聚节点,且所述中继传输节点、中继传感器节点、普通传感器节点和一个中心汇聚节点构成树状结构;所述中心汇聚节点,用于负责网络内的数据...
  • 本发明涉及一种基于迭代学习的半监督人眼多要素分割方法,包括以下步骤:将可见光下眼部数据集划分为有标签眼部数据集和无标签眼部数据集;基于有标签眼部数据集利用有监督深度学习网络进行训练,得到预训练模型;基于预训练模型通过前向推理获取无标签眼...
  • 本发明提供一种基于传感器邻居信息的信息处理方法、系统、介质及传感器节点,所述信息处理方法包括:获取传感器节点以低频模式采集的第一感知数据;所述传感器节点包括中心节点和/或邻居节点;根据第一感知数据,进行粗判决,以判断是否需切换至高频模式...
  • 本发明提供一种低应力氮化铝压电薄膜的生长方法,所述生长方法至少包括:1)提供硅衬底,图形化刻蚀所述硅衬底;2)进行第一次热处理,所述刻蚀形成的刻蚀孔的上表面逐渐闭合,在所述硅衬底中形成分立的空腔结构;3)进行第二次热处理,分立的所述空腔...
  • 本发明提供一种调控德拜长度实现复杂环境高灵敏生化检测的方法,包括:对复杂样本进行稀释,得到多个浓度的目标溶液;将复杂样本以及稀释后的目标溶液通过纳米传感器阵列;通过纳米传感器的检测灵敏度确定合适的稀释倍数和探针的类型,随后根据确定的稀释...
  • 本发明提供一种夹层式片上集成微型红外气体传感器,包括:微型功能盖,设有红外光源和透气孔;微型探测处理芯片,设有红外探测器、电源模块、信号处理模块和数字逻辑单元;以及夹设于这两者之间的微型光学结构,微型光学结构和微型功能盖共同限定一光学气...