中国科学院上海微系统与信息技术研究所专利技术

中国科学院上海微系统与信息技术研究所共有5030项专利

  • 本发明提供一种超导电路基板结构及其制备方法,包括以下步骤:提供一包括相对设置的第一面及第二面的硅基板,形成贯穿硅基板且开口位于第一面及第二面上的贯穿孔,自第一面与第二面中至少一面扩大贯穿孔的开口以得到内壁倾斜的通孔;形成覆盖通孔内壁及第...
  • 本发明涉及一种半导体外延层电阻率的测量方法,包括以下步骤:获取待测外延片各个外延层的电阻率;根据所述待测外延片第一外延层的电阻率计算所述第一外延层的耗尽区厚度,所述第一外延层为最靠近衬底的外延层;利用所述第一外延层的耗尽区厚度对所述待测...
  • 本发明涉及一种有机场效应晶体管的制备方法,其包括提供金属图案化结构,其中,在衬底上制备光刻胶,通过一次图案化曝光和二次泛曝光使得光刻胶的部分区域被除去以得到电极支撑结构光刻胶,该电极支撑结构光刻胶为具有负倾角的图案化结构,然后通过单步金...
  • 本发明涉及一种启动控制装置,包括:电源模块,用来为负载提供第一启动电能;辅助模块,用来检测所述电源模块的供电状态,当电源模块正常供电时利用所述第一启动电能进行储能,当检测到所述电源模块停止供电时,在第一预设时间后释放储存的电能从而为所述...
  • 本申请涉及半导体光电技术领域,尤其涉及一种模式交叉抑制的集成光子芯片、制备方法器件及设备。该模式交叉抑制的集成光子芯片,包括:支撑衬底和设置在支撑衬底上的钽酸锂器件层;钽酸锂器件层的材质为X切型的钽酸锂;钽酸锂器件层中形成有光传输波导,...
  • 本发明提供一种低温串联超导量子干涉器件阵列微波放大器及其制备方法,该微波放大器包括:输入阻抗匹配网络、超导量子干涉器件阵列、输入终端匹配电阻及输出阻抗匹配网络,其中输入阻抗匹配网络的输入端与信号输入外电路电连接;超导量子干涉器件阵列包括...
  • 本发明提供一种基于高k介质的碳化硅沟槽型MOSFET及其制作方法,包括:提供一衬底,其上表面形成有外延层;形成P阱于外延层的上表层;形成位于P阱的上表层的N型源区及至少一部分位于P阱中并与N型源区在水平方向上邻接的P型体接触区;形成沟槽...
  • 本发明涉及一种高精确度3D结构复合材料数字PCR芯片及其制备方法,所述数字PCR芯片由下至上包括基底(1)、进样流道(2)、微腔阵列(4)和透气阻水薄膜(5);所述微腔阵列(4)垂直于所述进样流道(2)排布;所述进样流道(2)和所述微腔...
  • 本发明涉及一种抠图方法及装置。其中,方法包括以下步骤:获取目标图像的mask图;基于所述mask图,生成所述目标图像的初始alpha图;对所述初始alpha图进行上采样操作;根据上采样操作后的所述初始alpha图中各像素点的alpha值...
  • 本发明提供一种碳化硅MOSFET器件的制备方法,提供一中间结构,所述中间结构包括碳化硅衬底及位于所述碳化硅衬底上表面的外延层;采用等离子体氮化处理工艺钝化所述外延层的上表面形成钝化层;采用低温沉积工艺于所述钝化层的上表面形成氧化层,并采...
  • 本发明涉及半导体光电技术领域,特别涉及一种集成光子芯片及其制备方法。本申请实施例提供的集成光子芯片具有同一支撑衬底,还包括位于所述支撑衬底上的钽酸锂光子系统,所述钽酸锂光子系统包括光传输波导;位于所述钽酸锂光子系统上的电互联系统,所述电...
  • 本发明提供一种基于分布式压力传感器提取步态参数的方法及装置,方法包括:将若干个传感器沿预定方向依次排布,传感器包括若干个呈阵列排布的感应点,各感应点对应不同的位置坐标;被试者沿预定方向依次踩在各传感器上通过,获取各传感器中各感应点的压力...
  • 本发明提供一种基于碳化硅的富碳P型欧姆接触结构及其制作方法,包括以下步骤:提供一P型碳化硅衬底;形成富碳结构于所述P型碳化硅衬底的上表面;形成金属层于所述P型碳化硅衬底的上表面,所述金属层覆盖所述富碳结构;进行退火以使所述金属层与富碳结...
  • 本发明提供一种步态分析系统及步态分析方法,包括:M个压力传感器、N个选择模块以及处理模块;M为大于等于3的整数;N=3、4、…、M;处理模块接收采集指令,基于采集指令生成采集信号至选择模块,以及,接收选择模块传输的压力数据;M个压力传感...
  • 本发明涉及一种车载监测系统实时故障定位方法及系统。其中,故障定位方法包括以下步骤:采集监测数据;获取TCMS报文,提取所述TCMS报文的编码时间和TCMS数据;根据所述编码时间计算监测系统与TCMS系统的时间差;判断所述时间差是否小于设...
  • 本发明涉及信息功能材料与器件制备领域,特别涉及一种异质集成光学芯片及其制备方法。方法包括获取带有缺陷层的单晶硅晶片和绝缘体上钽酸锂晶片,将单晶硅晶片与绝缘体上钽酸锂晶片进行键合,得到第一异质键合结构;沿缺陷层剥离部分单晶硅晶片,得到第二...
  • 本申请提供一种电光调制器,具体涉及半导体光电技术领域,该电光调制器包括:基底,所述基底包括异质衬底和形成在所述异质衬底上的钽酸锂波导层;所述钽酸锂波导层包括多个钽酸锂波导;位于所述钽酸锂波导层上的波导保护层;所述波导保护层覆盖所述基底;...
  • 本发明涉及一种智能反射面辅助的双功能骨干节点物联网资源分配方法,包括:构建资源分配的优化模型,其优化目标为最大化非法节点的波束增益,优化参数为成员节点的预编码矩阵、骨干节点的感知目标雷达波形的功率协方差矩阵和智能反射面的相移矩阵,约束条...
  • 本发明涉及一种融合语义的无监督深度估计与视觉里程计方法和系统,其中,方法包括:接收视频序列;将所述视频序列输入至预测模型,得到预测结果;其中,所述预测模型包括:深度估计子网络,用于估计输入的目标图像对应的深度图;位姿估计子网络,用于估计...
  • 本发明涉及一种基于无纹理加权模块的无监督视觉里程计方法和系统,其中,方法包括:接收单目视频序列;将单目视频序列输入至预测模型,得到预测结果;其中,预测模型包括:深度估计子网络,用于估计输入的目标图像对应的深度图;位姿估计子网络,用于估计...