本发明涉及半导体光电技术领域，特别涉及一种片上波导的形成方法及光子芯片。具体可以通过提供一复合衬底结构；所述复合衬底结构包括支撑衬底和位于所述支撑衬底上的波导材料层；在所述波导材料层上形成掩膜；利用干法刻蚀工艺对所述波导材料层进行刻蚀，...

本发明涉及一种基于时域估计的OFDM信号杂波抑制方法，包括以下步骤：基于参考天线接收时域信号复原基带参考信号，对基带参考信号进行再调制，获得频域参考符号和时域参考信号；对监测天线接收时域信号进行OFDM解调制操作，获得监测天线接收频域符...

本发明提供一种分步刻蚀的约瑟夫森结制备方法，至少包括：1)提供衬底，于衬底表面依次沉积第一超导材料层、势垒层、第二超导材料层；2)利用光刻和显影工艺，在第二超导材料层表面形成第一光刻胶图形，将第一光刻胶图形作为掩模，刻蚀部分第二超导材料...

本发明提供一种超导电路以及超导芯片检测系统，包括：偏置电流输入输出模块以及超导功能器件模块；超导功能器件模块包括M个位于不同电流域的功能单元；各功能单元均有i对电流端口；偏置电流输入输出模块中包括M个供电单元；各供电单元与各功能单元一一...

本发明提供一种旁路式微热导检测器及其制备方法，在微热导检测器中设置与微沟道相连通的旁路沟道，并设置悬挂于旁路沟道中的具有热导检测元件的热导检测元件支撑结构，可避免气体直接冲击热导检测元件，从而可降低强制对流在传热机制中的占比，进而降低闭...

本发明提供一种大肠杆菌检测系统及检测方法，包括：检测单元及控制单元，检测单元中的压力泵模块用于控制采集装置以得到大肠杆菌流体，控制阀门用于控制采集装置中流体的流动参数，光源模块用于激发大肠杆菌流体的荧光反应，图像采集模块用于对大肠杆菌流...

本发明涉及生物材料加工与脑功能探测领域，尤其涉及一种蚕丝蛋白皮层电极、蚕丝蛋白电极器件及制备方法。通过基于预制的蛋白溶液，静置挥发得到蛋白膜；对蛋白膜按照目标定向结晶方向进行拉伸处理，并固定干燥预设时长，得到拉伸后的蛋白膜；获取硅基掩膜...

本发明涉及一种高容差集成可调硅光谐振器及其制备方法，所述硅光谐振器由多模干涉耦合器(1)、第一热移相器(2)、第二热移相器(3)、跑道型波导(4)和模式转换器(5)组成；所述多模干涉耦合器(1)和第一热移相器(2)组成马赫曾德尔型光开关...

本发明提供一种波导天线阵及通信模块，承载体上的波导辐射腔体平行H面对称两侧均设置波束调节结构，波束调节结构与波导辐射腔体之间存在最小距离；馈电电路板位于承载体的固定隙结构内，承载体有从波导辐射腔体底部贯穿至固定隙结构的馈电腔；固定隙结构...

本发明涉及一种硅异质结太阳电池，本征硅基薄膜钝化层覆盖在晶体硅衬底上，p型掺杂型硅基薄膜钝化层沉积在本征硅基薄膜钝化层上，本征硅基薄膜钝化层和p型掺杂型硅基薄膜钝化层之间具有隧道传输层，该隧道传输层为疏松多孔的、带隙介于1.8～2.6e...

本发明提供一种生化检测微流控芯片及其检测方法，所述生化检测微流控芯片包括玻璃载体，所述玻璃载体内形成有光传输介质和样品池；所述样品池形成有延伸至所述玻璃载体表面的进样通道和出样通道。其是使用玻璃一体化成型的微流控芯片，其能够实现核酸病毒...

本发明提供一种测试装置及测试方法，测试装置包括：线缆、测试板、芯片安装位、样品转接架、连接装置和探测杆；测试板上设置了M个内置孔，M为大于1的自然数；芯片安装位设置于测试板上，用以安装芯片；连接装置设置于测试板上，用以将测试板与样品转接...

本发明提供一种多栅指GaN HEMT器件的静态热阻提取方法，该结合二维物理仿真、三维有限元热仿真和红外热成像测试，考虑了多栅指GaN HEMT器件沟道内不均匀的热耗散功率分布以及栅指间和栅指内的电热耦合效应，最终与红外热成像结果进行对比...

本申请涉及微针制造技术领域，特别涉及一种蛋白微针的制备方法及一种蛋白微针。本申请采用图案化刻蚀法对蛋白薄膜进行刻蚀，以制备蛋白微针，具有微针边缘光滑、成品率高、加工均一性好，适用于大规模生产等优点。

本发明提供一种采用反应‑扩散机理的器件老化模型以及建模方法。所述模型包括退化阶段模型与恢复阶段模型，退化阶段模型和恢复阶段模型均分为第一周期和后续周期，第一周期的退化阶段模型采用第一时间指数描述阈值电压的变化，第一周期的恢复阶段模型采用...

本发明提供一种单沟道微热导检测器及其制备方法，在基板中集成了导电连接件，用于替代外接引线，避免了接触电阻的形成，减小了检测器的零点误差和噪声干扰；取消了参考沟道，将参考沟道的热敏电阻直接制备于基板中，避免了参考沟道中气流扰动形成的噪声，...

本发明提供一种采用电荷俘获‑释放机理的器件老化模型以及建模方法。所述采用电荷俘获‑释放机理的器件老化模型包括退化阶段模型与恢复阶段模型，退化阶段和恢复阶段模型均分为第一周期和后续周期，第一周期采用第一系列拟合参数描述阈值电压的变化，后续...

本发明涉及一种集成电容角度传感器的MEMS万向节器件及其制备方法，其中，MEMS万向节器件还包括内轴电容角度传感器、外轴电容角度传感器以及垂直隔离结构；内轴差分电容角度传感器，包括一对内轴角度传感电容；外轴差分电容角度传感器，包括一对外...

本发明提供一种核酸提取电磁控装置，所述核酸提取电磁控装置包括电磁控制件和圆柱形磁铁，所述电磁控制件包括依次上下设置的上层线圈组和下层线圈组；所述上层线圈组包括设于同一平面上的若干个呈矩阵分布的第一平面线圈；所述下层线圈组包括设于同一平面...

本发明涉及一种声表面波传感器，包括：衬底；压电薄膜，设置在所述衬底上；输入端换能器和输出端换能器，均设置在所述压电薄膜上；所述输入端换能器和输出端换能器之间形成检测区域；第一反射端，设置在所述电薄膜上，并位于所述输入端换能器形成检测区域...