本发明涉及一种高功率CO2激光器放电区域风速监测系统，属于高功率CO2激光器领域。解决现有技术中高功率CO2激光器，需要在整体激光器搭建完成后通过激光器发光状态判断放电区域气体流动是否满足激光器工作要求，造成调试周期过长的技术问题。该高...

具有降低光学元件热变形和高传输效率的碎屑抑制系统，属于半导体技术领域，为了降低次镜的热变形，并提高EUV的传输效率，碎屑阻挡罩内部具有冷却液循环运动的通道，碎屑阻挡罩沿碎屑偏转器的轴向安装在碎屑偏转器靠近光源点的位置；碎屑偏转器由外壁和...

一种光学元件表面碳污染清洗方法及装置，属于短波光学领域，为解决现有技术存在的光学元件表面的氧化，损伤光学元件表面，清洗速率较低的问题，该装置氢原子发射器、第一反射率计、分子泵、第二反射率计、射频等离子体电镜清洗仪接口安装在清洗腔外部与其...

小型无人机起落架缓冲器，涉及航空飞行器领域，解决了现有扁簧式缓冲器缓冲效率低、易反弹、无法满足无人机高可靠性要求的问题。包括外筒，外筒上的第一弹簧，带阻尼孔的内筒，外筒和内筒间的气囊，上接头，下接头，伸入内筒内部的活塞杆，依次套装在活塞...

航空相机卡塞格林主次镜支撑结构属于光学工程技术领域，目的在于解决现有技术存在的支撑结构复杂、加工装调周期长和费用高的问题。本发明的主镜座与镜筒的一端固定连接，主镜座与镜筒之间设置有主镜垫片；次镜座与连接架固定连接，次镜座与连接架之间设置...

空间光学有效载荷力扰动模拟源促动器力控制方法，属于空间光学有效载荷对空间平台微振动环境适应性测试技术领域，了解决现有技术不能有效定量模拟空间六个自由度的微振动型式的问题，该方法包括以下步骤：第一步，明确控制对象的输入输出参数，第二步，确...

遥感相机电子学响应非线性测试与判别方法及装置，涉及遥感相机电子学测试领域，解决了对遥感相机电子学响应非线性认识不清、难以判别的问题，通过绘制视频响应曲线和响应非均匀性噪声曲线，判断和区分遥感相机电子学响应中的V/Q非线性和DN/V非线性...

多波导集成谐振半导体激光器属于半导体激光芯片技术领域，目的在于解决现有技术存在的激光器模式特性差、工作不稳定、发散角大、光束质量差、亮度低等问题，并且有助于提高半导体激光的输出功率。本发明在半导体激光芯片上制作光子桥、模式稳定器和功率放...

本发明公开了一种基于拉压弹簧组的力促动器，属于精密机械装置技术领域。解决了现有技术中机械式力促动器的力输出精度不高的问题。本发明的力促进器包括壳体、电机、固定座、固定机构、滚珠丝杠、螺母、测力元件、输出轴、第一弹簧保持架、第二弹簧保持架...

本发明公开了一种旋转棱镜式多组份痕量气体浓度测量装置，属于吸收光谱法测量技术领域。解决了现有技术中测量装置成本高、测量结果不准确的问题。本发明的装置包括N个半导体激光器、N个第一折转镜、旋转台、选择棱镜、准直隔离器、模式匹配镜、反射谐振...

DMD光学系统光源位置的定位辅助装置及光源位置装调方法属于DMD系统光源位置的定位技术领域，该装置通过给DMD光学系统中的外部光源增加半反半透镜和若干圆孔遮挡板等部件使其成为光能单向输出的紫光准直光源，以作为DMD光学系统光源位置的定位...

一种旋翼型无人机自动避障装置，属于无人机领域，解决了现有避障装置存在的结构复杂、算法复杂、实时性不强的问题。包括信号处理器，接收无人机飞控系统发送的控制命令；驱动器，根据控制命令提供驱动信号；超声波发射器，接收驱动器的驱动信号，发射超声...

激光器阵列相干器及其制备方法属于激光相干耦合技术领域，目的在于解决现有技术存在的激光器阵列相干性差、稳定性差、功率低和成本高的问题。本发明由光子桥连接的二维衍射光子晶体组成的阵列，以及在最外围制备的光子反射器。激光器阵列相干器的制备方法...

本发明公开了一种EUV反射镜清洗装置，其包括H0原子发生装置（1）和真空腔室（2），在所述H0原子发生装置（1）和所述真空腔室（2）之间依次设置有相互连通的球阀（3）和导向喷射池（4）；该清洗装置相比现有的清洗装置，增设了用于H0原子浓...

一种大视场、小F数的超高分辨率紫外光谱成像仪属于成像技术领域，其依次设置第一弯月透镜、第二弯月透镜、第一双凹透镜、孔径光阑、第一双凸透镜、第二双凸透镜、双凹透镜、第三双凸透镜和第三弯月透镜；所有透镜同光轴放置，第一弯月透镜，第二弯月透镜...

新型厚层光刻胶涂覆方法，属于光刻技术领域，为解决现有技术无法进行上百微米的厚胶涂覆问题，在承载平台上安装第一调节螺丝组，调节第一调节螺丝组对承载平台调平，用第一水平检测仪检测承载平台的水平度；在承载平台上摆放光学基底承载台，光学基底承载...

采用多次间断共蒸发制备大面积高质量较厚铝膜的方法，涉及薄膜制备领域，解决了现有的厚铝成膜工艺存在的无法制备大面积铝膜的问题。该方法为：在镀膜机中，利用多个中心对称设置的电子束蒸发源同时蒸发多个坩埚中的铝料，在大面积铝膜基底上沉积铝膜；停...

适用于无人机的前轮转向机构，属于无人飞行器技术领域，为解决现有技术无法对该振动的控制测量问题，转轴与前起板簧固连；轴承座连接在安装支座上，其通过推力轴承和两个滚动轴承与转轴相连，并由压紧螺母和垫片将转轴与滚动轴承内圈压紧；圆锥销安装在转...

本发明涉及一种EUV多层膜碳污染实验装置，属于半导体技术领域。解决了现有技术中EUV多层膜碳污染实验装置只能检测单一实验结果，且实验的可靠性和对比性低的技术问题。本发明的EUV多层膜碳污染实验装置包括聚焦腔、第一闸板阀、过渡真空腔、角阀...

一种NMOS线阵图像传感器系统固定误差动态标定与校正方法属于线阵图像传感器系统的误差校正方法领域，该方法将导致NMOS线阵图像传感器及其外部读出电路的各种误差分为与积分时间成正比的变量部分和一个常量部分，并在此基础上建立系统固定误差的数...