激光器阵列相干器及其制备方法技术

激光器阵列相干器及其制备方法属于激光相干耦合技术领域，目的在于解决现有技术存在的激光器阵列相干性差、稳定性差、功率低和成本高的问题。本发明专利技术由光子桥连接的二维衍射光子晶体组成的阵列，以及在最外围制备的光子反射器。激光器阵列相干器的制备方法，首先给出部件具体位置；其次，用光刻以及刻蚀方法制备光子桥和出光面；再次，通过刻蚀或生长技术制备二维衍射光子晶体，通过刻蚀方法制作光子反射器；最后，进行化学处理、或者制作保护层、或者制备电极、或者进行二次外延继续制备激光阵列芯片。本发明专利技术可以实现激光器阵列的发光单元之间的光子相互注入，从而实现光学相干。

【技术实现步骤摘要】
【专利摘要】属于激光相干耦合
，目的在于解决现有技术存在的激光器阵列相干性差、稳定性差、功率低和成本高的问题。本专利技术由光子桥连接的二维衍射光子晶体组成的阵列，以及在最外围制备的光子反射器。激光器阵列相干器的制备方法，首先给出部件具体位置；其次，用光刻以及刻蚀方法制备光子桥和出光面；再次，通过刻蚀或生长技术制备二维衍射光子晶体，通过刻蚀方法制作光子反射器；最后，进行化学处理、或者制作保护层、或者制备电极、或者进行二次外延继续制备激光阵列芯片。本专利技术可以实现激光器阵列的发光单元之间的光子相互注入，从而实现光学相干。【专利说明】
本专利技术属于激光相干耦合
，具体涉及一种对激光器阵列中的各个出光单元进行锁相相干的。
技术介绍
激光器阵列相比于激光器单管和线阵激光器，由于可以获得较高功率，被广泛的应用于工业加工、泵浦源等领域，但是，随着科技发展，越来越多的领域对高光束质量、高亮度、窄线宽、高相干度的高功率激光的需求不断增长。 一般的激光器阵列，由于不能够实现线阵中各个出光单元间的光子相互注入，因而不存在相干性，这就导致了出射激光线宽较宽，本文档来自技高网...

【技术保护点】
激光器阵列相干器，其特征在于，包括由光子桥(1)连接的出光面(2)阵列，所述出光面(2)上制备有二维衍射光子晶体(3)，所述激光器阵列相干器在二维衍射光子晶体(3)的外围或整体的外围制备有光子反射器(4)。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈泳屹，秦莉，王立军，宁永强，刘云，佟存柱，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：吉林;22