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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
一种与偏振无关的铌酸锂光隔离器制造技术
本发明提供一种与偏振无关的铌酸锂光隔离器,包括一体成型的第一干涉臂(1)、第二干涉臂(2)、第一耦合器(3)及第二耦合器(4),第一耦合器(3)及第二耦合器(4)分别形成在第一干涉臂(1)、第二干涉臂(2)的两端,第一干涉臂(1)、第二...
基于多孔DBR的GaN基回音壁激光器、其制备方法及应用技术
一种基于多孔DBR的GaN基回音壁激光器、其制备方法及应用,该GaN基回音壁激光器包括一衬底;一缓冲层,其设置在衬底上,缓冲层的外围向下刻蚀形成一凸起部分;一多孔DBR层,其设置在所述凸起部分上,起光场限制作用;一n型掺杂GaN层,其设...
一种铌酸锂纵模光隔离器制造技术
本发明提供一种铌酸锂纵模光隔离器,包括一体成型的第一干涉臂(1)、第二干涉臂(2)、第一耦合器(3)及第二耦合器(4),第一耦合器(3)及第二耦合器(4)分别形成在第一干涉臂(1)、第二干涉臂(2)的两端,第一干涉臂(1)、第二干涉臂(...
应变锗沟道晶体管及其制备方法技术
本发明提供了一种应变锗沟道晶体管及其制备方法,其中,该应变锗沟道晶体管的制备方法包括:提供一锗衬底,在锗衬底上沉积牺牲层,并选择性刻蚀掉部分牺牲层;在刻蚀掉部分牺牲层后的锗衬底区域进行惰性气体原子掺杂并进行热退火处理;在惰性原子掺杂及退...
基于半导体光放大器的光学激活装置制造方法及图纸
本公开提供一种基于半导体光放大器的光学激活装置,包括:光功率分束器,用于接收光信号,并能够将所述光信号分束为第一光信号和第二光信号输出;光电探测器,用于接收所述第一光信号并将所述第一光信号转换成电信号输出;电放大器,用于接收所述电信号,...
基于二氧化钒的超材料太赫兹可调吸收器制造技术
本实用新型公开了一种基于二氧化钒的超材料太赫兹可调吸收器,包括多个吸收单元,每个所述吸收单元包括:图案层,包括两个垂直相交的椭圆形结构的二氧化钒层;介质层,设置在所述二氧化钒层的下方;反射层,设置在所述介质层的下方,所述反射层的厚度大于...
侧向复合光栅DFB激光器结构及应用制造技术
一种侧向复合光栅DFB激光器结构及应用,该侧向复合光栅DFB激光器结构包括N面电极层;N型波导层,设置在N面电极层上;有源层,设置在N型波导层上;P型波导层,设置在有源层上,包括未刻蚀P型波导层、脊波导和高阶表面侧向光栅,脊波导和高阶表...
脉冲激光清洗方法技术
本公开提供一种脉冲激光清洗方法,包括分别对第一电机和第二电机施加第一周期信号和第二周期信号,以驱动第一振镜和第二振镜进行第一方向和第二方向扫描;第一周期信号周期为第二周期信号周期的两倍,在第二周期信号一个周期内,第一周期信号与第二周期信...
侧栅晶体管太赫兹探测器及其制备方法技术
本发明公开了一种侧栅晶体管太赫兹探测器的制备方法及其侧栅晶体管太赫兹探测器,其中,该方法包括:在衬底上制作源电极和漏电极;在衬底和源电极、漏电极上旋涂抗蚀剂,并利用曝光技术去除掉部分抗蚀剂,露出部分衬底,形成台面抗蚀剂掩膜;根据台面抗蚀...
一种光通信识别装置制造方法及图纸
本发明涉及一种光通信识别装置,包括发射方识别装置和接收方识别装置;发射方识别装置和接收方识别装置分别包括:发射模块、接收模块、信息展示模块以及数据处理及控制模块;其中接收模块,用于单向接收或广角接收初始被识别者信息光信号,将初始被识别者...
电吸收调制激光器的制作方法技术
本发明提供了一种电吸收调制激光器的制作方法,包括:在同一衬底上依次生长缓冲层和有源层,有源层包括第一有源层、作为激光器区有源层的第二有源层和作为波长稳定区有源层的第三有源层;刻蚀掉第一有源层,并对接生长调制器区有源层;在作为激光器区有源...
电吸收调制激光器各功能区电隔离的实现方法技术
本发明公开了一种电吸收调制激光器各功能区电隔离的实现方法,包括:在衬底表面上依次生长缓冲层和有源层,其中,有源层包括第一有源层和作为激光器区有源层的第二有源层;刻蚀掉第一有源层,并对接生长调制器区有源层;在作为激光器区有源层的第二有源层...
GeSn/钙钛矿异质结宽光谱探测器及其制作方法技术
一种GeSn/钙钛矿异质结宽光谱探测器及其制作方法,该GeSn/钙钛矿异质结宽光谱探测器包括:衬底;GeSn层,形成于所述底的一表面;钙钛矿层,形成于所述GeSn上;下电极,形成于所述衬底的另一表面;上电极,形成于所述钙钛矿层上。本发明...
分子束外延兼容的二维材料衬底的制备方法技术
一种分子束外延兼容的二维材料衬底的制备方法,该制备方法包括制备第一过渡转移片;将二维材料放置在两个第一过渡转移片中间,其中,两个第一过渡转移片的金属薄膜层均与二维材料接触;加热第一过渡转移片,使部分二维材料融化嵌入金属薄膜层中,冷却后将...
利用DLTS研究碳化硅MOS界面态的制样及优化方法技术
一种利用DLTS研究碳化硅MOS界面态的制样及优化方法,其中样品制备方法包括如下步骤:高温氧化;金属淀积;欧姆接触退火;第一版光刻形成肖特基电极开孔;第二版光刻形成肖特基结构开孔及MOS结构开孔;正面金属淀积;金属剥离。采用此方法可以解...
激光照明装置制造方法及图纸
本发明公开了一种激光照明装置,包括:荧光材料层、激光光源、散热结构;其中,该激光光源,用于向荧光材料层发射激光;散热结构,包括导热单元和散热单元,其中,导热单元用于对荧光材料层进行导热,散热单元用于对导热单元进行散热。本发明提供的激光照...
紫外光通信设备和紫外光通信的方法技术
本发明公开了一种紫外光通信设备和紫外光通信的方法,其中,紫外光通信设备,包括:控制和数据处理模块、调试发射模块、探测接收模块、音频模块和人机界面模块;其中控制和数据处理模块,用于将来自探测接收模块的输入数字电信号进行解码处理后,获得输出...
一种无需外部磁场的自旋轨道矩存储单元制造技术
本发明公开了一种无需外部磁场的自旋轨道矩存储单元,所述无需外部磁场辅助的自旋轨道矩。存储单元包括自旋轨道矩磁隧道结结构,该自旋轨道矩磁隧道结结构包括反铁磁绝缘层、位于所述反铁磁绝缘层上的重金属层、位于所述重金属层上的自由层、位于所述自由...
双波段双啁啾微波信号产生及传输装置及方法制造方法及图纸
一种双波段双啁啾微波信号产生及传输装置,包括:激光器,用于产生光信号;第一调制模块,用于将第一微波源发出的微波信号和任意波形发生器发出的信号调制到光信号上,产生第一调制光信号;第二调制模块,用于将第二微波源发出的微波信号和任意波形发生器...
改善大功率太赫兹半导体激光器散热的封装结构制造技术
一种改善大功率太赫兹半导体激光器散热的封装结构,该封装结构包括:热沉;第一金属层;第二金属层;次级热沉其上设有倒梯形凹槽;太赫兹半导体激光器,包括衬底;第二掺杂层;呈梯形结构的有源区;第一掺杂层,作为激光器负电极的电注入接触层;欧姆接触...
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