中国科学院半导体研究所专利技术

中国科学院半导体研究所共有5962项专利

  • 本发明提供一种在半导体ZnO上外延制备HfO2基铁电薄膜的方法及其系统,其中,该方法包括:提供HfO2基陶瓷靶材,其中,HfO2基陶瓷靶材含有掺杂元素;提供半导体ZnO衬底;对半导体ZnO衬底进行加热至预设温度,以高能粒子或高能脉冲辐射...
  • 本发明提供了一种超宽禁带二维半导体GaPS4的制备方法,将镓源,磷源和硫源混合后,采用“预生长再重结晶法”得到透明的GaPS4单晶材料。所述“预生长再重结晶法”为先通过热端高温反应,冷端回流硫磷液体生成GaPS4前驱体,再通过冷热端交换...
  • 本公开提供了一种基于半导体双模微腔激光器的混沌信号产生装置,包括:微腔激光器,用于发射激光光束;光分束器,用于将激光光束分为两束光束,第一光束从光分束器的第一输出端输出,第二光束从光分束器的第二输出端反馈至微腔激光器;其中,第二光束反馈...
  • 本发明公开了一种激射波长为852nm大功率的半导体激光器,属于半导体激光器领域,包括底板,所述底板上端靠近中间位置开设有调节槽,所述调节槽左内侧壁靠近中间位置开设有限位滑槽,所述调节槽内部设置有外壳一,所述外壳一左侧靠近底部位置设置有限...
  • 一种基于非平面结构的超宽带微波散射透波结构及制备方法,超宽带微波散射透波结构包括:非平面介质层,位于超宽带微波散射透波结构中部,包括第一介质层单元和第二介质层单元;第一导电单元,设置在第一介质层单元上;第二导电单元,设置在第二介质层单元...
  • 本公开提供了一种互补势垒超晶格长波红外探测器自下而上顺次包括:衬底、缓冲层、n型InAsSb层、电子势垒层、吸收层、空穴势垒层、n型接触层和盖层;所述空穴势垒层自下而上包括:p型掺杂空穴势垒区和n型掺杂空穴势垒区;所述互补势垒超晶格长波...
  • 一种变量播种施肥方法和施肥系统及装置,该方法包括:建立土壤肥力与产量值对应关系模型;获取管控地块的土壤肥力值与产量值,并根据所述土壤肥力与产量值对应关系模型确定与所述管控地块的肥力值对应的地块生产管控模式;根据所述地块生产管控模式生成与...
  • 本公开提供了一种目标追踪方法,包括:获取多帧连续的目标图像,将各帧目标图像均进行全局二值化及扫描细化处理,得到各帧目标图像对应的二值图像,提取各二值图像中的目标区域,在目标区域中设置掩膜框,获取各帧二值图像中的目标区域的形心,以形心为初...
  • 本发明提供了一种GaSb焦平面红外探测器的制备方法及GaSb焦平面红外探测器,其中,该制备方法包括:在GaSb衬底上光刻制备对准标记,得到带有对准标记的GaSb衬底;在带有对准标记的GaSb衬底表面光刻制备焦平面阵列,并曝露焦平面阵列像...
  • 一种紧凑型窄带背景光功率计及含其的激光探测设备,紧凑型窄带背景光功率计包括:镜头和主机;其中主机包括集成在主机外壳内的探测器、前级放大器、滤波器、后级放大器、模拟数字转换器、微处理器按键、显示屏和对外串行接口;其中,主机与镜头为可拆卸连...
  • 本发明提供一种柔性电极导入装置,包括:底板,包括相互倾斜设置的第一空心柱和第二空心柱,底板用于固定并驱动导入微针和夹持工具。导入微针,包括相互连接的针柄和针尖,针柄部分贯穿第一空心柱,针尖设置于针柄裸露于第一空心柱外部的一端,针柄沿第一...
  • 本发明提供了一种基于液晶调控的垂直腔面发射激光器,所述垂直腔面发射激光器包括传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构和液晶模式调制结构,其中,传统氧化限制型垂直腔面发射激光器结构,用于发射激发模式;液晶模式调制结构,位于所述传统氧化限制型垂...
  • 本公开提出一种层间耦合器,包括:第一波导层、中包层和第二波导层。其中,第一波导层由第一波导、第一渐变型波导和第二渐变型波导依次连接构成;第一渐变型波导的宽度逐渐变窄,第二渐变型波导的宽度逐渐变宽;第二波导层由第二波导、第三渐变型波导和第...
  • 本公开提出一种多层耦合结构,包括:衬底层、包层,包层中依次层叠设有多个波导层。其中,各波导层中均设有传输波导结构和耦合波导结构,其中耦合波导结构包括两段不同的渐变型波导结构。光信号经第一波导层输入,通过倏逝波耦合的方式,通过中间各个波导...
  • 本发明提供一种圆片级纳米针尖及其制作方法,方法包括:刻蚀硅基衬底,得到第一针尖原胚,其中,第一针尖原胚的最细处尺寸为微米或者亚微米尺度;对第一针尖原胚进行第一热氧化,去除第一针尖原胚的表面缺陷,刻蚀第一热氧化后的第一针尖原胚得到第二针尖...
  • 本发明提供了一种阵列式光电探测器测试系统,包括探测器安装阵列、光照阵列、测试光源、稳压电源、AD采集模块、高压直流电源和上位机软件,其中,探测器安装阵列,包括M×N组探测器测试座,用于将多个光电探测器以阵列的方式进行安装;光照阵列,包括...
  • 本公开提出一种多层三维光连接结构,包括:层间耦合结构和交叉波导结构。其中,层间耦合结构采用倏逝波耦合的方案,利用两段曲率不同的渐变型波导,在缩短耦合尺寸的同时依然能够保证较高的耦合效率,大大缩短了芯片的面积,节省了成本;交叉波导结构采用...
  • 本公开提供一种多梁耦合的微机电谐振器,包括:谐振结构,包括多个谐振梁,且各个谐振梁顺次首尾相连耦合形成多边形环,相邻所述谐振梁耦合处设置有位移节点;电极,设置于所述谐振结构外围及所述谐振结构的内侧,通过机电转换介质层与所述谐振结构相隔;...
  • 本发明提供了一种阵列光电芯片混合封装结构,所述结构包括:激光器、调制器、高频传输线、微带电路、光纤、衬底、金丝和光子引线;其中,将所述激光器通过所述光子引线与所述调制器相连,所述光纤通过所述光子引线与所述调制器相连,所述高频传输线通过所...
  • 本发明提供了一种多参数模拟的激光目标模拟器,包括激光发射模块、激光能量控制模块、人机交互模块、控制电路模块和能量自动计算模块;其中,激光发射模块,用于在所述控制电路模块的控制下发射出能量稳定的脉冲激光作为整个系统的激光发射源;激光能量控...