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中国科学院半导体研究所专利技术
中国科学院半导体研究所共有5962项专利
电吸收调制隧穿注入式分布反馈半导体激光器的制作方法技术
本发明公开了一种电吸收调制隧穿注入式分布反馈半导体激光器的制作方法,包括如下步骤:步骤1:在n型磷化铟衬底上同一次外延中先后生长n型磷化铟缓冲层、下波导外限制层、下波导内限制层、磷化铟隧穿势垒层、多量子阱有源层和上波导限制层;步骤2:在...
基于四波混频效应的微环谐振腔结构全光逻辑与门制造技术
本发明涉及光子器件技术领域,公开了一种基于四波混频效应来提高工作速率的微环谐振腔结构全光逻辑与门。两束经过调制的泵浦光经过纳米线波导耦合进微环谐振腔并发生四波混频效应,产生新波长的卫星光。通过对卫星光的探测可以找出其与这两束泵浦光光功率...
一种制备n型掺杂的立方氮化硼薄膜的方法技术
本发明公开了一种制备n型掺杂的立方氮化硼薄膜的方法,该方法包括;选用Si(001)单晶作为衬底;用B靶作为立方氮化硼薄膜沉积的溅射靶,在该B靶上覆盖有一位置可调的Si靶作为Si掺杂立方氮化硼薄膜生长的掺杂源;采用两个考夫曼宽束离子源沉积...
纳流体测试器件的制备方法技术
一种纳流体测试器件的制备方法,包括:在衬底上生长一层电热绝缘材料层和基底材料层;去除基底材料层的四边,形成图形作为制备侧墙的基底;在该电热绝缘材料层的上面和基底材料层的表面及侧面淀积侧墙材料层;去除基底材料层上表面的和电热绝缘材料层表面...
Ⅲ-氮化物半导体材料pn结的制作方法技术
一种III-氮化物半导体材料pn结的制作方法,包括如下步骤:步骤1:在一衬底上生长p型GaN基材料;步骤2:在p型GaN基材料上面外延非掺杂GaN基材料;步骤3:在非掺杂的GaN基材料上生长非掺杂薄层;步骤4:在非掺杂薄层上生长n型Ga...
锑化物高电子迁移率晶体管及其制造方法技术
本发明公开了一种锑化物高电子迁移率晶体管,包括:一衬底;一复合缓冲层,该复合缓冲层生长在衬底上;一锑化物下势垒层,该锑化物下势垒层生长在复合缓冲层上;一沟道层,该沟道层生长在锑化物下势垒层上;一锑化物隔离层,该锑化物隔离层生长在沟道层上...
一种提高光栅外腔激光器光学质量的方法技术
本发明公开了一种提高光栅外腔激光器光学质量的方法,该方法是在现有光路(2)中安装一光阑(1),进而提高光栅外腔激光器的光学质量,特别是减小光谱线宽。本发明提供的这种提高光栅外腔激光器光学质量、特别是减小光谱线宽的方法,简单、有效,具有较...
光栅耦合表面发射的超辐射发光二极管结构制造技术
本发明公开了一种光栅耦合表面发射的超辐射发光二极管结构,该结构的中心区域为有源区,有源区周边为环绕光栅,环绕光栅为无源区。在该结构的有源区注以电流,使有源区产生超辐射光,作为无源区的环绕光栅将传播至环绕光栅下方的超辐射光耦合至该结构表面...
一种光纤保密通信装置及其数据加密方法制造方法及图纸
本发明公开了一种光纤保密通信装置及其数据加密方法。该装置由发射机和接收机通过光纤连接而成。发射机包括PPC处理器单元、现场可编程门阵列测试板、光发射模块、光纤耦合器以及连接光纤;接收机包括波分复用器、连接光纤、光探测器、现场可编程门阵列...
气体传感气室制造技术
一种气体传感气室,包括:一圆筒形气腔,其中间段镂空,在圆柱的壁面形成三个矩形开口;一前盖,该前盖为圆盘形状,该前盖盖合于圆柱套型气腔的一端;一后盖,该后盖为圆盘形状,该后盖盖合于圆筒形气腔的另一端。
数字化高精度相位检测器制造技术
本发明公开了一种数字化高精度相位检测器,包括模数转换模块(10)、滤波器模块(20)、相位差计算模块(30)、相位修正模块(40)和相位检测结果存储及显示模块(50)。本发明提供的数字化高精度相位检测器,具有精度高、量程宽、频段宽、操作...
波长可调谐激光源制造技术
一种波长可调谐激光源,包括:一激光器驱动电流源和温控电路;一法布里-珀罗激光器,该法布里-珀罗激光器的输入端与激光器驱动电流源和温控电路的输出端连接;一光输出端连接偏振控制器,该光输出端连接偏振控制器的一端与法布里-珀罗激光器的输出端连...
制备大尺寸GaN自支撑衬底的方法技术
一种制备大尺寸GaN自支撑衬底的方法,包含以下步骤:步骤1:首先在衬底上生长一层ZnO膜;步骤2:在ZnO膜上生长低温缓冲层,形成样品;步骤3:在氢化物气相外延系统中,在低温缓冲层的上面高温生长GaN厚膜;步骤4:在氢化物气相外延系统中...
在蓝宝石图形衬底上制备无应力GaN厚膜的方法技术
一种在蓝宝石图形衬底上制备无应力GaN厚膜的方法,包括以下步骤:步骤1:在C面蓝宝石衬底上淀积一层二氧化硅或氮化硅膜;步骤2:利用常规光刻技术在淀积二氧化硅或氮化硅膜的C面蓝宝石衬底上光刻出沿着[11-20]方向的条形二氧化硅或氮化硅掩...
一种低密度InAs量子点的分子束外延生长方法技术
本发明公开了一种低密度InAs量子点的分子束外延生长方法,包括:将GaAs衬底放在样品托上,并引入进样室进行烘烤;烘烤完毕,将GaAs衬底引入制备室,并对GaAs衬底进行除气处理;将除过气的GaAs衬底引入生长室,对GaAs衬底的加热器...
图案化纳米模板及其制备方法技术
一种制备图案化纳米模板的方法,包括以下步骤:步骤1:利用提拉法,在亲水性良好的平面衬底上组装PS球,得到单层有序的PS球薄膜;步骤2:利用氧等离子体刻蚀PS球,改变PS球的大小;步骤3:旋涂异丙醇稀释的TiO2溶胶,静置待TiO2溶胶固...
平面相变存储器的制备方法技术
一种平面相变存储器的制备方法,包括:在衬底上依次生长一层电热绝缘材料层、相变材料层和基底材料层;去除基底材料层的四边,形成图形作为制备侧墙的基底;在该相变材料层的上面和基底材料层的表面及侧面淀积侧墙材料层;去除基底材料层上表面的和相变材...
金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法技术
本发明提供一种金属催化脱氢提高镁掺杂氮化物激活效率的方法,包括如下步骤:步骤1:用溅射或者蒸发的方法在p型氮化物样品表面沉积一层金属薄层;步骤2:对沉积金属薄层的p型氮化物进行退火;步骤3:用酸溶液去除p型氮化物样品表面的金属薄层;步骤...
一种基于氧化物掺杂有机材料的有机太阳能电池结构制造技术
本发明涉及有机光电器件技术领域,公开了一种基于氧化物掺杂有机材料的有机太阳能电池结构,该结构由下至上依次包括:透明衬底;沉积在该衬底上的阳极;沉积在该阳极上的缓冲层;沉积在该缓冲层上的有机电子给体层;沉积在该有机电子给体层上的有机电子受...
一种硅基光子晶体槽状波导微腔激光器制造技术
本发明公开了一种硅基光子晶体槽状波导微腔激光器,该激光器是由在SOI衬底顶层硅上的二维平板空气孔型光子晶体的单线缺陷波导中间引入的槽状波导,以及在该槽状波导及空气孔中填充的折射率低于SOI衬底顶层硅折射率的发光材料构成,该槽状波导包括依...
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