可通过方法、系统和计算机可读取储存介质等来实现本说明书的主题。方法可包括以下步骤：处理装置接收指示根据基板处理程序处理一系列基板的处理腔室的环境状态的传感器数据。可在预防性维护程序之后处理该系列基板。处理装置可基于传感器数据确定第一组值...

提供了用于检测基板工艺的终点的方法和系统。机器学习模型的集合被训练为基于针对基板收集的光谱数据来提供与所述基板的特定类型的计量测量相关联的计量测量值。鉴于与所述特定类型的计量测量相关联的性能评级，选择相应的机器学习模型，以应用于针对未来...

半导体处理的范例方法可包括执行电镀操作在电镀系统的容器中的电镀浴中的半导体基板上。所述方法可包括从所述电镀浴移除所述半导体基板。所述方法可包括关闭与来自所述电镀系统的第一排放道相关的阀。所述方法可包括增加流至来自所述电镀系统的第二排放道...

本文提供用于处理腔室的热屏蔽组件的实施方式。在一些实施方式中，用于处理腔室的热屏蔽组件包括：第一屏蔽件，该第一屏蔽件包括圆形板；第二屏蔽件，该第二屏蔽件耦接至该第一屏蔽件且与该第一屏蔽件呈平行配置，其中该第二屏蔽件具有大于该第一屏蔽件的...

本说明书的主题可以在方法、系统、计算机可读取储存介质等中实施。一种方法可以包括以下步骤：接收(i)传感器数据，表明处理基板的处理腔室的环境在腔室恢复程序之后的第一状态，以及(ii)基板制程数据，表明与由具有处于该腔室恢复程序之前的第二状...

描述了一种测试基板的电连接的方法，基板具有第一表面接触点(21)和第一电连接(20)，第一电连接从第一表面接触点(21)延伸出。方法包括：(a)通过将具有第一电子能量的第一电子束(111)聚焦和偏转到第一表面接触点(21)上，而使第一表...

一种化学机械抛光系统包括：工作台，用于支撑具有抛光表面的抛光垫；以及垫冷却组件。垫冷却组件具有：在工作台上延伸的臂；由臂悬挂并耦合至冷却剂流体源的喷嘴，所述喷嘴定位成将冷却剂流体从源喷射到抛光垫的抛光表面上；以及在臂中的与喷嘴相邻的开口...

一种在半导体结构中形成接触层的方法，包括：在基板上形成的多个第一半导体区域及多个第二半导体区域的暴露表面上执行预清洁处理，其中多个第一及第二半导体区域的暴露表面各自设置在形成于介电层中的开口内，介电层设置在基板上方；执行第一选择性外延沉...

描述了用于形成一个或多个半导体结构的方法。该方法包含在小于或等于400℃的温度下，在基板上的至少一个接触沟槽的顶表面及侧壁表面上无选择性地沉积非晶硅层，并且在至少一个接触沟槽的底表面上无选择性的沉积结晶硅层，该底表面包括源极/漏极材料。...

描述了用于电镀的系统及方法。电镀系统可包括容器，该容器被配置为容纳液态电解质的第一部分。此系统亦可包括基板固持件，该基板固持件被配置为用于将基板固持于容器中。此系统可进一步包括流体连通于容器的第一储存器。此外，此系统可包括流体连通于容器...

本公开内容的实施方式涉及使用离散光栅组件和光学互连的方法的光学装置制造。在分离的供体基板上形成对应于光学装置的输入耦合光栅、中间光栅或输出耦合光栅的其中一者的离散光栅。供体基板被切割成单独的光栅并附着到光学装置基板。喷墨材料设置在光栅之...

用于调整基板中的结构的功函数的方法影响近表面掺杂。在一些实施方式中，用于调整基板中的结构的功函数的方法可包括涂布结构的表面以形成在结构的表面上含有掺杂物的非固相的掺杂层，及使用氧化处理执行掺杂物扩散处理以驱使掺杂物穿过结构的表面而将掺杂...

本文公开的实施方式包括模型化快速热处理(RTP)工具的方法。在一实施方式中，所述方法包括以下步骤：开发RTP工具的灯模型，其中所述灯模型包括多个灯区；计算针对所述多个灯区的辐照度图表；将所述辐照度图表中的所述多个灯区的辐照度值乘上工艺配...

本公开涉及用于结构化半导体基板的方法和装置。在一个实施例中，一种基板结构化方法包括将抗蚀剂层施加到可选地设置在载体上的基板。使用紫外线辐射或激光烧蚀对抗蚀剂层进行图案化。然后，通过微喷砂将抗蚀剂层的图案化部分转印到基板上，以在基板中形成...

描述了用于GaN基光电与电子器件的控氧PVD AlN缓冲部。亦描述了以控氧方式形成用于GaN基光电与电子器件的PVD AlN缓冲部的方法。在实例中，形成用于GaN基光电或电子器件的氮化铝(AlN)缓冲层的方法涉及反应性溅射AlN层于基板...

提供了用于在抛光或清洁工艺中使用的垫载体，其包括垫载体组件和耦接基座，垫载体组件被配置为耦接到垫载体定位臂的第一端，耦接基座包括耦接基座主体，所述耦接基座主体包括设置在耦接基座主体内的一个或多个含铁磁或顺磁材料元件。垫载体组件包括夹紧板...

一种方法包括：向第一经训练的机器学习模型提供随机输入或伪随机输入，该第一经训练的机器学习模型被训练为为处理腔室产生合成传感器时间序列数据。该方法进一步包括：向该第一经训练的机器学习模型提供表明目标合成传感器时间序列数据的一个或多个属性的...

本文所述的实施例提供了磁性外壳系统及电磁外壳系统，以及用于控制在工艺腔室的工艺空间中产生的等离子体的性质，以影响膜的沉积性质的方法。在一个实施例中，所述方法包括使旋转磁性外壳绕工艺空间的中心轴旋转，以产生动态磁场。磁场会改变等离子体的形...

本公开的实施方式是关于形成用于柔性或可折叠显示设备的柔性盖透镜结构的方法、以及相关设备及装置。在一或多个实施方式中，一或多个粘附促进层在基板结构的至少一个湿式硬涂布层之上沉积。干式硬涂布层使用包括等离子体增强的化学气相沉积(PECVD)...

描述了双通道喷淋头组件。在一些实施方式中，包括喷淋头上板和喷淋头下板的双通道喷淋头组件使得能够沿着分离的通道输送相互不相容的前驱物，这些前驱物在晶片上方的处理区中混合。双通道喷淋头组件提供至少两个分离的气体路径。在一些实施方式中，孔洞设...