本申请公开了等离子体增强化学气相沉积腔室。本实用新型通常涉及在PECVD腔室中耦合至气体分配喷头的加热背板。通过使加热流体循环通过在背板之内形成的通道或耦合至背板的软管来加热所述背板。加热背板加热气体分配喷头，如此提高执行低温工艺的PE...

一种等离子体处理设备可包括：处理腔室；第一RF线圈、第二RF线圈及第三RF线圈；至少一个铁氧体遮罩(ferrite shield)。该处理腔室具有内部处理容积；该第一RF线圈、该第二RF线圈及该第三RF线圈接近处理腔室设置以将RF能量耦...

在此描述一种在半导体基板中蚀刻凹部的方法。该方法可包含：在基板的沟槽中形成介电衬垫层，其中该衬垫层具有第一密度。该方法也可包含：至少部分位在该沟槽中于该衬垫层上沉积第二介电层。该第二介电层在沉积后最初为可流动，并且有第二密度，该第二密度...

本发明涉及制备太阳能电池的方法及所制成的太阳能电池。所述制备太阳能电池的方法包括用于选择性发射极形成的扩散方法，其中，该扩散方法包括：执行第一驱动以将第一掺杂浆料中的掺杂原子驱入到晶片的预定区域中；执行预氧化以在晶片表面上生成硅氧化物；...

本发明的实施方式大体包括用于在电子纺丝工艺期间按照预定图案沉积纳米线的设备和方法。设备包括喷嘴和电压源，所述喷嘴用于容纳和喷射沉积材料，所述电压源耦接至所述喷嘴以喷射所述沉积材料。一个或更多个电场整形装置被安置以对靠近基板的电场整形，以...

本发明的实施例大致上涉及用以测量及监控基板的温度的设备及方法，所述基板上具有三维(3D)特征结构。设备包含光源、聚焦透镜及发射率计，所述光源用以照射基板，所述基板上具有3D特征结构，所述聚焦透镜用以聚集且聚焦反射光，所述发射率计用以检测...

说明了一种用以形成沉积材料层于基板上的沉积设备。沉积设备包括：基板支撑件，用以支撑基板；以及边缘（660）排除遮罩（640），用以在层沉积期间覆盖基板（610）的周边。遮罩具有至少一框部，该至少一框部定义一孔洞。遮罩的该至少一框部用以根...

于此提供一种用于处理基板的设备。于一些实施例中，设备包含：第一导电本体，绕处理腔室的内部容积中的基板支撑件而设置；第一导电环，具有内缘及外缘，该内缘耦接至第一导电本体的第一端，该外缘自内缘径向向外而设置；第二导电本体，耦接至第一导电环的...

本发明的实施例提及高效率太阳能电池的形成，高效率太阳能电池的形成利用激光图案化工艺以在太阳能电池基板的表面上的钝化层中形成开口。在一个实施例中，在太阳能电池基板上的钝化层中形成开口的方法包括：在基板的背面上形成钝化层，基板具有在基板的背...

本发明的实施例包括一种太阳能电池和形成太阳能电池的方法。具体地，所述方法可用于在太阳能电池基板上形成具有期望的功能和光学性质的钝化/抗反射层。在一个实施例中，一种在太阳能电池基板上形成抗反射层的方法包括以下步骤：使第一处理气体混合物流动...

公开用于组合放大的辐射光束的设备和方法。光束组合器具有准直光学元件，该准直光学元件被定位成相对于准直光学元件的光轴以恒定的入射角接收多个相干辐射光束。各自的入射角度在某些实施方式中亦可为不同的。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。该光...

一种与工艺腔室一起使用的气体分散设备，该气体分散设备包括：石英主体，该石英主体具有顶部、环和底板，该环耦接顶部的底表面，该底板具有多个分散孔相对于顶部耦接该环；多个石英板，所述多个石英板设置于顶部与底板之间，其中多个板被定位在彼此上方并...

在此提供用以处理半导体的设备。在一些实施例中，一种用以处理基板的设备可包括：第一环，该第一环环绕基板支撑件而同心地设置，该第一环设以在处理期间将基板定位在该基板支撑件上；及第二环，该第二环设置在该基板支撑件与该第一环之间，该第二环设以提...

一种化学机械抛光头部，包括基部组件、扣环、以及柔性隔膜，所述基部组件包括至少一部件，所述至少一部件由具有与铝大致相等或比铝更高的拉伸模量的复合塑胶形成，所述扣环固定于基部组件，所述柔性隔膜固定于基部组件以在基部组件与柔性隔膜的上表面之间...

在此提供静电夹盘的实施例。在一些实施例中，一种用于支撑与保持具有给定宽度的基板的静电夹盘可包括：介电构件，具有支撑表面，该支撑表面被配置成支撑具有给定宽度的基板；电极，设置在该介电构件内位于该支撑表面下方，并且从该介电构件的中心向外延伸...

提供了一种具有输送通道的气体分配设备，其中输送通道具有一入口端、一出口端与沿着长度而分隔开的多个孔隙。入口端系可连接至一惰性气体源，且出口端系可连接于一真空源。同时提供了一种具有螺旋输送通道、互相缠绕的螺旋输送通道、分流的输送通道、汇合...

本发明提供一种电镀处理器，所述电镀处理器包括用于支撑隔膜的薄下部隔膜支撑件。下部隔膜支撑件可以被提供为具有通过开口图案的柔性塑料板。通过开口可以与刚性上部隔膜支撑件中的开口对准。下部隔膜的周边可被夹紧在与用于夹紧和密封隔膜周边相同的周边...

本发明的实施方式大体涉及RTP腔室。该腔室通常包括腔室主体和腔室盖。该腔室主体包括基板支撑件，该基板支撑件具有多个电阻式加热器区域，以加热定位在该基板支撑件上的基板。该腔室主体视情况也包括冷却通道和热绝缘衬里，冷却通道用于缓和热应力，热...

一种电镀设备，包括用于容纳一槽的电镀液的容器。头部适于在容器内保持工件（诸如硅晶片），在头部上具有密封件以对工件进行密封。部件清洁器组件可用于自动清洁电镀设备的部件（诸如密封件或接触环）。清洁器组件在臂上具有部件接触器（诸如刷子）。臂致...

本发明描述形成电池活性材料的装置及方法。装置包括：第一处理区段，该第一处理区段将前驱物材料的温度升高至反应临界温度；第二处理区段，该第二处理区段将该前驱物材料转化成电池活性材料；以及第三处理区段，该第三处理区段冷却所得电池活性材料。这些...