用于激光处理设备的多重光束组合器制造技术

公开用于组合放大的辐射光束的设备和方法。光束组合器具有准直光学元件，该准直光学元件被定位成相对于准直光学元件的光轴以恒定的入射角接收多个相干辐射光束。各自的入射角度在某些实施方式中亦可为不同的。准直光学元件具有使光束准直的光学特性。该光学特性可为折射或反射，或折射与反射的结合。亦可提供聚集光学元件以将多个光束引导至准直光学元件。光束组合器可用于热处理设备中，以将诸如激光的两个以上的相干放大辐射光束组合至单一光束中。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种用于将多个相干光束组合成组合光束的光束组合器，包含：准直光学元件，所述准直光学元件被定位成相对于所述准直光学元件的光轴以相同的入射角接收所述多个相干光束，所述准直光学元件具有准直光学特性。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：斯蒂芬·莫法特，道格拉斯·E·霍姆格伦，塞缪尔·C·豪厄尔斯，埃德里克·唐，布鲁斯·E·亚当斯，季平·李，阿伦·缪尔·亨特，
申请(专利权)人：应用材料公司，
类型：发明
国别省市：美国;US