描述一种制造具有多种尺寸及功能的电子式变色窗口玻璃的方法。该方法包含：(a)提供一大规格玻璃基板；(b)在大规格玻璃基板上制造多个电子式变色薄膜元件；(c)将大规模玻璃基板切割成多个电子式变色零件，每个电子式变色零件包括多个电子式变色薄...

本实用新型涉及一种基板载具，包括：框体，被配置成容纳基板于其中并且支撑基板，其中所述框体包括多个夹具，用以固定所述基板于所述框体中；以及轨道，附接于所述框体，其中所述轨道包括可磁性化材料，所述框体的外表面以及所述轨道包括等离子体相容材料...

一种用于化学机械抛光机的承载头的柔性膜，所述柔性膜包括主要部分、环形外围部分及三个环形挡板。所述主要部分具有基板安装表面，所述基板安装表面具有半径R。所述环形外围部分从所述主要部分的外围边缘向上延伸，且所述环形外围部分具有连接至所述主要...

本文描述用于制造薄膜电池的方法与工厂。方法包括用于制造薄膜电池的操作。工厂包括用于制造薄膜电池的一个或更多个工具组。

本发明尤其描述了基于计算机的方法。所述方法包含通过一或多个计算机接收在基板上的数个不同位置处从基板反射的数个测量光谱。所述基板包含具有不同结构特征的至少两个区域。所述方法还包含：通过一或多个计算机对数个测量光谱执行群集算法以基于数个测量...

本发明关于一种静电夹盘，所述静电夹盘包括导热基座，所述导热基座具有安置于所述导热基座中的数个加热元件。金属层覆盖所述导热基座的至少一部分，其中所述金属层使所述数个加热元件免受射频(radio frequency，RF)耦合，且用作所述静...

本发明提供使用含钨反应气体沉积钨膜或含钨膜的原子层沉积方法，所述含钨反应气体包含以下的一或多种：五氯化钨、具有经验式WCl5或WCl6的化合物。

本申请公开了用于半导体基板的电镀方法。对非均匀初始金属膜进行非均匀除镀以在基板上提供更加均匀的金属膜。可通过将基板放置在特定为除镀而非为电镀配制的除镀浴中来执行电化学除镀。除镀浴可具有0.3或更小的均镀能力；或1mS/cm至250mS/...

一种在具有次30纳米特征的工件上电镀的方法，所述方法大体包括：施加化学品至所述工件，所述化学品包括在约55ppm到约250ppm范围中的卤素离子浓度和金属阳离子溶质物种；及施加少于约5秒的电波形，其中所述电波形包括电流斜波时段和脉冲电镀...

兹描述蚀刻图案化异质结构上曝露的含-硅-氮-和-碳材料的方法，该方法包括由含氟前驱物和含氧前驱物形成的远程等离子体蚀刻。来自远程等离子体的等离子体流出物流入基板处理区域，在基板处理区域该等离子体流出物与含-硅-氮-和-碳材料的曝露区域反...

本发明大体上关于诸如锂离子电池的电化学能量储存装置，且尤其是关于一种对此类储存装置中的隔板提供具受控厚度的均匀陶瓷涂层的方法。本发明的一些实施例利用分散于溶剂中的纳米/微米尺寸颗粒的层叠式涂布，所述溶剂可以是水性或非水性。本发明的其它实...

描述用于蒸发介电材料至基板上的沉积装置。沉积装置包括：蒸汽分配喷头；保持器，所述保持器用于提供介电材料于蒸汽分配喷头中，其中保持器具有进给单元，用于进给介电材料至蒸汽分配喷头；能源，所述能源配置成用于熔化及蒸发蒸汽分配喷头中的介电材料或...

用于提供等离子体至处理腔室的装置可包含：电极；第一接地板，所述第一接地板设置于所述电极下方且定义出介于所述电极与所述第一接地板之间的空腔；电性绝缘体，所述电性绝缘体设置于所述电极与所述第一接地板之间以避免所述电极直接接触于所述第一接地板...

本文提供原子层沉积设备及方法，包括数个狭长气体端口及泵端口，该等泵端口与多个导管连通以从处理腔室传送待冷凝、储存及/或再循环的气体。

基板支撑组件包含陶瓷主体及接合至陶瓷主体的下表面的导热基底。基板支撑组件进一步包含金属接合至陶瓷主体的上表面的保护层，其中保护层为整体烧结陶瓷制品。

本文的实施方式包括用于基板传送系统的多臂机械手，所述多臂机械手包括转臂、以旋转方式耦接至转臂的第一及第二前臂(第二前臂比第一前臂短)、以旋转方式耦接至第一前臂的第一腕部部件，及以旋转方式耦接至第二前臂的第二腕部部件。转臂、第一及第二前臂...

描述了一种用于在基板上形成具有磁特性图案的磁性层的方法和装置。所述方法包括使用金属氮化物硬模层来通过等离子体暴露图案化所述磁性层。所述金属氮化物层是使用纳米压印图案化工艺用氧化硅图案负性材料来图案化的。使用含卤素和氧的远程等离子体来使图...

提供了用于基板背侧钝化的设备和方法。系统包括狭长支撑件，狭长支撑件具有开放顶表面而形成支撑环，从而当基板位于支撑环上时，在狭长支撑件内形成腔。等离子体发生器耦接至腔，以于腔内产生等离子体，从而在基板背侧上沉积钝化膜。

本文描述用于多臂机械手设备的马达模块。马达模块可单独使用，或经堆叠及组装以组成单轴、二轴、三轴、四轴、五轴、六轴马达组件，或更多轴的马达组件。马达模块中的一或多个具有：定子组件，所述定子组件包括容纳在定子外壳中的定子；及与定子组件相接的...

本文的实施方式揭示了振动控制的机械手设备。所述设备包括机械手，所述机械手具有：能操作以输送基板的终端受动器；耦接至机械手的传感器，所述传感器能操作以在机械手输送基板时感测振动，并操作所述机械手以减少支撑基板的终端受动器的振动。在一些实施...