使用包含含有氧化钇和氟化铵钇复盐的复合粒子的热喷涂材料，通过大气中热喷涂，形成包含氧氟化钇的热喷涂膜。如果使用本发明的热喷涂材料通过大气中热喷涂来形成热喷涂膜，则热喷涂中源于热喷涂材料的氟的损耗少，能够控制组成来形成包含氧氟化钇的热喷涂...

本发明涉及有机膜形成用材料、基板、有机膜的形成方法、图案形成方法、及有机膜形成用化合物。本发明的课题，目的是提供一种化合物，具有二氧芑(dioxin)结构，即使在钝性气体中的成膜条件中也能硬化，能形成耐热性、形成于基板上的图案的填埋或平...

本发明提供一种防护薄膜框架、防护薄膜、带防护薄膜的曝光原版及曝光方法、以及半导体或液晶显示器的制造方法，所述防护薄膜框架为构成光刻用的防护薄膜的防护薄膜框架，所述防护薄膜框架的外周侧面形成为流线形状，且形成为所述流线形状的外周部分的宽度...

本发明提供一种防护薄膜框架、防护薄膜组件、防护薄膜组件的检查方法、带防护薄膜组件的曝光原版及曝光方法、以及半导体或液晶显示板的制造方法，所述防护薄膜框架为具有设置防护膜的上端面(13)以及面向光掩模的下端面(14)的框状的防护薄膜框架(...

本发明涉及化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可获得改善图案形成时的分辨率且减少LER及LWR的图案的化学增幅负型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种化学增幅负型抗蚀剂组成物，含有：(A)...

本发明涉及化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。本发明的课题是提供可获得改善图案形成时的分辨率且改善LER及CDU的抗蚀剂图案的化学增幅正型抗蚀剂组成物及抗蚀剂图案形成方法。该课题的解决手段为一种化学增幅正型抗蚀剂组成物，含有：...

本发明涉及光掩模坯，其包含透明衬底和含铬膜。所述含铬膜由一个或多个铬化合物层构成，铬化合物层由包含Cr、N和可选的O的铬化合物形成，并且具有如下组成：Cr含量≥30at％，Cr+N+O总含量≥93at％，且满足式：3Cr≤2O+3N。满...

本发明涉及稀土磁体组件和制备方法。通过以下制备稀土磁体块组件：将两个稀土磁体块(1a,1b)在它们的侧表面(3a,3b)以邻接方式放置，使得磁体块(1a,1b)的顶表面(4a,4b)设置为彼此相邻跨过邻接界面(3ab)，和在磁体块(1a...

本发明的III族氮化物基板的制造方法包括以下工序：在基板的两面形成表面为III族元素面的III族氮化物膜，制作III族氮化物膜担载体；对III族氮化物膜担载体的III族氮化物膜进行离子注入，在III族氮化物膜上形成离子注入区；将已进行离...

本发明的目的在于提供一种导热性良好、具有轻量性(即单位体积的重量轻)且具备高湿下的可靠性的导热性硅酮树脂组合物及其成形体。一种导热性硅酮树脂组合物，包括下述(A)成分～(E)成分，其特征在于：(A)分子中具有至少两个与硅原子键结的烯基的...

本发明为一种固化性全氟聚醚粘着剂组合物，其含有下述(A)～(D)成分：100质量份的(A)直链状全氟聚醚化合物，其在一分子中具有至少两个烯基，且在主链中具有包含

本发明的目的在于提供一种气雾剂化妆品以及用于制造该气雾剂化妆品的气雾剂化妆品用组合物，所述气雾剂化妆品配方设计简单，同时稳定地形成喷出性良好且质量良好的泡沫。上述目的通过气雾剂化妆品用组合物等解决，所述气雾剂化妆品用组合物含有25℃下的...

本发明的目的在于提供一种可减小所转印的成型图案的变形的压印装置及压印方法。一种压印装置，用于利用模具1与基板2对被成形物3进行加压，将模具1的成型图案转印至被成形物3上，所述压印装置包括：载台4，用于载置模具1或基板2中的任一者；配置部...

本发明提供了包含含有无官能性有机聚硅氧烷的热固化性有机硅树脂组合物的、用于将晶片与支撑体临时粘接的晶片加工用临时粘接剂、晶片层叠体及薄型晶片的制造方法。晶片层叠体及薄型晶片的制造方法。

赋予防吸水的效果优异、稀释稳定性良好、且减少了环境负担物质的含量的防吸水剂，其包含氨基改性有机硅乳液组合物，该氨基改性有机硅乳液组合物含有：(A)在25℃的粘度为800～100,000mPa

本发明为一种导热性有机硅组合物，其含有：(A)由(a)一分子中至少具有两个脂肪族不饱和烃基且25℃下的运动粘度为10000000mm2/s以上的有机聚硅氧烷与(b)一分子中具有两个以上键合于硅原子的氢原子的有机氢聚硅氧烷而构成的有机硅凝...

本发明的目的在于提供一种可通过常温干燥快速形成具有伸长率及强度的硅酮弹性体的皮膜、且包含水性硅酮分散物的纤维处理剂，并且提供一种作为所述干燥物的皮膜。进而目的在于不使用有机锡化合物等活性高的催化剂而通过常温干燥形成皮膜。一种纤维处理剂，...

本发明提供一种延伸方法，一边使玻璃母材在延伸装置的内部朝下方移动，一边对该玻璃母材进行加热来使它延伸，所述玻璃母材在位于上端的透明锥形部的端面熔接有由玻璃棒构成的悬挂虚设棒，且所述延伸方法具备：开始阶段：通过使玻璃母材在延伸装置内部维持...

本发明提供一种毫米波用高速通信低介电基板，其包含石英玻璃布与低介电树脂，即使该基板的各线路上下的树脂或石英玻璃布的分布不均，线路间也无传输时间差、能够传输稳定且质量良好的信号，且降低了因构件导致的损耗因子差、减少了传输损耗。所述毫米波用...

一种烧结设备，包括：炉芯管，其包含光纤用多孔玻璃基材，多孔玻璃基材的纵向方向沿着轴向方向；以及，多级加热器，其中两个以上加热器包围炉芯管并且沿炉芯管的轴向方向布置以在炉芯管中形成加热区。烧结方法包括在加热区中加热基材以执行第一脱水处理的...