信越化学工业株式会社专利技术

信越化学工业株式会社共有3967项专利

  • 本发明涉及研磨组合物。包括含有胶态二氧化硅颗粒的胶态二氧化硅、pH调节剂和螯合剂的研磨组合物以低成本和高生产率提供具有高平坦度、低缺陷和低表面粗糙度的表面的基板,并且提供具有高表面品质的基板,适合作为掩模坯料用基板例如含有SiO2作为主...
  • 提供一种粗糙面压电性基板的制造方法,该方法即使在对具有解理面(2)的压电性基板(3)进行粗糙面化处理的情况下,也能够抑制在表面产生缺口。本发明的粗糙面压电性基板的制造方法包括:实施具有解理面(2)的压电性基板(3)的一个面的平坦加工的工...
  • 本发明提供一种铋置换稀土类铁石榴石单晶,其抑制Fe离子的化合价变动并适用于法拉第转子和具有降低的插入损耗的光隔离器。根据本发明的铋置换稀土类铁石榴石单晶的特征在于,组成式为(Tb
  • 提供喷镀被膜,是包含稀土氟化物和/或稀土氧氟化物的喷镀被膜,含有0.01~2质量%的碳或者1~1000ppm的钛或钼,并且在不含氧氟化物的情况下,用L
  • 本发明提供一种量子点的制造方法,所述量子点为结晶性纳米颗粒荧光体,所述制造方法中,使用含有彼此不同的元素的第一前驱体溶液及第二前驱体溶液,将第二前驱体溶液制成气溶胶并向已加热的第一前驱体溶液进行喷雾、或者将第一前驱体溶液及第二前驱体溶液...
  • 本发明提供一种铋置换稀土类铁石榴石单晶,其抑制Fe离子的化合价变动并适用于法拉第转子和其中插入损耗降低的光隔离器。根据本发明的铋置换稀土类铁石榴石单晶的特征在于,组成式为(Gd
  • 本发明提供各向异性稀土类烧结磁体及其制造方法,其是组成以式(R1‑
  • 一种即便在无法涂布防护薄膜用粘接剂的场所也可实现防护膜的组装的防护膜框架层叠体及制造系统、包装物以及运输系统,在具有上端面及下端面的四边形框状防护膜框架的所述上端面具有第一粘接剂层,以第一保护片覆盖所述第一粘接剂层,并且在所述下端面具有...
  • 本实用新型提供一种带粘合剂层的防护薄膜框架(1),具有:一个端面(1a),设置有防护薄膜膜片;以及另一个端面(1b),设置有用于贴附至光掩模的粘合剂层(1c),所述带粘合剂层的防护薄膜框架中,所述粘合剂层的厚度为0.10mm~0.30m...
  • 本发明涉及化学增幅型抗蚀剂组成物、空白光掩膜、抗蚀剂图案的形成方法及高分子化合物的制造方法。本发明课题是为了提供可满足良好的分辨率、图案形状、线边缘粗糙度,同时可抑制会成为掩膜缺陷的原因的显影残渣缺陷的化学增幅型抗蚀剂组成物,以及提供使...
  • 提供一种高温反向偏压试验(HTRB试验)可靠性优异的用于封装的树脂组合物和半导体装置。所述用于封装的树脂组合物被用于由Si、SiC、GaN、Ga2O3或金刚石所形成的功率半导体元件的封装,且在所述用于封装的树脂组合的固化物中,在150℃...
  • 本实用新型提供一种带护膜的光掩模、曝光系统及平板显示器用屏的制造系统,此护膜的至少一条边的边长超过1000mm,且当安装于光掩模的护膜高速移动时,护膜膜片的摇晃量小。本实用新型的护膜包含至少一条边长超过1000mm的护膜框、及粘接于其一...
  • 本实用新型为一种成膜系统,其进行结晶性氧化物膜的成膜包括:原料溶液制造部,制造用于进行雾化的原料溶液且为包含含有金属元素的溶质与溶媒的原料溶液;雾化部,将所制造的所述原料溶液喷雾化或液滴化而生成雾;搬送部,通过载气来将所述雾搬送至成膜部...
  • 本发明提供一种室外的作业性优异、在常温下固化、提高塑料基材的表面硬度的用于替代玻璃的常温固化型硬涂组合物。所述常温固化型硬涂组合物的特征在于,至少含有(A)具有下述式(1)所示的结构的聚硅氮烷化合物和(B)烷氧基硅烷化合物,所述烷氧基硅...
  • 本发明提供一种光掩模坯料,其含铬膜的表层粗糙度良好,能够检测出50nm的缺陷,电阻值小,能够吸附异物,且能够读取条形码图案。所述光掩模坯料具备基板与含铬膜,该含铬膜从远离基板的一侧起具有第一层、第二层及第三层,这些层均含铬,第一层进一步...
  • 本发明提供一种复合基板以及制造该复合基板的方法,所述复合基板即使暴露于高温或低温下也不会出现裂纹,从而不会出现性能劣化。本发明的复合基板(10)具有按列出顺序层叠的支承基板(2)、应力松弛间层(3)和氧化物单晶薄膜(1)。应力松弛间层(...
  • 本发明提供一种复合基板以及制造该复合基板的方法,所述复合基板的待粘合的晶片具有足够小的表面粗糙度并且能够防止膜剥离的发生。本发明的复合基板(40)具有按列出顺序层叠的硅晶片(10)、夹层(11)和单晶硅薄膜或氧化物单晶薄膜(20a),并...
  • 本发明为一种剥离片用有机硅组合物,其包含:(A)一分子中至少具有两个烯基、烯基含量为0.001~0.2mol/100g的有机聚硅氧烷;(B1)一分子中含有10摩尔%以上的具有经由碳原子键合于硅原子的环氧丙基和/或环氧丙氧基的硅氧烷单元、...
  • 本发明的各向异性稀土类烧结磁体,其特征在于:其是组成以式(R1‑
  • 本发明的各向异性稀土类烧结磁体,其特征在于:其是组成以式(R1‑