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信越化学工业株式会社专利技术
信越化学工业株式会社共有3967项专利
光刻用掩模护层及其制作方法技术
一种光刻用掩模护层,至少具有: a)掩模护层膜,阻挡异物用; b)掩模护层框,粘贴该掩模护层膜; c)粘接剂层,为了粘贴掩模护层膜而设置于掩模护层框的一边端面; d)粘附层,设置于掩模护层框的另一边端面; ...
多孔膜形成用组合物、多孔膜及其制造方法、层间绝缘膜和半导体装置制造方法及图纸
一种多孔膜形成用组合物,该组合物包括: 通过水解和缩合至少一种由下面通式(1)表示的硅烷化合物而获得的非晶态聚合物溶液: (R↑[1])↓[n]Si(OR↑[2])↓[4-n]---(1) 其中R↑[1]代表具有1-8...
形成多孔膜的组合物、多孔膜及其形成方法、层间绝缘膜和半导体器件技术
使用常规的半导体工艺,提供一种可以形成多孔膜的涂布液,所述的多孔膜具有要求可控的厚度和优良的介电和力学性质。特别是,提供一种形成多孔膜的组合物,所述的组合物包括缩合产物和有机溶剂,其中在碱性催化剂存在下通过一种或多种由通式(1):R↓[...
热传导性复合片及其制造方法技术
本发明提供可使热传导性和再次加工性同时提高的热传导性复合片及其制造方法。所述的热传导性复合片具有依次层叠了下述层的结构:(a)由含有热传导性填充剂的硅橡胶构成的热传导性硅橡胶层、(b)含有有机硅树脂和热传导性填充剂,并有粘着性的热软化性...
多孔膜形成用组合物,多孔膜的制备方法,多孔膜、层间绝缘膜和半导体器件技术
本发明的目的是提供介电常数为2.2或更低的,并具有实用价值的机械强度的多孔膜,本发明提供了形成多孔膜的组合物,该组合物包括组分(A)和(B):(A)100重量份的至少一种可水解的硅化合物和/或至少一种下式(1)表示的硅化合物水解缩合的产...
多孔膜形成用组合物、多孔膜制造法、多孔膜、层间绝缘膜及半导体装置制造方法及图纸
本发明提供通过通常的半导体工艺中使用的方法,可以容易地形成任意控制的膜厚的薄膜,并且用于形成具有稳定性优异的中孔尺寸的通道结构的多孔膜的涂布液。具体地,本发明提供一种多孔膜形成用组合物,其包括含有将通式R↓[n]Si(OR’)↓[4-n...
形成多孔膜的组合物,多孔膜和其制备方法,层间绝缘膜和半导体器件技术
根据本发明,用半导体工艺中常用的方法,很容易制备任意控制膜厚的薄膜。本发明提供了形成多孔膜的涂覆液,该多孔膜具有优良的介电常数及机械特性。具体地,形成多孔膜的涂覆液是含有缩合物及有机溶剂的多孔膜组合物,所述的缩合物是从至少一种选自用通式...
形成多孔膜的组合物及其制备方法和用途技术
提供一种组合物,所述组合物通过烷氧基硅烷的水解和缩合形成,所述组合物含有减少量的金属和卤素杂质,可应用作为电子材料。也提供一种具有低介电常数的绝缘膜,通过应用组合物并焙烧进行生产。更具体地,提供一种用于制造成膜组合物的方法,包括在有机溶...
薄膜场效应晶体管及其制造方法技术
一种薄膜场效应晶体管,具有金属-绝缘体-半导体结构,其中制作半导体层和绝缘层的材料是聚合物,该聚合物可溶解于有机溶剂,并具有大于2,000至1,000,000的加权平均分子量。
柔性金属箔/聚酰亚胺层压制品的制备制造技术
一种柔性金属箔/聚酰亚胺层压制品,是这样制备的:供给包含具有至少350℃的Tg的聚酰亚胺薄膜的复合薄膜,夹在具有最多300℃的Tg的聚酰亚胺层之间,在该复合薄膜的对面铺设金属箔,并且在具有至多5Torr真空度的真空气氛或具有至多0.5%...
导热性硅氧烷放热用组合物及其使用方法技术
导热性硅氧烷放热用组合物含有:(a)具有链烯基的有机聚硅氧烷,(b)导热性填充材料,(c)分子中平均具有2个以上Si-H基的有机氢化聚硅氧烷,其量为使(c)中的Si-H基/(a)中的链烯基的摩尔比超过0.6、不足10.0,(d)铂族金属...
半导体密封用环氧树脂组合物以及半导体装置制造方法及图纸
本发明提供一种半导体密封用环氧树脂组合物及用其固化物密封的半导体装置。所述组合物含(A)环氧树脂、(B)固化剂、(C)无机化合物、及(D)无机填充剂为必须成分,其中所述(C)无机化合物是下式所示的无机化合物:M1↓[x]M2↓[y]O↓...
防护胶膜框架及利用此框架的光刻用防护胶膜组件制造技术
一种防护胶膜框架以及使用该框架的光刻用防护胶膜组件,其不仅能借由防护胶膜膜片的张力防止框架向内侧弯曲,使曝光面积减少,亦能得到尺寸精确度以及对光罩的贴附位置精确度良好的防护胶膜组件。本发明的框架,其特征为于框体至少一对的边,具有中央部分...
挠性铜箔/聚酰亚胺层压体的制备制造技术
通过在载体上的非常薄的铜箔上施涂聚酰氨基酸清漆,半干燥该清漆,使用热辊压机,将该聚酰亚胺膜层压到清漆涂布的铜箔上,和在具有控制的氧气浓度的氛围内,热处理该层压体以除去溶剂和酰亚胺化,从而制备挠性金属箔/聚酰亚胺层压体。由酰亚胺化聚酰氨基...
钽酸锂晶体的制造方法技术
本发明提供一种钽酸锂晶体的制造方法,该方法为至少将第一材料与已单一极化的钽酸锂晶体相重迭而在还原性环境和低于居里点的温度T2’下进行热处理,使该已单一极化的钽酸锂晶体的导电率提高,其中该第一材料含有:在还原性环境和低于居里点的温度T1’...
生产挠性金属箔-聚酰亚胺层压体的方法技术
一种制备挠性金属箔/聚酰亚胺层压体的方法,其特征在于在热辊压机上,通过耐热粘合剂粘合金属箔和聚酰亚胺膜,和热处理该层压体,从粘合层中除去残留溶剂并热固化该粘合层。
光掩模坯料、光掩模及其制造方法技术
本发明在光学透明的基板11的一侧主表面上设置遮光性膜12,上述遮光性膜12由第1遮光性膜13和第2遮光性膜14依次叠层而构成。第1遮光性膜13为在氟系(F类)干式蚀刻中不被实质蚀刻的膜,是主成分为铬的氧化物、氮化物、氧氮化物等的膜。而且...
半导体密封用环氧树脂组合物以及半导体装置制造方法及图纸
本发明提供一种耐热性以及耐湿信赖性优异,并且不含有溴代环氧树脂等溴化物、三氧化锑等锑化合物,能够得到成形性优异,同时阻燃性优异的固化物的半导体密封用环氧树脂组合物,以及由该环氧树脂组合物密封的半导体装置。其中,该半导体密封用环氧树脂组合...
大型防护胶膜组件制造技术
本发明提供一种大型防护胶膜组件,其能够于不使用溶剂等且不伴随黏接剂凝集破坏下,将防护胶膜组件自曝光光罩分离。本发明的防护胶膜组件,包括:防护胶膜框体,具有上侧面与下侧面,呈边长30cm以上的四边形;防护胶膜膜片,张设于该防护胶膜框体上侧...
太阳能电池及其制造方法技术
在太阳能电池(100)中,具有半导体太阳能电池衬底(66),在该半导体太阳能电池衬底(66)中,其第1主表面上形成感光面,并且基于照射到该感光面的光,产生光电动势,上述半导体太阳能电池衬底(66)的感光面被感光面侧绝缘膜(61)覆盖,该...
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