本发明提供一种晶圆中金属离子分布识别方法、装置、电子设备和可读存储介。晶圆中金属离子分布识别方法包括以下步骤：获取晶圆的灰度图像；根据所述灰度图像提取所述晶圆的N条灰度曲线，其中，所述晶圆由N个子区域构成，N为大于1的整数，所述子区域的...

本公开提供一种晶圆片位置检测装置及检测方法，该装置包括：位置检测组件，用于测量承载晶圆片的承载面上多个基准位置点的位置数据、及所述晶圆片上多个测量位置点的位置数据，所述多个基准位置点与所述多个测量位置点一一对应而分为多组位置点，同一组位...

本发明实施例公开了一种晶圆缺陷检测方法、装置、设备及计算机存储介质；所述检测方法包括：基于采集的待测晶圆的图像，按照设定的条件将所述图像划分为多个检测区域；其中，所述采集到的待测晶圆的图像上包含有用于表征铜离子的白点；基于每个所述检测区...

本公开提供一种晶体直径检测方法、系统及计算机程序产品，该方法包括：实时获取直拉法硅单晶放肩阶段熔硅表面的图像；在图像中标记出包含晶体直径边沿信息的图像有效检测区域；对图像有效检测区域进行数字图像处理；对图像有效检测区域进行预处理，提取出...

本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头...

本公开提供一种单晶炉，包括炉体、软轴提拉装置、软轴、坩埚和籽晶轴，炉体内部设真空腔室，坩埚、软轴和籽晶轴设置于真空腔室内，软轴和籽晶轴位于坩埚的上方，软轴上端连接软轴提拉装置，软轴下端连接籽晶轴；软轴提拉装置包括：卷丝轮单元及传动机构，...

本实用新型涉及一种旋转装置，包括：支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；旋转框架，设置于第一支撑架和第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，相对设置的第三边框和第四边框，第一边框与第一支撑架连接，第二边框与第二支撑架...

本实用新型涉及一种吸盘装置，用于吊装运输石英坩埚，包括吸盘本体，所述吸盘本体用于通过密封垫与石英坩埚密封连接，所述吸盘本体上设置有进气口和出气口，所述出气口上设置有与真空泵连接的真空阀，以将所述吸盘本体和所述石英坩埚形成的腔体抽真空，还...

本公开提供一种多关节运动机构的位置检测装置及多关节运动机构，多关节运动机构的位置检测装置包括：至少两个位置传感器、电路控制器和报警器，每个运动关节处设置一个位置传感器，位置传感器与电路控制器通过第一线缆连接，电路控制器通过第二线缆与报警...

本实用新型提供一种单晶炉主室吊装定位装置，包括吊装机构和定位导向机构，所述吊装机构包括立柱和与所述立柱连接的吊臂，所述立柱竖向设置，所述吊臂横向设置，所述吊臂可绕所述立柱的轴线做水平旋转运动，并可沿所述立柱的轴线做竖向升降运动；所述定位...

本实用新型提供一种籽晶提拉装置，包括电机、第一减速器、电磁离合器、第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所...

本实用新型涉及一种重锤装置，包括重锤本体和位于重锤本体相对的两端的软轴连接结构和籽晶连接结构，软轴连接结构包括第一连接部、连接套、连接钼销和钼销挡套；第一连接部设置于重锤本体的轴向方向上的第一端，并沿重锤本体的轴向方向延伸设置，第一连接...

本发明涉及一种隔离阀盖装置，用于隔离单晶炉中的主炉室和副炉室，包括阀盖板和阀板轴，所述阀板轴上设置有第一进水口和第一出水口，所述阀盖板内均匀分布有多个相互连通的环形水槽，所述阀盖板上还设置有通过进水管路与所述第一进水口连通的第二进水口，...