旋转装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种旋转装置，包括：支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；旋转框架，设置于第一支撑架和第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，相对设置的第三边框和第四边框，第一边框与第一支撑架连接，第二边框与第二支撑架连接；夹持组件，包括相对设置的第一夹持板和第二夹持板；第一旋转结构，包括第一主动旋转轴、第一从动旋转轴和驱动部，第一主动旋转轴设置于第一边框和第一支撑架之间，第一从动旋转轴设置于第二边框和第二支撑架之间；第二旋转结构，包括传动单元、第二主动旋转轴和第二从动旋转轴，第二主动旋转轴设置于第一夹持板和第三框架之间，第二从动旋转轴设置于第二夹持板和第四边框之间。边框之间。边框之间。

【技术实现步骤摘要】
旋转装置


[0001]本技术涉及硅产品制作
，尤其涉及一种旋转装置。

技术介绍

[0002]随着芯片技术的不断提升，巨大集成电路的发展，对生产芯片的基础材料硅片的品质要求越来越高，为了能够生产出符合芯片生产要求的硅片材料，就需要对硅片及硅片存放治具进行各种清洁及检验。
[0003]常用的清洗方式是采用人工旋转硅片Casset(片盒)来完成清洁，由于片盒体积比较大，重量也比较大，人工旋转清洁比较困难，而且由于手动操作，会带来不同程度上的误差，清洁程度也难以保证，导致最终结果可信度不高；片盒的清洁液一般为HF和HNO3混合液，由于片盒的长时间使用，密封性存在一些问题，所以人工清洗时清洁液也容易泄露，因为HF毒性大，可能会对人体造成非常大的危害。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种旋转装置，解决人工旋转待清洗盒体结构以对待清洗盒体结构进行清洁的方式，效率低的问题。
[0005]为了达到上述目的，本技术实施例采用的技术方案是：一种旋转装置，用于对待清洗盒体结构的清洗，包括：
[0006]支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；
[0007]旋转框架，设置于所述第一支撑架和所述第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，和相对设置的第三边框和第四边框，所述第一边框与所述第一支撑架连接，所述第二边框与所述第二支撑架连接；
[0008]夹持组件，包括相对设置的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板设置于所述第三边框上，所述第二夹持板设置于所述第四边框上，所述第一夹持板的夹持面和所述第二夹持板的夹持面相向设置；
[0009]第一旋转结构，包括第一主动旋转轴、第一从动旋转轴和驱动部，所述第一主动旋转轴设置于所述第一边框和所述第一支撑架之间，所述第一从动旋转轴设置于所述第二边框和所述第二支撑架之间，在所述驱动部的驱动下，所述第一主动旋转轴带动所述第一从动旋转轴运动，以控制所述旋转框架旋转；
[0010]第二旋转结构，包括传动单元、第二主动旋转轴和第二从动旋转轴，所述第二主动旋转轴设置于所述第一夹持板和所述第三边框之间，所述第二从动旋转轴设置于所述第二夹持板和所述第四边框之间，所述传动单元包括依次传动连接的第一传动组件、直角传动组件和第二传动组件，所述第一传动组件的一端与所述第一从动旋转轴传动连接，所述第二传动组件的一端与所述第二主动旋转轴传动连接；
[0011]将待清洗盒体结构通过所述夹持组件夹持时，在所述驱动部的驱动下，所述旋转框架旋转，同时，在所述第一从动旋转轴、所述传动单元的传动下，使得所述第二主动旋转
轴带动所述夹持组件旋转，以带动待清洗盒体结构旋转，以对待清洗盒体结构进行清洗。
[0012]可选的，所述第一传动组件设置于所述第二边框上，所述第一传动组件包括通过同步传动带连接的第一传动轮和第二传动轮，所述第一传动轮与所述第一从动旋转轴传动连接。
[0013]可选的，所述第一传动组件还包括第一导向轮，所述第一导向轮设置于所述第一传动轮和所述第二传动轮之间。
[0014]可选的，所述直角传动组件设置于所述第二边框和所述第三边框之间的边角处，所述直角传动组件包括锥齿轮组，所述锥齿轮组的一端与所述第一传动组件传动连接，所述锥齿轮组的另一端与所述第二传动组件传动连接。
[0015]可选的，所述第二传动组件设置于所述第三边框上，所述第二传动组件包括通过同步传动带连接的第三传动轮和第四传动轮，所述第三传动轮与所述直角传动组件传动连接，所述第四传动轮与所述第二主动旋转轴传动连接。
[0016]可选的，所述第二传动组件还包括第二导向轮，所述第二导向轮设置于所述第三传动轮和所述第四传动轮之间。
[0017]可选的，所述夹持组件还包括多个第一固定销，所述第二夹持板上设置有与多个所述第一固定销一一对应的固定孔，所述固定孔的内壁上设置有内螺纹，旋转所述第一固定销以将待清洗盒体结构固定于所述第一夹持板和所述第二夹持板之间，或者从所述第一夹持板和所述第二夹持板之间取下。
[0018]可选的，还包括第二固定销，所述第二固定销设置于所述第一支撑架与所述第一边框之间，和/或所述第二固定销设置于所述第二支撑架与所述第二边框之间，旋转所述第二固定销，使得所述旋转框架在能够自由旋转和固定不动的状态之间转换。
[0019]可选的，所述第一支撑架和所述第二支撑架之间设置有清洗液回收槽，所述旋转框架悬置于所述清洗液回收槽的上方。
[0020]可选的，所述驱动部包括与所述第一主动旋转轴连接的驱动手轮。
[0021]可选的，所述旋转框架、所述支撑结构和所述夹持组件采用聚偏氟乙烯或聚丙烯制成。
[0022]本技术的有益效果是：在所述旋转框架旋转的同时，所述夹持组件带动待清洗盒体结构旋转，通过驱动部的单动力驱动同时实现两个自由度方向的旋转，提高待清洗盒体结构清洗效率。
附图说明
[0023]图1表示本技术实施例中选装装置结构示意图一；
[0024]图2表示本技术实施例中选装装置结构示意图二；
[0025]图3表示本技术实施例中所述第一传动组件部分结构示意图；
[0026]图4表示本技术实施例中直角传动组件结构示意图；
[0027]图5表示本技术实施例中第二传动组件部分结构示意图。
具体实施方式
[0028]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新
型实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0029]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
[0030]如图1
‑
图5所示，本实施例提供一种旋转装置，用于对待清洗盒体结构的清洗，包括：
[0031]支撑结构，包括相对设置的第一支撑架21和第二支撑架22；
[0032]旋转框架1，设置于所述第一支撑架21和所述第二支撑架22之间，包括相对设置的第一边框11、第二边框12，和相对设置的第三边框13和第四边框 14，所述第一边框11与所述第一支撑架21连接，所述第二边框12与所述第二支撑架22连接；
[0033]夹持组件，包括相对设置的第一夹持板31和第二夹持板32，所述第一夹持板31设置于所述第三边框13本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种旋转装置，用于对待清洗盒体结构的清洗，其特征在于，包括：支撑结构，包括相对设置的第一支撑架和第二支撑架；旋转框架，设置于所述第一支撑架和所述第二支撑架之间，包括相对设置的第一边框、第二边框，和相对设置的第三边框和第四边框，所述第一边框与所述第一支撑架连接，所述第二边框与所述第二支撑架连接；夹持组件，包括相对设置的第一夹持板和第二夹持板，所述第一夹持板设置于所述第三边框上，所述第二夹持板设置于所述第四边框上，所述第一夹持板的夹持面和所述第二夹持板的夹持面相向设置；第一旋转结构，包括第一主动旋转轴、第一从动旋转轴和驱动部，所述第一主动旋转轴设置于所述第一边框和所述第一支撑架之间，所述第一从动旋转轴设置于所述第二边框和所述第二支撑架之间，在所述驱动部的驱动下，所述第一主动旋转轴带动所述第一从动旋转轴运动，以控制所述旋转框架旋转；第二旋转结构，包括传动单元、第二主动旋转轴和第二从动旋转轴，所述第二主动旋转轴设置于所述第一夹持板和所述第三边框之间，所述第二从动旋转轴设置于所述第二夹持板和所述第四边框之间，所述传动单元包括依次传动连接的第一传动组件、直角传动组件和第二传动组件，所述第一传动组件的一端与所述第一从动旋转轴传动连接，所述第二传动组件的一端与所述第二主动旋转轴传动连接；将待清洗盒体结构通过所述夹持组件夹持时，在所述驱动部的驱动下，所述旋转框架旋转，同时，在所述第一从动旋转轴、所述传动单元的传动下，使得所述第二主动旋转轴带动所述夹持组件旋转，以带动待清洗盒体结构旋转，以对待清洗盒体结构进行清洗。2.根据权利要求1所述的旋转装置，其特征在于，所述第一传动组件设置于所述第二边框上，所述第一传动组件包括通过同步传动带连接的第一传动轮和第二传动轮，所述第一传动轮与所述第一从动旋转轴传动连接。3.根据权利要求2所述的旋转装置，其特征在于，所述第一传动组件还包括第一导向轮，...

【专利技术属性】
技术研发人员：路宙山，
申请(专利权)人：西安奕斯伟设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：