一种籽晶提拉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种籽晶提拉装置，包括电机、第一减速器、电磁离合器、第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。根据本实用新型专利技术实施例的籽晶提拉装置，通过电磁离合器控制籽晶提拉速度，从而方便籽晶在高速提拉与低速提拉之间的切换，可以有效提高籽晶的提拉效率，而且装置结构简单，传动效率高，稳定性好。稳定性好。稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶提拉装置


[0001]本技术涉及单晶制备
，具体涉及一种籽晶提拉装置。

技术介绍

[0002]籽晶提拉机构是半导体直拉式单晶生长炉的核心部件，籽晶提拉机构的提拉运动精度及稳定性决定了半导体硅晶棒生长的品质。由于硅单晶生长工艺的需要，籽晶提拉机构的最小提升速度为0.1毫米每分钟，最大提升速度为800毫米每分钟，最高速度与最低速度相差数千倍，并且需要保证在最低速度及最高速度的模式下都能满足额定的负载。现有的籽晶提拉机构都是使用高低速两个电机进行速度切换动作，整体结构复杂，价格昂贵，传动效率也比较低。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种籽晶提拉装置，以解决现有技术中籽晶提拉机构使用高低速两个电机进行速度切换动作，整体结构复杂，价格昂贵，传动效率较低的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术实施例提供了一种籽晶提拉装置，该装置包括电机、第一减速器、电磁离合器和第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。
[0006]可选的，所述第一减速器为谐波减速器，所述第二减速器为涡轮蜗杆减速器。
[0007]可选的，还包括：
[0008]速度检测单元，所述速度检测单元用于检测籽晶的提拉速度。
[0009]可选的，所述速度检测单元为速度检测编码器，所述速度检测编码器设置于所述第二减速器的输入轴。
[0010]可选的，还包括：
[0011]位置检测单元，所述位置检测单元用于检测籽晶的位置。
[0012]可选的，所述位置检测单元为位置检测编码器，所述位置检测编码器设置于所述第二减速器的输出轴。
[0013]可选的，所述第一减速器的输入端和输出端设置有第一皮带轮，所述电磁离合器的第一端和第二端设置有第二皮带轮，所述第一减速器的输入端通过皮带与所述电磁离合器的第一端传动连接，所述第一减速器的输出端通过皮带与所述电磁离合器的第二端传动连接。
[0014]可选的，所述电磁离合器的第二端设置有第三皮带轮，所述第二减速器的输入轴设置有第四皮带轮，所述电磁离合器的第二端通过皮带与所述第二减速器的输入轴传动连接。
[0015]可选的，还包括：
[0016]花键轴和固定在所述花键轴上的花键，所述花键轴与所述第二减速器的输出轴同轴连接，所述花键与所述卷曲轮固定连接。
[0017]可选的，还包括：
[0018]控制单元，所述控制单元与所述电磁离合器连接，所述控制单元用于控制所述电磁离合器的开启与停止。
[0019]本技术上述技术方案的有益效果如下：
[0020]根据本技术实施例的籽晶提拉装置，通过电磁离合器控制籽晶提拉速度，从而方便籽晶在高速提拉与低速提拉之间的切换，可以有效提高籽晶的提拉效率，而且装置结构简单，传动效率高，稳定性好。
附图说明
[0021]图1为本技术实施例提供的一种籽晶提拉装置的结构示意图。
具体实施方式
[0022]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0023]请参考图1，为本技术实施例提供的一种籽晶提拉装置的结构示意图。如图1所示，本技术实施例提供的籽晶提拉装置可以包括电机3、第一减速器4、电磁离合器5和第二减速器6；其中，电机3的动力输出端与第一减速器4的输入端连接，具体可以是电机3的动力输出端通过联轴器与第一减速器4的输入端同轴连接，第一减速器4的输入端还与电磁离合器5的第一端连接，第一减速器4的输出端则与电磁离合器5的第二端连接，电磁离合器5的第二端还与第二减速器6的输入轴连接，第二减速器6的输出轴则与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。
[0024]由此，通过控制电磁离合器的开启与停止，可以实现籽晶提拉速度的切换，也即籽晶在高速提拉与低速提拉之间的切换，实现千倍以上速度的切换。具体来说，在电磁离合器5停止的情况下，即电磁离合器5的第一端与第二端之间分离，则动力传递关系为：电机3的动力输出端输出动力，由第一减速器4的输入端输入第一减速器4，经过第一减速器4的减速作用，传递到电磁离合器5的第二端，并进一步传递至第二减速器6的输入轴，最终从第二减速器6的输出端输出，此时，由于经过第一减速器4和第二减速器6的减速作用，可以实现低速输出，满足最小提升速度为0.1毫米每分钟的要求。而在电磁离合器5开启的情况下，即电磁离合器5的第一端与第二端之间传动连接，则动力传递关系为：电机3的动力输出端输出动力，并传递至第一减速器4的输入端，由于电磁离合器5的第一端与第一减速器4的输入端传动连接，因此动力由电磁离合器5的第一端输入，并由电磁离合器5的第二端输出，并进一步传递至第二减速器6的输出轴，最终从第二减速器6的输出端输出，此时，由于只经过第二减速器6的减速作用，可以实现高速输出，满足最大提升速度为800毫米每分钟的要求。
[0025]本技术的一些实施例中，所述第一减速器为谐波减速器，又称为谐波传动减
速器，其减速比高、精度高、零部件少、安装方便、体积小、重量轻、效率高、噪音小；而所述第二减速器为涡轮蜗杆减速器，又称为涡轮蜗杆减速机，其结构紧凑、体积小、热交换性能好、散热快、安装方便、运行平稳、噪音小。
[0026]在本申请的一些实施例中，所述籽晶提拉装置还可以包括速度检测单元7，速度检测单元7用于检测籽晶的提拉速度，即实时获取籽晶的提拉速度，以方便对籽晶提拉速度进行控制。可选的，速度检测单元7可以为速度检测编码器，速度检测编码器设置于第二减速器6的输入轴，速度检测编码器具有高检测精度，可以提高籽晶提拉速度的高精度控制。
[0027]通过速度检测编码器实时获取籽晶提拉速度的计算公式如下：
[0028][0029]其中，π为圆周率常数，m为速度检测编码器的分辨率，i为第二减速器6的减速比，d为卷曲轮的直径，x为时间t内速度检测编码器的检测计数值。
[0030]在本申请的另一些实施例中，所述籽晶提拉装置还可以包括位置检测单元9，位置检测单元9用于检测籽晶所处的位置，即实时获取籽晶所处的位置，以方便对籽晶位置进行控制。可选的，位置检测单元9可以为位置检测编码器，位置检测编码器设置于第二减速器6的输出轴，位置检测编码器具有高检测精度，可以提高籽晶提拉位置的高精度控制。
[0031]通过位置检测编码器实时获取籽晶提拉位置的计算本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶提拉装置，其特征在于，包括电机、第一减速器、电磁离合器和第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。2.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述第一减速器为谐波减速器，所述第二减速器为涡轮蜗杆减速器。3.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，还包括：速度检测单元，所述速度检测单元用于检测籽晶的提拉速度。4.根据权利要求3所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述速度检测单元为速度检测编码器，所述速度检测编码器设置于所述第二减速器的输入轴。5.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，还包括：位置检测单元，所述位置检测单元用于检测籽晶的位置。6.根据权利要求5所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述位置检...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾元成，路宙山，
申请(专利权)人：西安奕斯伟设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：