一种籽晶提拉装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种籽晶提拉装置，包括电机、第一减速器、电磁离合器、第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。根据本实用新型专利技术实施例的籽晶提拉装置，通过电磁离合器控制籽晶提拉速度，从而方便籽晶在高速提拉与低速提拉之间的切换，可以有效提高籽晶的提拉效率，而且装置结构简单，传动效率高，稳定性好。稳定性好。稳定性好。

【技术实现步骤摘要】
一种籽晶提拉装置


[0001]本技术涉及单晶制备
，具体涉及一种籽晶提拉装置。

技术介绍

[0002]籽晶提拉机构是半导体直拉式单晶生长炉的核心部件，籽晶提拉机构的提拉运动精度及稳定性决定了半导体硅晶棒生长的品质。由于硅单晶生长工艺的需要，籽晶提拉机构的最小提升速度为0.1毫米每分钟，最大提升速度为800毫米每分钟，最高速度与最低速度相差数千倍，并且需要保证在最低速度及最高速度的模式下都能满足额定的负载。现有的籽晶提拉机构都是使用高低速两个电机进行速度切换动作，整体结构复杂，价格昂贵，传动效率也比较低。

技术实现思路

[0003]有鉴于此，本技术提供一种籽晶提拉装置，以解决现有技术中籽晶提拉机构使用高低速两个电机进行速度切换动作，整体结构复杂，价格昂贵，传动效率较低的问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]本技术实施例提供了一种籽晶提拉装置，该装置包括电机、第一减速器、电磁离合器和第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种籽晶提拉装置，其特征在于，包括电机、第一减速器、电磁离合器和第二减速器，所述电机的动力输出端与所述第一减速器的输入端连接，所述第一减速器的输入端还与所述电磁离合器的第一端连接，所述第一减速器的输出端与所述电磁离合器的第二端连接，所述电磁离合器的第二端还与所述第二减速器的输入轴连接，所述第二减速器的输出轴与卷曲轮连接，所述卷曲轮用于提拉籽晶。2.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述第一减速器为谐波减速器，所述第二减速器为涡轮蜗杆减速器。3.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，还包括：速度检测单元，所述速度检测单元用于检测籽晶的提拉速度。4.根据权利要求3所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述速度检测单元为速度检测编码器，所述速度检测编码器设置于所述第二减速器的输入轴。5.根据权利要求1所述的籽晶提拉装置，其特征在于，还包括：位置检测单元，所述位置检测单元用于检测籽晶的位置。6.根据权利要求5所述的籽晶提拉装置，其特征在于，所述位置检...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾元成，路宙山，
申请(专利权)人：西安奕斯伟设备技术有限公司，
类型：新型
国别省市：