一种单晶炉提拉头质心动平衡机构制造技术

本发明专利技术公开了一种单晶炉提拉头质心平衡机构，包括单晶炉提拉头，所述提拉头机构内设有缠绕钨丝绳用的移动滚轮，移动滚轮对面设有位置传感器；质心平衡机构安装在提拉头薄板侧面；质心平衡机构通过电控系统控制；直线导轨模组上设有位置传感器；直线往复运动的滑块上设有可更变配重块，配重块固定在往复运动的滑块上。本发明专利技术在单晶炉提拉头上安装质心动平衡机构，对由移动滚轮运动造成的提拉头质心位置偏移进行实时调整，保持单晶炉提拉头质心位置不发生变化，从而提高单晶炉工作时钨丝绳的稳定性，提高生产的单晶的品质。提高生产的单晶的品质。提高生产的单晶的品质。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉提拉头质心动平衡机构


[0001]本专利技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种单晶炉提拉头质心动平衡机构。

技术介绍

[0002]单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中,用加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备。现阶段拉晶行业生产规模不断增大，人工晶体材料不断向大直径、高质量、产业化方向发展，这就要求与之相适应的人工晶体生长设备向大型化发展，具备稳定性好、质量高、自动化程度高、操作使用方便等优点。作为高精度的晶体生长设备，其结构除了要满足必须的强度、刚度、稳定性，还要确保在拉制单晶过程中结构所产生的振动不能影响到单晶的生长质量。而单晶炉提拉头质心的偏心对单晶的摆动幅度具有一定的影响，所以需要减小单晶炉提拉头质心的偏心单晶的摆动幅度最小。
[0003]在单晶炉工作时，提拉头提升钨丝绳，提拉头机构中的移动滚轮需同时以一定速率进行运动以保持钨丝绳牵引点保持位置不变，这就造成提拉头总体质心位置发生变化，使钨丝绳与产生的单晶稳定性差，严重影响产品质量。

技术实现思路

[0004]为了保持单晶炉提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉提拉头质心动平衡机构，包括单晶炉提拉头，所述单晶炉提拉头内设有缠绕钨丝绳用的移动滚轮，所述移动滚轮对面设有位置传感器；质心平衡机构安装在提拉头薄板侧面；质心平衡机构通过电控系统控制，包括电机及直线导轨滑台模组，电机安装在直线导轨模组上，并通过联轴器带动直线导轨模组上的滑块进行直线往复运动；直线导轨模组上设有位置传感器；直线往复运动的滑块上设有配重块，配重块固定在往复运动的滑块上。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉头质心动平衡机构，其特征在于，滑块的下端面设有螺纹孔用于连接固定配重块，配重块与直线导轨模组上的滑块为可拆卸组合，通过螺纹螺母连接配合。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉提拉头质心动平衡机构，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：龙连春，张昊，吴奇，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：