本公开提供一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于拉晶炉的副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头，其吹风口朝向拉晶炉的籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；送风管，与所述吹风头连通；及供风部件，与所述送风管连通。本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。且可提升生产效率。且可提升生产效率。
【技术实现步骤摘要】
拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法
[0001]本专利技术涉及半导体
，尤其涉及一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法。
技术介绍
[0002]半导体硅拉晶炉制备晶棒过程是：在真空的炉体腔室内放置有石英坩埚，多晶料填在石英坩埚中，腔室通入保护气体，将坩埚加热至1500℃左右，将一个特定晶向的细单晶(籽晶)浸入硅溶液，控制溶液温度，缓慢将籽晶垂直提升，拉出的液体固化为单晶，调节加热温度得到所需的晶体直径。晶棒进行切、磨、抛等后续工艺制成晶圆片，晶圆片经过封测等工艺制成半导体芯片。在硅拉晶炉制成中对品质要求相当苛刻。尤其是对金属离子含量的要求极高。
[0003]在晶体的提拉过程中，籽晶的通过软轴的升降完成晶体的垂直提升，籽晶由卷丝轮旋转带动软轴上升和下降。在工艺流程中，由于软轴与卷丝轮长期接触摩擦，易产生金属颗粒，金属颗粒附着在软轴表面，在软轴的升降中进入真空腔室，挥发到硅溶液中，会造成产品致命缺陷。
[0004]在相关技术中，解决上述问题所采用的方案是，由人工定期将软轴从籽晶提拉装置中拆除，然后对软轴进行清洁处理，然后再进行回装。
[0005]这种方案存在以下问题：拉晶炉属于高精密专用设备，经常拆解会影响其精度及寿命；拆除软轴再进行回装后需要进行精度的校验；软轴拆装还容易将污染源或异物等带入籽晶提拉装置内造成二次污染。且软轴拆装时间较长，影响生产效率。因此，解决软轴清洁在拉晶工艺制程中对产品的品质至关重要。
技术实现思路
[0006]本公开实施例提供了一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。
[0007]本公开实施例所提供的技术方案如下：
[0008]本公开一方面提供一种拉晶炉软轴清理装置，所述拉晶炉包括籽晶提拉软轴及副室，所述籽晶提拉软轴穿过所述副室内腔且能够在所述副室内沿所述籽晶提拉软轴的轴向升降；拉晶炉软轴清理装置包括：
[0009]设置于所述副室内腔的支撑固定组件；及
[0010]设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中
[0011]所述吹扫组件包括：
[0012]吹风头，其吹风口朝向所述籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；
[0013]送风管，与所述吹风头连通；及
[0014]供风部件，与所述送风管连通。
[0015]示例性的，所述吹风头围绕于所述籽晶提拉软轴的周向外侧，且所述吹风头上设有多个所述吹风口，多个所述吹风口沿所述籽晶提拉软轴的周向分布。
[0016]示例性的，多个所述吹风口还沿所述籽晶提拉软轴的轴向依次间隔分布。
[0017]示例性的，所述吹风头呈筒状，所述籽晶提拉软轴穿设于所述吹风头的内腔，且所述吹风头的侧壁具有气体通道，所述气体通道与所述送风管和所述吹风口分别连通。
[0018]示例性的，所述吹风头为锥形筒状，其自上而下内腔直径逐渐增大。
[0019]示例性的，所述送风管上在所述吹风头与所述供风部件之间设置有电磁阀。
[0020]示例性的，所述拉晶炉软轴清理装置还包括：控制器，所述控制器用于控制所述籽晶提拉软轴在其轴向上升降，且当所述籽晶提拉软轴升降至预定位置段内时，控制所述吹扫组件执行对所述籽晶提拉软轴的吹扫工作。
[0021]示例性的，所述支撑固定组件包括支撑板，所述支撑板固定于所述副室内腔，并将所述副室内腔分隔为上腔室和下腔室，所述支撑板上设有通孔，所述籽晶提拉软轴从该通孔穿过，且所述吹风头位于所述上腔室内，所述送风管从所述副室内腔穿出至所述副室外，且所述送风管与所述副室之间设有密封件。
[0022]本公开第二方面提供一种拉晶炉，包括如上所述的拉晶炉软轴清理装置。
[0023]本公开第三方面提供一种拉晶炉软轴清理方法，应用于如上所述的拉晶炉，所述方法包括如下步骤：
[0024]控制所述籽晶提拉软轴在其轴向上升降；
[0025]当所述籽晶提拉软轴升降至预定位置段内时，控制所述吹扫组件执行对所述籽晶提拉软轴的吹扫工作。
[0026]示例性的，所述方法中，通过控制所述送风管上的电磁阀开启或关闭，以控制所述吹扫组件的工作状态。
[0027]本公开实施例所带来的有益效果如下：
[0028]本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，通过在拉晶炉的副室内安装吹扫组件，可在所述籽晶提拉软轴升降过程中，吹扫清理该软轴外表面，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。
附图说明
[0029]图1表示本公开实施例提供的拉晶炉的结构示意图；
[0030]图2表示本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置中吹扫组件的结构示意图。
[0031]图中，各部件标记如下：
[0032]炉体10；籽晶20；卷丝轮100；籽晶提拉软轴200；副室300；拉晶炉软轴清理装置400；支撑固定组件410；吹扫组件420；吹风头421；吹风口4210；气体通道4211；送风管422；电磁阀424；密封件425。
具体实施方式
[0033]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例的附图，对本公开实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本公开的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本公开的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0034]除非另外定义，本公开使用的技术术语或者科学术语应当为本公开所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本公开中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。同样，“一个”、“一”或者“该”等类似词语也不表示数量限制，而是表示存在至少一个。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。
[0035]为了解决相关技术中拉晶炉内的籽晶提拉软轴清理时需要拆解，导致产生精度、二次污染且影响生产效率等问题，本公开实施例中提供了一种拉晶炉软轴清理装置、拉晶炉及其软轴清理方法，可无需拆装软轴，对拉晶炉软轴进行自动吹扫，避免了软轴拆解产生的影响精度、寿命及二次污染的问题，且可提升生产效率。
[0036]如图1所示，本公开实施例提供的拉晶炉软轴清理装置可应用于拉晶炉内，所述拉晶炉包括炉体10、本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种拉晶炉软轴清理装置，所述拉晶炉包括籽晶提拉软轴及副室，所述籽晶提拉软轴穿过所述副室内腔且能够在所述副室内沿所述籽晶提拉软轴的轴向升降；其特征在于，所述拉晶炉软轴清理装置包括：设置于所述副室内腔的支撑固定组件；及设置于所述副室内腔的吹扫组件，所述吹扫组件通过所述支撑固定组件固定于所述副室内腔；其中所述吹扫组件包括：吹风头，其吹风口朝向所述籽晶提拉软轴的外表面，用于吹扫所述籽晶提拉软轴的外表面；送风管，与所述吹风头连通；及供风部件，与所述送风管连通。2.根据权利要求1所述的拉晶炉软轴清理装置，其特征在于，所述吹风头围绕于所述籽晶提拉软轴的周向外侧，且所述吹风头上设有多个所述吹风口，多个所述吹风口沿所述籽晶提拉软轴的周向分布。3.根据权利要求2所述的拉晶炉软轴清理装置，其特征在于，多个所述吹风口还沿所述籽晶提拉软轴的轴向依次间隔分布。4.根据权利要求2所述的拉晶炉软轴清理装置，其特征在于，所述吹风头呈筒状，所述籽晶提拉软轴穿设于所述吹风头的内腔，且所述吹风头的侧壁具有气体通道，所述气体通道与所述送风管和所述吹风口分别连通。5.根据权利要求4所述的拉晶炉软轴清理装置，其特征在于，所述吹风头为锥形...
【专利技术属性】
技术研发人员：屈强，
申请(专利权)人：西安奕斯伟设备技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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