可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置制造方法及图纸

技术编号:32832020 阅读:28 留言:0更新日期:2022-03-26 20:46
本发明专利技术属于机械的领域,尤其涉及可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置。包括支架,所述支架上设有可供硅晶棒垂直穿过的垂吊口;对中夹紧组件,设于所述支架上其位于垂吊口的两侧;垂吊支撑底座,设于所述支架上其位于垂吊口内可相对所述支架升降;垂吊升降组件。本方案通过改用以连接绳配合支撑滑轮组的升降结构,解决了现有采用导轨作为升降的方式,其连接绳的长度可自由收放,故可适配更长的单晶棒固定使用,而且可适配不同长度的单晶棒使用,使得本装置的使用范围更广,而且结构更简单,成本更低。低。低。

【技术实现步骤摘要】
可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置


[0001]本专利技术属于机械的领域,尤其涉及可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置。

技术介绍

[0002]单晶炉是多晶硅转化为单晶硅工艺过程中的必要设备。本领域的专业技术人员通过单晶炉将多晶硅加热拉制成单晶硅棒。在单晶硅拉制结束后从单晶炉副室中降下单晶棒,落在正下方的取晶架内。
[0003]目前通过设置在取晶小车上的取晶架对硅晶棒进行定位,而由于硅晶棒较为长直,其固定的取晶架至少对其上端以及下端进行夹紧或限位,故一般采用导轨使得承接底盘对硅晶棒下端进行支撑和限位,而能够固定的硅晶棒长度则被导轨的长度所限制。随着现有硅晶棒出炉的长度增加,其长度可超过10M,若取晶小车定制同样长度的导轨结构,则使得整体造价高,而且易损坏,后期维护成本大。

技术实现思路

[0004]为解决现有技术中针对长尺寸硅晶棒的出炉承接的问题,本专利技术提供了可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置。
[0005]本专利技术是通过以下技术方案实现的:
[0006]可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置,包括;
...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置,其特征在于,包括;支架(1),所述支架(1)上设有可供硅晶棒垂直穿过的垂吊口(101);对中夹紧组件(2),包括设于所述支架(1)上其位于垂吊口(101)的两侧的夹持臂以及驱动两夹持臂向垂吊口(101)中心运动的驱动件;垂吊支撑底座(3),设于所述支架(1)上其位于垂吊口(101)内可相对所述支架(1)升降;垂吊升降组件(4),包括设于所述支架(1)上的收放绳驱动件(41)、设于所述支架(1)上的支撑滑轮组(42)以及穿过所述支撑滑轮组(42)与所述垂吊支撑底座(3)连接的连接绳(43)。2.根据权利要求1所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置,其特征在于,所述垂吊支撑底座(3)的中部开设有贯穿其上下两端的让位口(301),所述垂吊支撑底座(3)上还设有伸至所述让位口(301)的底部承托组件(5)。3.根据权利要求2所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置,其特征在于,所述垂吊支撑底座(3)上设有4组所述的底部承托组件(5)。4.根据权利要求3所述的可适用于长尺寸硅晶棒用取晶装置,其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员:林龙强杜忠明刘智嘉
申请(专利权)人:中山市汇创精密科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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