本实用新型专利技术公开了一种单晶炉防漏装置，涉及单晶炉防漏技术领域，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体的内部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定安装有转板，所述转板的顶部开设有多个卡接槽，多个所述卡接槽的内部均卡接有卡接块，所述卡接块的外侧开设有限位槽，本实用新型专利技术的有益效果为：通过利用防漏箱可以对泄露的硅进行收取，当大量的硅泄露时，则利用第二电机带动转板进行旋转，将另一个移动防漏箱至熔化箱的底部，同时收取溢出的防漏箱移动到单晶炉本体的外部，然后通过排出管可以将溢出的硅进行排放，将防漏箱进行清空，然后重复上述步骤，可以完成防漏工作，减小了装置的使用局限性，提高了一定的实用性。提高了一定的实用性。提高了一定的实用性。
【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉防漏装置
[0001]本技术涉及单晶炉防漏
，具体为一种单晶炉防漏装置。
技术介绍
[0002]单晶炉是一种在惰性气体环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径，比如85炉，是指主炉筒的直径大小，120、150等型号是由装料量来决定的。
[0003]单晶炉在高温化料后，可能会因为一些不可见因素引起漏硅，大量硅液会漏至炉体和真空管道，可能会使管道损坏，造成一定的经济损失，并且现有防漏装置结构单一，能存放的容量极其有限，当遇到大量漏硅时显得有些捉襟见肘，而使用体积较大的防漏装置又会占据单晶炉一定的空间，使用局限性较大，实用性较低，并且现有的防漏装置进行冷却是大多数都是等自然冷却，浪费了时间，降低了一定的工作效率，为此我们提出了一种单晶炉防漏装置。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种单晶炉防漏装置，解决了上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种单晶炉防漏装置，包括单晶炉本体，所述单晶炉本体的内部固定安装有第二电机，所述第二电机的输出端固定安装有转板，所述转板的顶部开设有多个卡接槽，多个所述卡接槽的内部均卡接有卡接块，所述卡接块的外侧开设有限位槽，所述卡接块的顶部固定安装有防漏箱，所述防漏箱的底部固定连接有排出管，所述排出管贯穿转板并延伸至转板的一侧，所述单晶炉本体的顶部开设有注入口，所述单晶炉本体的内部设置有熔化箱。
[0006]优选的，所述转板的内部开设有多个第二安装槽，所述转板的内部且位于卡接槽的一侧开设有第一安装槽。
[0007]优选的，所述第二安装槽的内部固定安装有伸缩弹簧，所述伸缩弹簧的一侧固定连接有移动块，所述第一安装槽的内部固定安装有电磁铁，所述电磁铁与移动块磁力连接。
[0008]优选的，所述单晶炉本体的一侧固定安装有冷却箱，所述冷却箱的一侧固定连接有第一电机，所述冷却箱的内部转动连接有转杆，所述转杆的一端与第一电机的输出端固定连接。
[0009]优选的，所述转杆的外侧设置有安装板，所述安装板的一侧固定安装有水箱。
[0010]优选的，所述水箱的内部固定安装有水泵，所述水泵的输出端固定连接有输出管，所述输出管贯穿水箱并延伸至水箱的一侧。
[0011]优选的，所述安装板的另一侧活动安装有两个冷风机，两个所述冷风机均为可拆卸结构。
[0012]本技术提供了一种单晶炉防漏装置，具备以下有益效果：
[0013]1、该单晶炉防漏装置，通过利用防漏箱可以对泄露的硅进行收取，当大量的硅泄露时，则利用第二电机带动转板进行旋转，将另一个移动防漏箱至熔化箱的底部，同时收取溢出的防漏箱移动到单晶炉本体的外部，然后通过排出管可以将溢出的硅进行排放，将防漏箱进行清空，然后重复上述步骤，可以完成防漏工作，减小了装置的使用局限性，提高了一定的实用性。
[0014]2、该单晶炉防漏装置，当需要对防漏装置进行降温时，首先利用冷风机对防漏箱进行初步风冷，将防漏箱的温度降到一定的程度，利用第一电机带动转杆调整安装板的角度，然后利用水泵将水箱内部的水通过输出管喷洒出去，可以对防漏箱进行二次降温，同时可以对防漏箱进行清洗，然后通过排出管排放出去，节省了时间，提高了一定的工作效率。
附图说明
[0015]图1为本技术结构示意图；
[0016]图2为本技术图1中的A处放大图；
[0017]图3为本技术图1中的B处放大图。
[0018]图中：1、单晶炉本体；2、熔化箱；3、注入口；4、冷却箱；5、第一电机；6、防漏箱；7、转板；8、第二电机；9、排出管；10、电磁铁；11、限位槽；12、移动块；13、第一安装槽；14、卡接块；15、第二安装槽；16、伸缩弹簧；17、卡接槽；18、冷风机；19、转杆；20、水箱；21、水泵；22、输出管；23、安装板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。
[0020]请参阅图1至图3，本技术提供一种技术方案：一种单晶炉防漏装置，包括单晶炉本体1，单晶炉本体1的内部固定安装有第二电机8，第二电机8的输出端固定安装有转板7，转板7的顶部开设有多个卡接槽17，多个卡接槽17的内部均卡接有卡接块14，卡接块14的外侧开设有限位槽11，卡接块14的顶部固定安装有防漏箱6，防漏箱6的底部固定连接有排出管9，排出管9贯穿转板7并延伸至转板7的一侧，单晶炉本体1的顶部开设有注入口3，单晶炉本体1的内部设置有熔化箱2，通过利用防漏箱6可以对泄露的硅进行收取，当大量的硅泄露时，则利用第二电机8带动转板7进行旋转，将另一个移动防漏箱6至熔化箱2的底部，同时收取溢出的防漏箱6移动到单晶炉本体1的外部，然后通过排出管9可以将溢出的硅进行排放，可以完成防漏工作，减小了装置的使用局限性，提高了一定的实用性，转板7的内部开设有多个第二安装槽15，转板7的内部且位于卡接槽17的一侧开设有第一安装槽13，第二安装槽15的内部固定安装有伸缩弹簧16，伸缩弹簧16的一侧固定连接有移动块12，第一安装槽13的内部固定安装有电磁铁10，电磁铁10与移动块12磁力连接，利用卡接块14卡入卡接槽17的内部，完成对防漏箱6的初步安装，然后将利用电磁铁10对移动块12进行吸附可以完成对卡接块14的固定，完成对防漏箱6的限位，增加了防漏箱6转动时的稳定性，单晶炉本体1的一侧固定安装有冷却箱4，冷却箱4的一侧固定连接有第一电机5，冷却箱4的内部转动连
接有转杆19，转杆19的一端与第一电机5的输出端固定连接，通过利用第一电机5带动转杆19进行转动，可以根据情况调节安装板23转动的角度，转杆19的外侧设置有安装板23，安装板23的一侧固定安装有水箱20，水箱20的内部固定安装有水泵21，水泵21的输出端固定连接有输出管22，输出管22贯穿水箱20并延伸至水箱20的一侧，安装板23的另一侧活动安装有两个冷风机18，两个冷风机18均为可拆卸结构，进行降温时，利用冷风机18对防漏箱6进行初步风冷，将防漏箱6的温度降到一定的程度，利用第一电机5带动转杆19调整安装板23的角度，然后利用水泵21将水箱20内部的水通过输出管22喷洒出去，可以对防漏箱6进行二次降温，同时可以对防漏箱6进行清洗，完成防漏箱6的降温工作，提高了一定的工作效率，节省了时间。
[0021]综上，该单晶炉防漏装置，使用时，首先将防漏箱6放置到转板7的顶部，然后同时卡接块14卡入卡接槽17的内部，完成对防漏箱6的初步安装，然后将利用电磁铁10对移动块12进行吸附可以完成对卡接块14的固定，完成对防漏箱6的限位，当硅泄露时，利用防漏箱6可以对泄露的硅进行收取，如果当前防漏箱6的容量不本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉防漏装置，包括单晶炉本体(1)，其特征在于：所述单晶炉本体(1)的内部固定安装有第二电机(8)，所述第二电机(8)的输出端固定安装有转板(7)，所述转板(7)的顶部开设有多个卡接槽(17)，多个所述卡接槽(17)的内部均卡接有卡接块(14)，所述卡接块(14)的外侧开设有限位槽(11)，所述卡接块(14)的顶部固定安装有防漏箱(6)，所述防漏箱(6)的底部固定连接有排出管(9)，所述排出管(9)贯穿转板(7)并延伸至转板(7)的一侧，所述单晶炉本体(1)的顶部开设有注入口(3)，所述单晶炉本体(1)的内部设置有熔化箱(2)。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉防漏装置，其特征在于：所述转板(7)的内部开设有多个第二安装槽(15)，所述转板(7)的内部且位于卡接槽(17)的一侧开设有第一安装槽(13)。3.根据权利要求2所述的一种单晶炉防漏装置，其特征在于：所述第二安装槽(15)的内部固定安装有伸缩弹簧(16)，所述伸缩弹簧(16)的一侧固定连接有移动块(12...
【专利技术属性】
技术研发人员：戴炜炜，
申请(专利权)人：福建中伟半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：
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