一种单晶炉用导气筒及单晶炉制造技术

本实用新型专利技术涉及单晶炉技术领域，具体公开了一种单晶炉用导气筒及单晶炉，该单晶炉用导气筒包括导气筒本体，导气筒本体包括第二通道、设置于第二通道两端的第一通道以及连接于第一通道的第三通道，第一通道、第三通道均与第二通道相连通且同轴设置；第一通道的内径沿靠近第二通道的方向逐渐减小，第一通道的内壁与第一通道的中心线之间的夹角为30度

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉用导气筒及单晶炉


[0001]本技术涉及单晶炉
，尤其涉及一种单晶炉用导气筒及单晶炉。

技术介绍

[0002]单晶硅是生产单晶硅太阳能电池的基础原料，而单晶硅必须利用硅原料经过一系列的工艺方法生产得到。目前单晶硅普遍采用直拉法，以单晶炉为主要设备来进行生产。如图1所示，为常规单晶炉的截面示意图。该单晶炉工作时，通常将固体的多晶硅盛放在单晶炉的石英坩埚内，用石墨加热器通过辐射将固体的多晶硅加热熔化成液体熔硅，然后采用直拉的方法，将熔硅生长成单晶硅棒。在单晶生长的过程中，炉内的坩埚上方不断有一氧化硅和粉尘杂质生成，因此需要不断充入氩气，利用氩气带走晶体生长时液体硅凝固成固体硅产生的结晶潜热，同时将产生的一氧化硅、粉尘杂质与氩气等的混合气体通过单晶炉的排气口排出。但为了防止一氧化硅、粉尘杂质等挥发物对炉底保温部件产生腐蚀作用，一般地，会在排气口处设置导气圆筒100，导气圆筒100能有效隔离一氧化硅、粉尘杂质等挥发物与炉底保温部件，降低了炉底保温部件的腐蚀失效速率。
[0003]现有技术中，为了降低制造成本，炉体设计时一般会将排气口适当做大，进而使得安装在排气口内的导气圆筒100的外径也随之增大，为了降低导气圆筒100的制造成本，通常会减小导气圆筒100的壁厚，这又造成导气圆筒100的内径较大。在同样排气速率的前提下，较大内径的导气圆筒100内的气体流速较低，当高温的粉尘杂质通过导气圆筒100时，因导气圆筒100内外壁的温差较大，造成热场保温性欠佳，一氧化硅、粉尘杂质等挥发物会附着在导气圆筒100的内壁，长期堆积就会造成导气圆筒100堵塞，进而需要经常对导气圆筒100的内壁进行清理，无法实现长周期的工作。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种单晶炉用导气筒及单晶炉，能有效减少内部通道侧壁附着的挥发物，有利于长周期的工作。
[0005]为达上述目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一方面，本技术提供一种单晶炉用导气筒，用于将单晶炉内的气体导出，该单晶炉用导气筒包括导气筒本体，所述导气筒本体包括第二通道、设置于所述第二通道两端的第一通道以及连接于所述第一通道的第三通道，所述第一通道、所述第三通道均与所述第二通道相连通且同轴设置；所述第一通道的内径沿靠近所述第二通道的方向逐渐减小，所述第一通道的内壁与所述第一通道的中心线之间的夹角为30度
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70度；所述第二通道的内径与所述第一通道中的最小的内径相同，所述第三通道的内径与所述第一通道中的最大的内径相同，任一所述第三通道能与单晶炉内部连通。
[0007]优选地，所述第一通道、所述第三通道与所述第二通道的内壁均设有光滑涂层。
[0008]优选地，所述第一通道的内壁的光滑涂层的光滑度大于所述第二通道的内壁的光滑涂层的光滑度。
[0009]优选地，所述导气筒本体外周包裹有保温件。
[0010]优选地，所述导气筒本体外周设有环形槽，所述保温件包裹于所述环形槽内。
[0011]优选地，所述环形槽的两端不低于所述第二通道的两端。
[0012]优选地，所述环形槽内设置有发热件，所述发热件位于所述保温件内部。
[0013]优选地，所述环形槽的槽底设有螺旋状的安装槽，所述发热件包括发热丝，所述安装槽的深度尺寸大于或等于所述发热丝的外径尺寸，所述发热丝缠绕于所述安装槽内。
[0014]另一方面，本技术还提供一种单晶炉，包括上述任一项技术方案所述的单晶炉用导气筒。
[0015]本技术的有益效果为：
[0016]本技术提供一种单晶炉用导气筒及单晶炉，在同样排气速率的前提下，单晶炉内的气体从第一通道进入内径变小的第二通道，一方面，气体流速会提高，使得气体对第二通道内壁的冲击力增加，能将部分附着在第二通道的一氧化硅、粉尘杂质等挥发物吹落；另一方面，由于第一通道为漏斗结构，一氧化硅、粉尘杂质等挥发物会向第二通道的中心方向转移，减小了第二通道内壁能够接触的一氧化硅、粉尘杂质等挥发物，降低了挥发物附着于第二通道内壁的可能性。由此，可以延长对导气筒本体内部进行清理的周期，能够实现较长周期的工作。
附图说明
[0017]图1为常规单晶炉的截面示意图；
[0018]图2为本技术实施例中单晶炉用导气筒的结构示意图；
[0019]图3为本技术实施例中单晶炉用导气筒的内部结构示意图。
[0020]图中：
[0021]100、导气圆筒；
[0022]1、导气筒本体；11、第一通道；12、第二通道；13、第三通道；14、环形槽。
具体实施方式
[0023]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0024]在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。其中，术语“第一位置”和“第二位置”为两个不同的位置，而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0025]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0026]下面详细描述本技术的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本技术，而不能理解为对本技术的限制。
[0027]实施例一
[0028]如图2
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3所示，本实施例提供一种单晶炉用导气筒，用于导出单晶炉内的气体，该单晶炉用导气筒包括导气筒本体1，导气筒本体1包括第二通道12、设置于第二通道12两端的第一通道11以及连接于第一通道11的第三通道13，第一通道11、第三通道13均与第二通道12相连通且同轴设置；第一通道11的内径沿靠近第二本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉用导气筒，用于导出单晶炉内的气体，其特征在于，该单晶炉用导气筒包括导气筒本体(1)，所述导气筒本体(1)包括第二通道(12)、设置于所述第二通道(12)两端的第一通道(11)以及连接于所述第一通道(11)的第三通道(13)，所述第一通道(11)、所述第三通道(13)均与所述第二通道(12)相连通且同轴设置；所述第一通道(11)的内径沿靠近所述第二通道(12)的方向逐渐减小，所述第一通道(11)的内壁与所述第一通道(11)的中心线之间的夹角为30度
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70度；所述第二通道(12)的内径与所述第一通道(11)中的最小的内径相同，所述第三通道(13)的内径与所述第一通道(11)中的最大的内径相同，任一所述第三通道(13)能与单晶炉内部连通。2.根据权利要求1所述的单晶炉用导气筒，其特征在于，所述第一通道(11)、所述第三通道(13)与所述第二通道(12)的内壁均设有光滑涂层。3.根据权利要求2所述的单晶炉用导气筒，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：马新成，秦乐，蔡旭，李晶，刘文涛，丁天璞，
申请(专利权)人：包头阿特斯阳光能源科技有限公司，
类型：新型
国别省市：