一种单晶炉拉晶装置制造方法及图纸

本申请涉及单晶炉，尤其涉及一种单晶炉拉晶装置，包括：机架；外轴、内轴，夹持机构，夹持机构连接于外轴的底部，以及驱动机构包括：第一驱动组件，第一驱动组件固定于固定座上并作用于外轴，用于驱动外轴和内轴在第一方向上移动；第二驱动组件，第二驱动组件固定于移动座上并作用于内轴，用于独立驱动内轴在第一方向上移动；以及旋转驱动组件，旋转驱动组件固定于移动座上并作用于外轴，用于驱动外轴旋转。本申请采用内轴和外轴分别提升的方式，在晶棒缩颈从而得到夹持部，在驱动下提升外轴和托板，再通过工艺要求对晶棒进行第二次放肩，并以预设的速度进行拉晶，从而使得拉制出的晶棒的重量作用于托板上，减小细晶的受力。减小细晶的受力。减小细晶的受力。

【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉拉晶装置


[0001]本申请涉及单晶炉，尤其是涉及一种单晶炉拉晶装置。

技术介绍

[0002]直拉法硅单晶技术是目前主流的一种生产半导体硅单晶的技术，单晶硅生长是在惰性保护性气体的环境下，用高纯石墨电阻式加热器将盛放在高纯石英坩埚内高温熔化，在持续的低压氩气保护下，硅晶体在合适的温度与生长速度下，在一根细小的籽晶上逐淅结晶成一根单晶体。
[0003]现有技术中，随着市场发展的需求，硅单晶尺寸正在朝着大尺寸、大重量的趋势发展，大尺寸的硅单晶也就意味着单晶炉拉制出的晶棒的重量更大。单晶炉一般通过连接石墨夹头，石墨夹头上夹持籽晶，通过籽晶直接进行引晶，引晶过程中会在籽晶生长一段细晶，之后生长的晶棒的全部重量都施加在细晶上。在大直径晶棒生长过程中，由于籽晶和细颈细小，容易在大负载、高晶转过程中出现偏心折断，导致晶棒掉落发生生产安全事故，不仅会对炉体造成损失同时也可能会对周围环境工作人员产生危险。
[0004]因此，现有技术的技术问题在于：在大直径晶棒生长过程中细晶容易断裂。

技术实现思路

[0005]本申请提供本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，包括：机架，所述机架包括；固定座，所述固定座固定；移动座，所述移动座具有第一方向移动的自由度；外轴，所述外轴呈中空，所述外轴连接于所述移动座上且具有轴向旋转的自由度；内轴，所述内轴位于所述外轴的内部，且所述内轴与所述外轴呈共轴，所述内轴连接于所述外轴，且具有第一方向移动的自由度；夹持机构，所述夹持机构连接于所述外轴的底部，所述夹持机构包括：承重杆，所述承重杆连接于所述外轴的底部；托板，所述托板固定连接于所述承重杆上；以及夹块，所述固定于所述托板上，所述夹块至少具有两个，且所有夹块关于所述内轴的中心轴呈中心对称，所有夹块之间形成夹持空间；以及驱动机构，所述驱动机构包括：第一驱动组件，所述第一驱动组件固定于所述固定座上并作用于所述外轴，用于驱动所述外轴和所述内轴在第一方向上移动；第二驱动组件，所述第二驱动组件固定于所述移动座上并作用于所述内轴，用于独立驱动所述内轴在第一方向上移动；以及旋转驱动组件，所述旋转驱动组件固定于所述移动座上并作用于所述外轴，用于驱动所述外轴旋转。2.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，所述固定座包括第一座和第二座，所述第一座和所述第二座沿第一方向布置，所述移动座容置于所述第一座和第二座之间；所述外轴穿设并连接于所述移动座和所述第二座上。3.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，所述外轴与内轴之间设置有定位组件，所述定位组件包括：定位套，所述定位套固定于所述外轴的内壁上，所述定位套的中心位置具有方形通道，所述方形通道与所述内轴呈共轴设置；方轴，所述方轴穿设于所述方形通道内，且与所述方形通道的内壁贴合，所述方轴连接于所述内轴上，且与所述内轴共轴设置。4.根据权利要求1所述的一种单晶炉拉晶装置，其特征在于，在内轴与外轴之间设置有密封组件，所述密封组件包括：环形连接座，所述环形连接座位于所述内轴与所述外轴之间，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：叶钢飞，傅林坚，朱亮，胡建荣，叶雷江，梁晋辉，魏怡凡，曹建伟，
申请(专利权)人：浙江晶盛机电股份有限公司，
类型：发明
国别省市：