一种用于使真空腔室（4）的腔室壁（3）中的开口（2）相对于大气封闭的门，其包括封闭部件（1）、门体（10）以及至少一个倾翻执行器（25，25’，26，26’），所述封闭部件安置在至少一个连杆（9，9’，9”）上，并且所述封闭部件能够在打...

一种真空阀，其包括：具有通道（2）、围绕通道（2）的底座（8）和围绕通道（2）的对应底座（9）的阀壳体（1），该通道（2）具有轴线（3），该底座（8）处于第一平面（13）中，该对应底座（9）处于与第一平面（13）成楔形的第二平面（14）...

一种用于关闭低压腔或真空腔的腔壁中的开口的装置，其具有至少一个可移动地支承的关闭机构(1)和带有通孔(3)及至少一个包围通孔(3)的支座面(4)的至少一个基体(2)，其中，通孔(3)可带到与腔壁中的开口相叠或者处于相叠，并且其中，该装置...

本发明涉及用于气密截断流路(F)的阀门。该阀门具有阀体(1)、阀瓣(5)和驱动装置(7)，阀瓣(5)可借助该驱动装置在开启位置(O)和关闭位置(C)之间被调整。根据本发明，该阀门具有密封座(30)，该密封座可在接合位置(K)在该阀瓣(5...

在借助于横向于阀杆（２）延伸的横支架（３）的阀板（１）在阀杆（２）处的悬置中，横支架（３）在中部连接部位（４）处与阀杆（２）相连接，并且在至少两个、位于中部连接部位（４）两侧的侧向连接部位（５，６）处与阀板（１）相连接。横支架（３）在中...

本发明涉及一种真空阀（１），该真空阀用于中断、释放或控制真空阀（１）的内部（３）中的流动介质。联接到阀驱动装置（５）的轴杆（６）从大气区域（４）通过密封轴杆贯通部（２０）穿过阀壳体（２）气密地导入内部（３），使得由阀驱动装置（５）产生的...

本发明涉及真空阀，它包括具有被阀座（４）包围的阀孔（２）的壁体（１）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（５），它可以从打开位置调整到纵向（６）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（６）的横向（７）上的关闭位置，还包括至少一...

真空阀包括带阀口的阀体、包围阀口的阀座、闭合元件和至少一个置于其上的周边封闭密封件，密封件具有与在阀口轴线方向错开布置的第一和第二阀座主分段及第一和第二阀座连接段对应的第一和第二密封件主分段及第一和第二密封件连接段，并在由两个侧壁和一个...

本发明提供具有枢转支承件的活板输送阀。细长第一开口(1)可借由细长阀关闭梁(4)关闭，该梁可经由枢转支承件绕枢转轴线(10)在关闭位置和开启位置之间枢转。轴杆(11)可借由驱动机构(13)绕轴杆轴线(12)旋转并操作连接至阀关闭梁，使得...

本发明涉及一种带有阀盖的活板输送阀。细长的第一开口可借由细长的阀关闭梁来关闭，阀关闭梁可经由枢转支承件绕枢转轴线在关闭位置和开启位置之间枢转。轴杆可借由驱动机构绕轴杆轴线旋转并操作连接至阀关闭梁，使得轴杆的旋转引起阀关闭梁枢转。阀关闭梁...

本发明涉及将半导体元件或基板输送到能以气密方式隔离的半导体或基板加工处理室中的活板输送阀，活板输送阀具有：细长的第一开口(1)，其由第一密封平面(41)上的第一密封表面(3)以框架形式围绕；以及细长的阀关闭梁(4)，其具有第二密封表面(...

本发明涉及一种真空阀，该真空阀包括带有一阀门流通断面（６）和一包围着阀门流通断面（６）的阀座的壁（１）和一阀瓣（７），其中，阀瓣（７）在真空阀关闭时从其打开位置经一关闭行程的主断面沿着一主关闭方向（１４）调节，该主关闭方向平行于阀瓣（７...

一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：带有阀开孔（２）的阀体（１）；关闭件（３），其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径（ｓ），且在关闭位置封闭阀开孔（２），其中至少一个弹性的密封件（４）压靠到密封面（３５）...

本发明涉及一种用于真空阀的封闭单元，具体而言，该封闭单元包括：用于使真空阀的第一阀孔（２）封闭的第一阀板（７）；用于使真空阀的第二阀孔（３）封闭的第二阀板（８）；承载板（１９），该承载板（１９）位于阀板（７，８）之间并且阀板（７，８）以...

本发明涉及一种滑动阀，其包括阀体（１）、阀板（５）、至少一个沿轴线方向能够移动的阀杆（８）、至少一个使阀板（５）从它的中间位置行进至它的关闭位置的行程元件（１０，１１）以及至少一个带有至少一个前支撑元件和至少一个后支撑元件（１４，１３）...

本发明涉及一种用于控制或者调节真空阀的方法，所述真空阀包括带有阀孔（２）的阀体（１）、闭锁元件（３）、用于调整所述闭锁元件（３）的执行器（５）以及控制装置（９），借助于所述控制装置来触发所述执行器（５）并且由该控制装置来设定在所述闭锁元...

一种阀，带有闭锁装置（３），用于在闭锁装置（３）的关闭位置中的阀开口（１）的尤其气密的闭锁，其中，闭锁装置（３）在关闭过程中可从最大开口的第一位置出发至少在第一部分路段上以带有线性运动分量（２２）的方式在朝其关闭位置的方向上被至少一个促...

一种真空阀，包括：带有阀开口的阀体；至少一个用于封闭阀开口的封闭件；第一活塞－气缸单元；第二活塞－气缸单元；分别与第一和第二活塞－气缸单元的活塞一起运动的第一和第二控制件，其分别用于控制第二活塞－气缸单元的开启－气缸腔的压力施加和第一活...

本发明涉及一种真空阀，其包括：至少一个具有柱形连接部分的推力杆；和封闭板，其可移除地安装在推力杆上并具有与柱形连接部分对应的至少一个凹入的半圆形第一杆凹部。夹紧件具有与柱形连接部分对应的凹入的半圆形第二杆凹部，并可借助于机械固定元件可调...

本发明涉及一种用于气密闭合流路的真空阀，该真空阀包括形成有至少一个杆槽的闭合盘和至少一个连接杆。借助于穿过连接部的横向孔并与杆槽中的螺纹孔接合的螺钉将杆槽定位在连接杆的连接部上，由此将闭合盘可拆卸地安装在连接杆上。根据本发明，在杆槽和连...