一种阀，带有闭锁装置（３），用于在闭锁装置（３）的关闭位置中的阀开口（１）的尤其气密的闭锁，其中，闭锁装置（３）在关闭过程中可从最大开口的第一位置出发至少在第一部分路段上以带有线性运动分量（２２）的方式在朝其关闭位置的方向上被至少一个促动器（４）所移动，并且，用于带有该运动分量的闭锁装置（３）的运动的促动器（４）实施带有线性冲程方向（２３）的关闭冲程，其中，促动器（４）相对于闭锁装置（３）如此地被布置，即，使得在从最大开口的第一位置出发的第一部分路段上的闭锁装置（３）的线性运动分量（２２）与促动器（４）的线性冲程方向（２３）之间设置有非０°和１８０°的角。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】带有闭锁装置的阀本专利技术涉及一种阀，带有闭锁装置(Verschlussorgan),用于在该闭 锁装置的关闭位置(Schliessstdlung)中的阀开口的尤其为气密的 (gasdichten)闭锁，其中，闭锁装置可在关闭过程中从最大开口的第一 位置出发至少在第 一部分路段(Teilstrecke)上以带有线性运动分量的 方式在朝其关闭位置的方向上被至少一个促动器所移动，且促动器为 了带有该运动分量的闭锁装置的运动而实施带有线性冲程方向 (Hubrichtung)的关闭冲程(Schliesshub)。这类阀例如在半导体生产或者加工中^皮使用，以便可气密地在尽 可能排出空气的(即，真空的)封闭的区域中执行各个加工步骤。这些 阀通常也被称为所谓的真空阀。名称滑动阀(Schiebeventil)也经常被^f吏 用，因为阀的闭锁装置在其从最大开口位置到关闭位置的路径上至少 局部地线性地被推移。原则上在这样的阀中须作如下考虑，即，从闭 锁装置触碰到密封面的时刻起，通常布置在闭锁装置处或者布置在与 之相应的阀的支承面(Sitzflaeche)处的密封件不横向于其纵向方向地 被力口载。密封件的此类剪应力通常被认为对密封件的寿命非常不利。 为了避免这种情况，在现有技术中形成有不同类型的闭锁装置，其分 别地可至少部分地在线性运动中从最大地被开启的位置运动到关闭 位置中。第一组闭锁装置大致上设计为楔形的，从而，基于楔作用， 垂直于支承面的力分量在关闭运动末端将闭锁装置按压到支承面处。 这样的闭锁装置设计形式例如示出在文件US 4，921,213和文件US 7,011,294中。在其它的这类阀中作如下设置，即，为了阀的关闭，闭 锁装置首先在推移方向上被促动器线性地推移，直到闭锁装置位于对 着阀开口但仍升离阀座的位置中。接着，进行带有另外的通常垂直于5支承面地定向的运动分量的运动，由此，将闭锁装置按压到阀壳体的 支承面处。在这样的滑动阀中，关闭运动的第二段以各种不同的方式来实现。例如，文件US 6,629,682示出了一种这种类型的阀，在其中， 通过借助于另外的促动器的翻转运动(Kippbewegung)将闭锁装置按压 到阀壳体的支承面处。在这类阀中(在其中，闭锁装置总体上实行L 形或者J形的运动)，通过翻转元件来实现闭锁装置至支承面处的按压 在其它的变型中也是已知的。 一种此类i殳计例如在文件DE 32 24 387 中示出。在现有技术中已知的其它的闭锁装置的变型在其从最大地被开 启的位置到关闭位置的运动中仅在一个方向上线性地被移动。在其中 作如下设置，即，阀体的支承面相应地垂直于闭锁装置的运动方向地 布置。对此的示例可从文件US 6,685,163中得到。在现有技术中普遍的是，借助于通常为气动式的活塞-气缸-单元 来实现闭锁装置的线性运动。在此，该单元的活塞杆通常直接地作用 到闭锁装置上。这有两个缺点。 一方面，借助于该气动促动器可实现 的关闭和开启速度(主要是在第一运动阶段中)并不如所期望的那么 高。另一方面，促动器须被设计和定尺寸成非常的大，以便能够提供 在闭锁装置的关闭位置中的所期望的关闭压力。由文件JP 6-241344可知一种解决方案，在其中，同样_没计为活 塞-气缸-单元的促动器的关闭冲程与阀体的线性关闭运动平行地进行。为了达到在速度和可供使用的按压压力方面的改善，根据该文作 如下设置，即，促动器通过齿条驱动的齿轮和偏心地铰接在其处的臂 而与闭锁装置相连接。但是，在该文件中所示的设计相对复杂且需要 许多部件。本专利技术的目的是，提供一种简单的、带有尽可能少的运动部件的 用于这类阀的设计以供使用，在其中，可实现尽可能快的关闭冲程，并且，可利用尺寸给定得相对较小的促动器而在关闭位置中实现高的 关闭压力。这通过相对于闭锁装置如此地布置促动器来实现，即，在从最大 开口的第 一位置出发的第 一部分路段上的闭锁装置的线性运动分量与促动器的线性冲程方向之间设置有非0°和180。的(von 0。 und 180° abweichender)角。通过根据本专利技术的相对于闭锁装置的促动器的布置可实现相对 简单但有效的传递机构，其使得利用相对小的促动器既可实现闭锁装 置的高的关闭速度又可实现关闭位置中的足够大的关闭力。在最大开 口的位置中，闭锁装置有利地完全不再与阀开口 (该阀开口待在关闭位 置中被闭锁)相叠。即，在最大开口中，闭锁装置优选完全地释放阀开 口，或者说，完全地在与阀开口的相叠之外。然而在一定的^f吏用情况 中，当闭锁装置在最大开口的位置中在阀开口面积的至少70%上、优 选在阀开口面积的至少85%上不与阀开口相叠时，同样可能已足够。为了最理想的力增益(Kraftausbeute)有利地作如下设置，即，在闭 锁装置的线性运动分量和促动器的线性冲程方向之间设置有在45。和 135°之间、优选在80。和100。之间的角。特别有利的实施变型作如下设置，即，在闭锁装置的线性运动分 量和促动器的线性沖程方向之间设置有为90°的角，即，垂直的角。线性运动分量的方向和线性冲程方向有利地通过各相应地构成 的引导部来给定。运动的优选的变型作如下设置，即，为了将促动器的关闭冲程传递到 闭锁装置上，至少一个臂通过第一铰接点与促动器可转动地相连接且 通过第二铰接点与闭锁装置可转动地相连接。在此，闭锁装置可直接地与相应的臂可转动地相连接。然而，尤 其在气密的阀中，更优选的实施变型通过如下方式而设置有臂在闭锁 装置处的间接的铰接，即，使后者与至少一个阀杆(优选刚性地)相连7接且臂在第二铰接点中可转动地与阀杆相连接。由此，可在阔杆的区 域中线性地引导闭锁装置且相对阀壳体优选气密地密封闭锁装置。为 了达到带有在关闭运动中的高的起始速度和在关闭运动的末端处的 大的力的合适的杠杆作用，第一铰接点和第二铰接点应彼此间隔开。的形式来实现。它们的共同点是，闭锁装置可在关闭过程中A^最大开 口的第一位置出发首先沿着带有线性运动分量的部分路段而运动。闭 锁装置在关闭过程中是否仅仅线性地在该方向上被移动依赖于闭锁 装置的设计形式和支承面的相应的形式。本专利技术同样可利用这样的闭 锁装置来实现一一该闭锁装置纟皮设计成，在带有线性运动分量的该部 分路段之后，为了完全达到关闭位置，可以带有另一运动分量(该运动分量相对于该线性运动分量以非0。和180。的角而定向)的方式被纟姿压 到至少一个密封支承面处。此外同样可设想，闭锁装置在上述的优选 第一的带有线性运动分量的部分路段的区域中额外地经历相对其垂 直地定向的另外的运动分量。但是，更易于设计且能更好地密封的是 可沿着仅带有在一个方向上的线性运动分量的该优选第一部分路段 而运动的闭锁装置。本专利技术另外的细节和特征由下面的附图描述中得出。其中附图说明图1至6显示了本专利技术的优选的第一实施例，且图7至IO示意地显示了各种的同样根据本专利技术的变型形式。在根据本专利技术的第一实施例中，闭锁装置3构造成阀板15的形 式。在从图1中所示的最大开口的位置到图2和图3中所示的关闭位 置的运动中，其仅实施带有在方向22上的运动分量的线性运动。开 启沖程相应地在箭头22的反方向上实现。支承面14在该实施例中布 置在阀壳体2处。其如同在文件US 6,68本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种阀，带有闭锁装置（３），用于在所述闭锁装置（３）的关闭位置中的阀开口（１）的尤其为气密的闭锁，其中，所述闭锁装置（３）可在关闭过程中从最大开口的第一位置出发至少在第一部分路段上以带有线性运动分量（２２）的方式在朝其关闭位置的方向上被至少一个促动器（４）所移动，并且，用于带有该运动分量的闭锁装置（３）的运动的促动器（４）实施带有线性冲程方向（２３）的关闭冲程，其特征在于，所述促动器（４）相对于所述闭锁装置（３）如此地布置，即，使得，在从最大开口的第一位置出发的在所述第一部分路段上的所述闭锁装置（３）的所述线性运动分量（２２）与所述促动器（４）的所述线性冲程方向（２３）之间设置有非０°和１８０°的角。
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】DE 2007-5-16 102007023339.81.一种阀，带有闭锁装置(3)，用于在所述闭锁装置(3)的关闭位置中的阀开口(1)的尤其为气密的闭锁，其中，所述闭锁装置(3)可在关闭过程中从最大开口的第一位置出发至少在第一部分路段上以带有线性运动分量(22)的方式在朝其关闭位置的方向上被至少一个促动器(4)所移动，并且，用于带有该运动分量的闭锁装置(3)的运动的促动器(4)实施带有线性冲程方向(23)的关闭冲程，其特征在于，所述促动器(4)相对于所述闭锁装置(3)如此地布置，即，使得，在从最大开口的第一位置出发的在所述第一部分路段上的所述闭锁装置(3)的所述线性运动分量(22)与所述促动器(4)的所述线性冲程方向(23)之间设置有非0°和180°的角。2. 根据权利要求l所述的阀，其特征在于，在A^最大开口的第一 位置出发的在所述第一部分路段上的所述闭锁装置(3)的所述线性运45°和135。之间、优选在80。和100。之间的角。3. 根据权利要求l所述的阀，其特征在于，在从最大开口的第一 位置出发的在所述第 一部分路段上的所述闭锁装置(3)的所述线性运 动分量(22)与所述促动器(4)的所述线性冲程方向(23)之间设置有为 90°的角。4. 根据权利要求1至3中任一项所述的阀，其特征在于，所述线 性运动分量(22)和/或所述线性冲程方向(23)布置成平行于所述岡开口 (l)的平面。5. 根据权利要求1至4中任一项所述的阀，其特征在于，所述闭 锁装置(3)在其关闭位置中以自锁的方式被保持。6. 根据权利要求1至5中任一项所述的阀，其特征在于，至少一 个用于将所述促动器(4)的关闭沖程传递到所述闭锁装置(3)上的臂(5)通过第一铰接点(6)与所述促动器(3)可转动地相连接且通过第二铰接 点(7)与所述闭锁装置(3)可转动地相连接。7. 根据权利要求6所述的阀，其特征在于，所述闭锁装置(3)与至 少 一个阀杆(8)优选刚...
【专利技术属性】
技术研发人员：U甘特纳，B利特谢尔，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]
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