【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
技术介绍
技术实现思路
【技术保护点】
1.一种真空处理系统(1)，所述真空处理系统(1)包括：
2.根据权利要求1所述的真空处理系统(1)，
3.根据权利要求2所述的真空处理系统(1)，
4.根据权利要求2所述的真空处理系统(1)，
5.根据权利要求3或4所述的真空处理系统(1)，
6.根据权利要求3至5中的任一项所述的真空处理系统(1)，
7.根据前述权利要求中的任一项所述的真空处理系统(1)，
8.根据权利要求7所述的真空处理系统(1)，
9.根据权利要求7或8中的任一项所述的真空处理系统(1)，
<...【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】
1.一种真空处理系统(1)，所述真空处理系统(1)包括：
2.根据权利要求1所述的真空处理系统(1)，
3.根据权利要求2所述的真空处理系统(1)，
4.根据权利要求2所述的真空处理系统(1)，
5.根据权利要求3或4所述的真空处理系统(1)，
6.根据权利要求3至5中的任一项所述的真空处理系统(1)，
7.根据前述权利要求中的任一项所述的真空处理系统(1)，
8.根据权利要求7所述的真空处理系统(1)，
9.根据权利要求7或8中的任一项所述的真空处理系统(1)，
10.根据权利要求7至9中的任一项所述的真空处理系统(10)，
11.根据权利要求7至10中的任一项所述的真空处理系统(1)，
12.根据权利要求7至11中的任一项所述的真空处理系统(1)，
13.根据权利要求2至6中的任一项或权利要求12所述的真空处理系统(1)...
【专利技术属性】
技术研发人员：F·巴隆，K·云特，D·迈尔霍弗，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：
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