一种阀(1)、特别是真空阀，其具有阀壳体(2)和用于封闭阀开口(4)的封闭构件(3)，并且所述阀具有用于使所述封闭构件(3)在关闭位置和打开位置之间来回移动的阀驱动器(5)，在所述关闭位置中，所述封闭构件(3)封闭所述阀开口(4)，在所...

真空处理系统(1)包括真空室(10)、可控流体施加装置(30)以及控制和/或调节单元(40)，可控流体施加装置(30)连接到真空室(10)并且被配置为以受控的方式提供流体到真空室(10)中的流入，控制和/或调节单元(40)用于至少控制可...

本发明涉及一种用于调控容积流量或质量流量和/或用于封闭和打开阀开口(2)的真空阀(1)，其包括阀座、阀封闭件(4)和驱动单元(7)，该驱动单元联接到阀封闭件(4)并且被设计成提供阀封闭件(4)的移动，使得阀封闭件(4)能够从打开位置(O...

一种用于真空密封地封闭壁(3)中的开口(2)的封闭装置，具有用于封闭和打开所述开口(2)的阀板(1)，该阀板通过连接装置与阀杆(4)连接。所述连接装置具有活节头(16)，所述活节头的外表面的至少一部分设计成球面形状，并且所述活节头布置在...

阀(1)，其中阀盘(5)布置在阀壳体(2)的阀壳体内部空间(6)中并且固定在轴(7)上，其中，阀盘(5)与轴(7)一起沿平行于轴纵向轴线(9)的方向(8)在关闭位置和中间位置之间来回移动，并且可通过使得轴(7)绕轴纵向轴线(9)旋转而在...

本发明涉及一种用于以气密方式打开和闭合阀开口(11)并且用于使真空容积通风的阀(10)，该阀具有阀座(30)、闭合元件(20)以及调节单元(40)，所述调节单元被设计成提供所述闭合元件(20)相对于所述阀座(30)的移动，使得所述闭合元...

一种用于真空密封地封闭壁(3)上的开口(2)的封闭装置的阀板，所述阀板(1)在其前侧具有用来相对于所述壁(3)密封的密封圈(8)，并且在其后侧具有用于与所述封闭装置的阀杆(4)连接的凹陷(29)。布置在所述阀板(1)的后侧上的所述凹陷(...

公开了一种用于基本上气密关闭第一阀口(31)的真空阀(10)，包括阀座(30)、用于基本上气密关闭第一阀口(31)的关闭件(20)和用于提供关闭件(20,120)相对于阀座(30,130)的运动的驱动单元(40)。关闭件(20)被设计成...

本发明涉及阀，所述阀具有阀壳和阀开口并且具有关闭机构和至少一个阀驱动器，其中所述阀附加地具有两个彼此相对布置的法兰，每个法兰具有通孔，其中所述法兰能够通过所述至少一个阀驱动器朝向彼此和远离彼此地移动，并且在所述关闭机构沿着所述第一移动方...

一种升降装置，用于在工艺腔室中将衬底降低到衬底载体上以及将衬底抬离衬底载体，其中，升降装置具有升降杆和使升降杆沿直线升降运动路径来回运动的升降杆线性驱动器，并且具有多个调节螺栓，用于调节升降运动路径的位置，其中，升降装置具有用于升降杆线...

用于均化工艺室(2)中的气体分布的设备(1)，其中所述设备(1)具有屏蔽屏(3)和用于使屏蔽屏(4)在两个彼此相反的线性移动方向(5)上在两个端部位置之间来回移动的线性驱动器(4)，其中可借助于所述设备(1)的至少一个加热装置(6)来加...

本发明涉及一种用于以基本上气密的方式闭合真空输送系统的第一阀开口(31)的真空阀系统(10)，真空阀系统具有：阀座组件(30)，其具有限定了开口轴线的第一阀开口(31)和围绕第一阀开口(31)的第一密封面；闭合部件(20)，其用于以基本...

本发明涉及一种真空阀，所述真空阀用于以气密方式关闭用于真空输送系统的阀开口。所述真空输送系统具有输送管，所述输送管具有用于沿所述输送管在内部输送车辆的多个输送管段，并且所述阀开口限定开口轴线。所述真空阀还具有：环绕所述阀开口的密封表面；...

一种阀板具有板区段和至少一个纵向延伸的连接区段，在所述板区段的正侧上安装了由弹性体材料制成的密封件，所述连接区段与所述板区段通过狭缝隔开，所述连接区段用于将所述阀板固定在至少一个阀杆上。从所述板区段的背侧的平面图中看，所述连接区段的在所...

一种阀板具有板区段，在板区段的正侧上安装了由弹性体材料制成的密封件，所述阀板还具有布置在所述板区段的背侧上的连接装置，用于将所述阀板与真空阀的承载装置连接。所述连接装置包括纵向延伸的第一和第二连接区段，其中第一连接区段位于所述板区段的纵...

销升降装置(1)，用于在工艺腔室、特别是真空工艺腔室中将衬底(2)降低到衬底载体(15)上并从所述衬底载体(15)提起所述衬底(2)，其中所述销升降装置(1)具有至少一个升降销保持器(4)和至少一个升降驱动器(5)，用于沿线性升降运动轨...

本发明涉及具有带有真空调节阀的工艺室的真空加工系统。真空加工系统(1)包括真空室(10)和真空调节阀(20)。真空阀包括第一阀座(21a)，其具有限定第一开口轴线(O)的第一阀开口(22a)和围绕第一阀开口延伸的第一密封面，还包括第一阀...

在用于密封真空阀的阀开口的至少基本上为矩形的阀板的正面上安置了由弹性体材料制成的密封圈。阀板在背面具有至少一个凹部，凹部带有底切地构造的边界壁，该边界壁形成倾斜面，倾斜面可与所述承载体的倾斜面夹紧，以将所述阀板固定在承载体上。在阀板上安...

一种真空阀，包括：阀壳体；封闭单元，该封闭单元具有由阀杆承载的第一和第二阀板以及在阀壳体外与阀杆刚性连接的支座；传动单元；带有基体和至少一个致动器的驱动单元；至少一个纵向直线引导件，传动单元可由该纵向直线引导件相对于阀驱动器的基体平行于...

本发明涉及一种高频接地装置和具有高频接地装置的真空阀。高频接地装置(40)与用于关闭和打开真空室系统的阀开口的真空阀连用，具有由用于排走在真空阀上出现的电荷的传导性材料制造的接地带(42)，其中该接地带具有第一端(41)和第二端(43)...