本发明专利技术涉及一种带有阀盖的活板输送阀。细长的第一开口可借由细长的阀关闭梁来关闭，阀关闭梁可经由枢转支承件绕枢转轴线在关闭位置和开启位置之间枢转。轴杆可借由驱动机构绕轴杆轴线旋转并操作连接至阀关闭梁，使得轴杆的旋转引起阀关闭梁枢转。阀关闭梁、枢转支承件和轴杆在气密的阀壳体中设置在阀盖上，其中轴杆、枢转支承件和阀关闭梁可通过分离和移除阀盖而从阀壳体分离。本发明专利技术的一个方面公开了枢转支承件至少由三个支承元件形成，这些支承元件在阀壳体内沿着轴杆轴线彼此相距一定距离地分布，阀关闭梁和轴杆安装在阀壳体上。轴杆轴线与枢转轴线相距一定距离。第一臂设置在轴杆上，借由第一臂可向阀关闭梁的背面施加力，以便枢转阀关闭梁。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种根据权利要求1的前序部分的活板输送阀(flap transfer valve)，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基 板工艺处理室中。
技术介绍
由EP 0554522已知一种这样的活板输送阀。各种真空阀特别地用在集成电路和半导体制造领域中，集成电路和半导体制造必 须尽可能地在没有污染颗粒的受保护环境中进行。例如，在制造半导体晶片或液晶基板的 制造设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件依次穿过多个处理室，其中位于处理室内 的半导体元件各自通过处理装置来处理。在处理室内的加工处理期间以及从一个处理室至 另一个处理室的输送期间，高度敏感的半导体元件必须总是处于受保护环境中，特别是处 于没有空气和微粒的环境中，或者处于阻气环境中。作为实施例，处理室经由输送管道相互连接。这些处理室可借由真空输送阀开启， 以便将零件从一个处理室输送至下一个处理室，并能以气密方式关闭，以便执行相应的制 造工序。此外，使用移动的输送室，其与处理室对接并可在处理室之间在阻气环境下输送半 导体元件。从现有技术例如US 5，275，303,WO 00/45422,US 5，076，205 或 US 5，292，393，已知用于制造半导体元件尤其是半导体晶片的多室系统，其中多个处理室绕中心输送室设置 成星形形式。中心输送室经由管道连接至第二输送室，更多处理室绕第二输送室设置为星 形形式，使得可借由多个这种处理岛来产生结合在一起的大型半导体制造系统。半导体元 件借由设置在输送室内的操纵系统从一个处理室经由输送室进入下一个处理室。此外，由现有技术已知真空室系统，其处理室成行设置并具有能以真空密闭方式 关闭并面向相同方向的开口。可与处理室线平行地线性移动的输送室能够与各个处理室对 接，并用于将部件从一个处理室输送至下一个处理室。为此，抽空的输送室以真空密闭方式 借由其输送室开口与处理室开口对接。在例如US-2007-0186851-A1 (Geiser)中以概述形 式描述了这种系统。此外，可将处理室顺序设置在处理室联合系统中，这种系统在相邻的处理室之间 具有连接开口，该连接开口可借由输送阀以气密方式关闭。在此情况下，每个处理室具有至 少两个开口，每一个处理室的出口均为处理室链中的下一个处理室的入口。在每两个处理 室之间以及处理室链的开端和末端均定位有输送阀，这些输送阀均具有两个阀开口，这些 阀开口可以在其阀壳体内以气密方式相互分离。所述真空室系统用于半导体和基板制造的不同领域，并已用于小型至中型半导体 部件和基板部件的制造和处理。但是，新
需要更大的集成半导体部件和基板，从而 迫使购买新的制造系统。这种背景下的例子是太阳能板或荧屏面板，特别是等离子和IXD 面板，其宽度超过一米。要求使用具有相应大尺寸的处理室和输送阀来加工这种大型的半导体部件、液晶基板或其它基板。通常并且就材料科学而言，基板是指待处理的材料，特别是对基板的表面进行细 化或涂敷。这可以是半导体
的晶片、印刷电路板的基材或一些其它材料，特别是 板形或带形材料，这些材料借由必须在真空或处理气体环境中进行的涂敷、细化或处理工 艺而适当地处理。术语“基板”也表示待涂敷的玻璃板，例如厚度从小于0. 5毫米至大于5 毫米的平板荧屏或太阳能板，或厚度从小于0. 05毫米至大于0. 2毫米的不锈钢箔或不锈钢带。例如用于开启和关闭处理室的这种输送阀因此根据不同的工艺以超大尺寸、长的 密封长度和某些情况下具有宽度超过1000毫米的超大开口横截面为特色。特别地，开口 横截面是细长的并且是狭缝形的，开口的宽度大大超过其高度。由于所述应用领域以及与 此相关的尺寸，这些阀被称为输送阀，且由于它们的矩形的开口横截面，它们还被称为矩形 阀，而根据它们的操作方法，还被称为滑动阀、矩形滑动阀、输送滑动阀、活板阀、活板输送 阀或旋转闸。在US 6，416，037 (Geiser)或 US 6，056，266 (Blecha)中描述了具有小尺寸并且为 真空滑动阀或滑动阀形式的输送阀(还被称为阀滑片或矩形滑片)。在现有技术中，关闭和 开启通常分两个步骤进行。在第一步骤中，阀关闭装置(特别是关闭板)在开口上大致平 行于阀座线性移动，在该过程期间阀关闭装置和阀壳体的阀座之间不发生任何接触。在第 二步骤中，阀关闭装置的关闭面压靠在阀壳体的阀座上，因此以气密方式关闭开口。例如可 借由设置在阀关闭装置的关闭面上并被压靠在包围开口的阀座上的密封环来实现密封，或 借由位于阀座上的密封环来实现密封，该密封环压靠阀关闭装置的关闭面。此外，已知相对较小的滑动阀，其中关闭和密封过程经由单个线性运动进行。 这种阀例如是来自瑞士 Haag的VAT Vakuumventile AG公司的输送阀，其产品名为 "M0N0VAT系列02和03”，并且为矩形插入阀的形式。这种阀的设计和操作方法在例如US 4, 809, 950 (Geiser)和 US 4, 881, 717 (Geiser)中进行了描述。这种驱动机构技术已被现有技术公开，但其仅适于限定范围，用于超大开口横截 面，特别是细长的狭缝形的开口横截面。由于大开口横截面所导致的长的密封长度，对于密封件、阀关闭装置的引导以及 驱动装置的要求是极严苛的。现有技术已知多种密封装置，例如来自US 6，629，682B2 (Duelli)。一种用于密封 环的合适材料例如是已知商标名为Viton 的弹性密封材料。这种长的密封长度以及开口横截面的一种特定要求是即使当压力差特别高时也 会确保整个密封长度上的密封。所使用的密封件的密封性能通常被限制在很窄的范围内。 如果阀关闭装置和阀座之间的距离超过特定的阈值，密封件作用在阀座上的接触力太小， 则不再能确保密封。相反地，如果阀关闭装置和阀座之间的距离太小，密封件作用在阀座上 的接触力因而太大，则密封件受到极大的磨损，并且在某些环境下将破损。为此，即使当压 力差高时，在阀处于关闭状态下也必须在密封件和阀座之间的整个密封长度上始终维持一 定的接触压力。该一定的接触压力被限制在相对窄的范围内。特别是在具有大尺寸的阀的情形下，特别是具有明显不对称的横截面，例如细长 的狭缝形的开口，当压力差相对高时保持恒定的接触压力是有困难的。为了保持恒定的接触压力，某些输送阀具有阀关闭装置、其驱动机构以及其支承的特别坚固的结构，使得即使 在施加由阀关闭装置上的压力差所导致的高作用力时，阀关闭装置也会保持其正常位置， 且不会无意地改变其位置。无弹性并尽可能地坚固的阀关闭装置以及其驱动机构和支承部 件的设最初是显然的。但是，进一步的问题不仅在于阀关闭装置及其外围的可能的弹性性 能。在大尺寸处理室的情况下，室内部和周围区域之间或两室之间的压力差导致整个室壁 变形。设置并结合在室壁上的输送阀同样地要经受这种室壁的变形。由于结合至室壁的阀 座对应于室壁的曲率而变形，尚未变形的阀关闭装置无法确保沿着密封长度上的密封件接 触压力恒定。EP 0554522A2公开了一种旋转闸，其用于将基板导入处理室和/或从一个处理室 移动到相邻的处理室或者从大气区域移入低压室中，特别是公开了一种狭缝形的闸，其用 于连续流真空涂敷装置，带有被保本文档来自技高网...
【技术保护点】
１．一种活板输送阀，该活板输送阀用于将半导体元件或基板输送到能以气密方式被隔离的半导体或基板工艺处理室中，该活板输送阀具有：细长的特别是狭缝形的第一开口（１），该第一开口沿第一纵向轴线（２）延伸并且被第一密封表面（３）以框架的形式包围；细长的阀关闭梁（４），该阀关闭梁沿着大致平行于所述第一纵向轴线（２）的第二纵向轴线（５）延伸，并且所述阀关闭梁在正面（６）上具有用于关闭所述第一开口（１）的关闭表面（８）以及对应于所述第一密封表面（３）并且能与所述第一密封表面（３）气密地接触的第二密封表面（９）；枢转支承件，所述阀关闭梁（４）能借由该枢转支承件绕大致平行于所述第二纵向轴线（５）的枢转轴线（１０）在关闭位置（Ｃ）和开启位置（Ｏ）之间特别是以６０°至１０５°的枢转角进行枢转；在所述关闭位置（Ｃ）中，所述阀关闭梁（４）的所述关闭表面（８）覆盖并关闭所述第一开口（１），并且所述第一密封表面（３）与所述第二密封表面（９）形成气密接触；而在所述开启位置（Ｏ）中，所述阀关闭梁（４）枢转离开所述第一开口（１）从而释放所述第一开口（１）；轴杆（１１），该轴杆能绕大致平行于所述第二纵向轴线（５）的轴杆轴线（１２）旋转，并且所述轴杆（１１）操作连接至所述阀关闭梁（４），使得所述轴杆（１１）绕所述轴杆轴线（１２）的旋转致使所述阀关闭梁（４）绕所述枢转轴线（１０）枢转；以及至少一个驱动机构（１３），所述至少一个驱动机构结合至所述轴杆（１１）以便使所述轴杆（１１）旋转，从而使所述阀关闭梁（４）在所述开启位置（Ｏ）与所述关闭位置（Ｃ）之间运动；所述活板输送阀包括：气密的阀壳体（１４），该阀壳体具有：位于所述阀壳体（１４）的第一开口表面（１５）上的所述第一开口（１）；以及与所述第一开口（１）相对的第二开口（１７），该第二开口位于所述阀壳体（１４）的与所述第一开口表面（１５）相对的第二开口表面（１６）上；其中：所述阀关闭梁（４）、所述枢转支承件和所述轴杆（１１）设置在所述阀壳体（１４）中；在细长的侧壁（１８）上，所述阀壳体（１４）具有阀盖（２０），该阀盖以气密方式结合至所述阀壳体（１４）的其余部分并且能沿与所述第一开口表面（１５）平行的横向方向（１９）被移除；所述轴杆（１１）在所述阀盖（２０）上安装成能旋转；并且所述枢转支承件、所述轴杆（１１）和所述阀关闭梁（４）在所述阀盖（２０）上布置成通过沿所述横向方向（１９）分离并移除所述阀盖（２０）而使所述轴杆（１１）、所述枢转支承件和所述阀关闭梁（４）能从所述阀壳体（１４）分离。...
【技术特征摘要】
...
【专利技术属性】
技术研发人员：弗里德里克·盖泽，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：CH
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。