本发明专利技术涉及真空阀，它包括具有被阀座（４）包围的阀孔（２）的壁体（１）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（５），它可以从打开位置调整到纵向（６）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（６）的横向（７）上的关闭位置，还包括至少一个支承阀片（５）的阀杆（１２），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（１）在平行于阀杆（１２）纵轴线（１４）的纵向（６）上以及横向（７）上移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向和横向驱动装置（１５，１５’，１６，１６’），由它们使阀杆（１２）为了使阀片（５）在纵向（６）和横向（７）上调整可以移动。存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（１）连接的支承单元（１７，１７’），由它在横向（７）上可移动地导引一个使阀杆（１２）在纵向（６）上可移动导引的导向单元（２０，２０’）。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及一个真空阀，它包括具有被阀座包围的阀孔的壁体、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片，它可以从打开位置调整到纵向上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向的横向上的关闭位置，在打开位置阀片释放阀孔，在中间位置阀片覆盖阀孔，但是从阀座上抬起，在关闭位置阀片顶压在阀座上并且关闭阀孔，还包括至少一个支承阀片的阀杆，它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体在平行于阀杆纵轴线的纵向上移动以及相对于壁体在横向上平行移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向驱动装置，由它使阀杆为了使阀片在其打开位置与其中间位置之间在纵向上调整可以移动，并且还包括一个设置在真空阀的真空范围以外的横向驱动装置，由它使阀杆为了使阀片在其中间位置与其关闭位置之间在横向上调整可以移动。
技术介绍
这种真空阀也称为L形阀，它们以不同的结构形式所公知。在一个常见的、不是此类的结构形式中阀杆围绕垂直于纵向且垂直于横向的轴可偏转地支承，用于使阀片能够从其中间位置调整到其关闭位置并且再返回。例如由US 6,43Γ,518 Bl已知这种结构。形成纵向驱动装置的活塞缸单元的气缸可以与阀杆一起偏转并且另一活塞缸单元用于使阀杆和气缸偏转。由US 6，416，037 Bl也已知一个类似的装置。一个常见的结构形式也在于，利用连杆导向通过相同的、起到纵向驱动装置作用的活塞缸单元实现阀杆倾翻，如同例如由 US 6, 966, 538 Β2, US 5, 641, 149 A, US 6, 237, 892 Bl 和 US 6, 619, 618 Β2 所给出的那样。在这些已知的L形阀门中通过阀杆的倾翻实现阀片在横向上的调整，其缺陷是， 阀片的调整不能精确且平行地在横向上实现，而是只能近似地实现，这导致对相对于阀座密封的阀片的密封提出更高的要求。此外也已知所谓的J形阀门，其中阀片在阀座上的启动强烈地倾斜于横向。此外已知L形阀门，其中通过直线的移动在横向上实现阀片从其中间位置到其关闭位置的调整。例如由申请者US 2007/0272888 Al已知一个真空阀，其中阀片利用活塞缸单元相对于支承单元在横向上移动。该支承单元设置在阀杆上，它可以利用另一活塞缸单元在纵向上移动。除了由真空阀构成以外这个装置也可以由门构成，其中阀片从外面封闭真空室壁体中的开孔并且可以位于真空范围以外。由US 6,899,316 A已知一个类似的真空阀，它具有用于使具有支承单元的阀杆纵向移动并用于使阀片相对于支承单元横向移动的活塞缸单元。由US 2008/0017822 Al已知一个L形阀门，其中阀片安置在阀杆上，它在纵向上移动地导引并且利用活塞缸单元可以在纵向上调整。利用导向装置(它在一个实施例中由直线导向构成)使这个活塞缸单元在横向上移动地导引，由此也可以使活塞杆相对于具有阀孔的壁体在横向上移动。为了使阀片从其中间位置调整到其关闭位置使用一个集成到阀片里面的活塞缸单元。在另一实施例中横向驱动装置由设置在真空范围以外的活塞缸单元构成，它作用于纵向驱动装置的活塞缸单元的气缸。显然，这种结构尤其适用于这些应用， 其中阀片只通过压差加载，压差使阀片顶压在阀座上。在这种情况下无需施加大的、使阀门顶压在阀座上的关闭力。通过由这个文献给出的横向导向传递更大的关闭力可能是有问题的。
技术实现思路
本专利技术的目的是，提供一个上述形式的改进的真空阀，它也适用于这些应用，其中在两个方向上可以产生作用于阀片上的压差。按照本专利技术这个目的通过具有权利要求1特征的真空阀得以实现。在本专利技术的真空阀中所述阀杆一方面可以在平行于其纵轴线的纵向上相对于具有阀孔的壁体移动，另一方面可以在垂直于纵轴线的横向上相对于具有阀孔的壁体平行移动。用于阀杆的纵向驱动装置和横向驱动装置位于真空阀的真空范围以外。在真空阀的真空范围以外还设置一个支承单元。由这个支承单元使导向单元在横向上可移动地导引， 该导向单元使阀杆在纵向上可移动地导引，因此该导向单元同样位于真空阀的真空范围以外。该导向单元作为边界、即在其整个长度上可以在横向上相对于支承单元移动。利用设置在真空范围以外、刚性地与壁体连接的、可移动地导引导向单元的支承单元可以更好地传递力到阀片上，由此为了接收在两个方向上作用于阀片上的压差而设计这种L形阀门，其中不仅纵向驱动装置而且横向驱动装置都位于真空范围以外。通过在真空范围以外布置不仅纵向驱动装置而且布置横向驱动装置可以实现有利的且维护友好的结构。所述支承单元使导向单元直线地在横向上可移动地支承，该支承单元有利地具有基于纵向位于导向单元两侧的分段。在此所述导向单元最好至少部分地、最好完全地设置在支承单元的容纳室里面并且在容纳室里面由支承单元可移动地导引。所述导向单元是由支承单元直线地在横向上导引的溜板。所述纵向驱动装置有利地具有至少一个活塞缸单元。在导向单元里面可以有利地构成气缸空隙，在其中设置活塞。但是也可以设有一个刚性地与导向单元连接的气缸。该活塞缸单元的活塞阀杆可以直接形成在真空范围里面导引的且支承阀片的阀杆，或者可以设有一个单独与阀杆连接的活塞杆。由横向驱动装置为了使阀杆在横向上移动施加的作用力有利地通过导向单元作用于阀杆上，其中这个作用可以直接或通过至少一个传动环节实现。所述横向驱动装置例如可以以至少一个活塞缸单元的形式构成。在本专利技术的一个可能的实施例中所述横向驱动装置具有至少一个在纵向上移动的驱动部件，它通过至少一个传动环节与导向单元连接，该传动环节将在纵向上实现的驱动部件运动转换成导向单元在横向上的运动。在此所述驱动部件或各驱动部件最好在基于纵向对置的驱动部件一侧上通过各传动环节与导向单元连接，用于实现导向单元在横向上的平行移动。换言之，所述传动环节形成用于导向单元的平行导向。在此所述传动环节例如可以是可偏转地与驱动部件和导向单元连接的导杆，它们一起构成平行四边形导向。在此具有驱动部件的横向驱动装置的致动器可以作为边界在纵向上可移动地相对于支承单元导引并且支承在这个支承单元上，例如利用板状的、相对于支承单元可移动的移动部件，在其上安置致动器。通过这种方式可以相对于纵向施加防止阀杆倾翻的大作用力，用于使阀片在其关闭位置以相应大的关闭力顶压在阀座上。本专利技术的一个有利的实施例规定，所述阀杆不仅在打开位置而且在中间位置和关闭位置在其阀片一侧上从导向单元中突出来并且在阀片的关闭位置支承在横止挡上，该横止挡设置在支承单元上并且反作用于阀杆在横向上的移动。在此阀杆或与阀杆连接的部件在基于横向的靠近位于阀座的阀杆或这个部件的一侧上支承在横止挡上。因此支承单元的横止挡以及阀片顶靠在其上的阀座在阀片关闭位置形成两个用于由阀杆和阀片形成的单元的支座。因此可以使阀杆在阀片的关闭位置平行于纵向对准的阀杆作用力通过支承单元传递到具有阀孔的壁体上。附图说明下面借助于附图详细解释本专利技术的其它优点和细节。附图中图1示出按照本专利技术的第一实施例的真空阀视图，在阀片的打开位置， 图2至4示出沿着图1的剖面线AA，BB和CC的截面图， 图5示出对应于图1的视图，但是在阀片的中间位置， 图6至8示出沿着图5的剖面线AA，BB和CC的截面图， 图9示出对应于图1的视图，但是在阀片的关闭位置， 图10至12示出沿着图9的剖面线AA，BB和CC的截面图，图1本文档来自技高网...
【技术保护点】
１． 一个真空阀，它包括具有被阀座（４）包围的阀孔（２）的壁体（１）、至少一个设置在真空阀真空范围里面的阀片（５），它可以从打开位置调整到纵向（６）上的中间位置并且从其中间位置调整到垂直于纵向（６）的横向（７）上的关闭位置，在打开位置阀片释放阀孔（２），在中间位置阀片覆盖阀孔（２），但是从阀座（４）上抬起，在关闭位置阀片顶压在阀座（４）上并且关闭阀孔（２），还包括至少一个支承阀片（５）的阀杆（１２），它从真空阀的真空范围引出来并且可以相对于壁体（１）在平行于阀杆（１２）纵轴线（１４）的纵向（６）上移动以及相对于壁体在横向（７）上平行移动，还包括设置在真空阀的真空范围以外的纵向驱动装置（１５，１５’），由它使阀杆（１２）为了使阀片（５）在其打开位置与其中间位置之间的调整可以在纵向（６）上移动，并且还包括一个设置在真空阀的真空范围以外的横向驱动装置（１６，１６’），由它使阀杆（１２）为了使阀片（５）在其中间位置与其关闭位置之间的调整可以在横向（７）上移动，其特征在于，存在一个位于真空阀的真空范围以外的、刚性地与壁体（１）连接的支承单元（１７，１７’），由它在横向（７）上可移动地导引一个使阀杆（１２）在纵向（６）上可移动导引的导向单元（２０，２０’）。...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：F埃尔尼，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：CH
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