用于控制或调节真空阀的方法技术

一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：带有阀开孔（２）的阀体（１）；关闭件（３），其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径（ｓ），且在关闭位置封闭阀开孔（２），其中至少一个弹性的密封件（４）压靠到密封面（３５）上；用于使得关闭件（３）移位的促动器（５）；和控制装置（９），通过该控制装置可控制促动器（５），考虑关闭路径（ｓ）的在弹性的密封件（４）到达密封面（３５）时的点（ｐ）和／或关闭件（３）的此时存在的速度（ｖ），作为用于控制装置（９）的决定性的参数。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】本专利技术涉及一种，该真空阀包括-带有阀开孔的阀体；-关闭件，其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径，且在关闭位置封闭阀开孔，其中至少一个弹性的密封件压靠到密封面上； _用于使得关闭件移位的促动器；禾口 _控制装置，通过该控制装置可控制促动器。 已知有用于真空阀的控制装置，这些控制装置控制用于使得关闭件打开和关闭的促动器，其中为了激活促动器，给该促动器输送相应的工作介质，大多数情况下输送压縮空气。在此已知有自动打开和自动关闭的阀，对于这种阀而言，当工作介质撤除时，通过弹簧件来保持关闭件的打开位置或关闭位置。除了气动驱动的真空阀外，还已知有电驱动的真空阀。同样已知的是，给控制装置输送关于阀状态的不同的输入信号，以便实现安全功能，也就是说，在真空系统的一定的状态下，防止或引起真空阀的打开或关闭。 由US 7， 036， 794 B2已知一种用于控制真空阀的方法，其中，作用到弹性密封件上的压紧力由控制装置根据两个真空腔之间的差压的求取值来调节，在所述两个真空腔之间设有真空阀。由此可以减小弹性密封件的磨损。 本专利技术的目的是，对开头部分所述类型的真空阀控制或调节方案加以改进。根据 本专利技术，该目的通过一种具有权利要求1的特征的方法得以实现。 本专利技术基于如下构思可以考虑弹性密封件到达密封面时的到达点和/或此时存 在的关闭件速度，来改善利用控制装置对真空阀的控制或调节。 如果在本文献范围内谈及"控制装置"，则用该概念来涵盖所有如下的特别是电子 的装置，即这些装置能够根据包括至少一个调节回路的开路控制或调节或者其组合来执行 控制过程。 根据本专利技术的一种有利的实施方式，由控制装置来调节关闭件的速度，关闭件以 该速度到达到达点。在这里，关闭件的速度被相应地控制或优选被调节。在到达点时关闭 件的速度可以有利地由控制装置根据至少一个用于控制或调节的输入参数调节至不同的 值。所述输入参数在此可以是可输入到控制装置中的参数，或者是由控制装置自动检测的 参数，或者是被自动检测的变量。可手动输入的和可自动检测的参数的组合也是可考虑的 和可行的。 例如，可以由控制装置根据(所输入的或所检测的)弹性密封件的材料将弹性密 封件到达密封面时的速度调节至不同的值。到达速度被视为弹性密封件的重要的负荷参 数，其中对于足够长的寿命来说，针对不同的密封材料允许存在大小不同的到达速度。另一 方面，针对最大的真空阀节拍周期，希望到达速度尽可能大。在使用由不同材料构成的弹性 密封件时，采用本专利技术可以优化这些要求。 例如，所使用的过程气体的类型可以作为将到达速度调节至不同值所依据的其它 参数，在其中装有真空阀的真空设备上实施过程时，弹性密封件与所述过程气体接触。因而 在侵蚀性的过程气体情况下可以减小到达速度，以便实现所希望的寿命。3 通过对关闭件的在到达点时的速度的控制或调节，也可以优化不同于密封件的其 它部件例如促动器或关闭机构(其是将促动器的运动传递到关闭件上的传动件)的磨损。 根据本专利技术的另一或附加的方面，可以有控制装置至少一次地例如在系统刚投入 工作时优选重复地在关闭路径内或者在真空阀关闭时所完成的全行程内检测到达点位置 的当前值。由此单独地或组合地得到不同的控制或调节方案，这些方案在下面说明。 通过对到达点的每一个当前值的重复检测，可以使得每次检测的到达点值与弹性 密封件的磨损相关联。由此在密封件磨损增大的情况下，到达点越来越远离在真空阀关闭 时由促动器执行的行程的起始点移动。如果超过了极限值，则可以由控制装置输出特别是 光学的和/或声音的维护信号，该维护信号表明，应更换弹性密封件。 例如也可考虑且可行的是，将已有的密封件磨损考虑作为用于控制或调节在弹性 密封件到达密封面时所在的到达点处的关闭件速度的变量。 也可考虑且可行的是，根据所求取的到达点，来改变在关闭件的关闭位置作用到 弹性密封件上的压紧力。由此例如可以在密封件的磨损增大时增大压紧力，以便使得泄漏 程度保持在所希望的值以下。 通过对到达点当前值的求取，可以在实际到达点之前的较短的间距处使得关闭件 制动，以便将其在到达点时的速度调节至所希望的值。 根据本专利技术的另一种变型设计，可以规定，由控制装置通过对在真空阀关闭情况 下到达点到达时所在的时间的确定，来检测促动器的效率或将促动器的运动传递到关闭件 上的传动件的效率。该效率可以与促动器的磨损或这些传动件的磨损或这些部件的支撑件 的磨损相关联，其中当超过允许的磨损时，可以由控制装置输出特别是光学的和/或声音 的维护信号。该维护信号表明，应对促动器、传动件或支撑件进行维护。 本专利技术的方法可结合类型非常不同的阀来使用。例如，可以采用如下方式来设计 该阀，即在关闭件的打开位置和关闭位置之间的整个关闭运动对于关闭件的所有部件来说 都是直线形的。这种真空阀例如由US 4,809,950 A、US 6,685,163 B2或US 4,921,213 A已知。 该方法例如也可用于按照滑阀类型构造的阀，所述滑阀例如由US4， 052， 036 A或 US 4， 470， 576 A已知。 按照蝶阀类型设计的真空阀例如也是可考虑的和可行的。这种蝶阀例如由US 4,634,094 A或US 6,494,434 Bl已知。 此外，也可考虑且可行的是，将真空阀例如设计成L阀。这种L阀例如由US 6， 431， 518 Bl已知。L形运动的各个运动分量在此可以由相同的或不同的促动器引起。 另外，例如也可以如下设计真空阀，即关闭件呈V形，且在两侧具有密封件，这些 密封件贴靠在相应的左右颠倒的密封面上，此点如由US 6， 367， 770 Bl已知。 下面对照附图来说明本专利技术的其它优点和细节。图中示出 附图说明图1为在关闭件的关闭位置，设置在两个真空腔之间的真空阀的示意图，该真空 阀沿着阀开孔的轴线被示意性地剖视地示出； 图2为在关闭件的打开位置，图1的真空阀沿着横向于阀开孔轴线的方向的示意 性的剖视图； 图3为关闭件的速度和促动器的电流强度关于关闭件路径的曲线4 图4为设置在两个真空腔之间的、可采用本专利技术的方式控制和调节的真空阀的另 一实施方式的示意图； 图5为可采用本专利技术的方式控制和调节的真空阀的另一实施方式的示意性的剖 视图。 在图1和2中示意性地示出了真空阀的一个实例，对于该真空阀可实施本专利技术的 方法。真空阀包括阀体1和关闭件3，阀体1具有以通道形式构造的阀开孔2。关闭件3在 打开位置(图2)使得阀开孔2打开，而在关闭位置使得阀开孔2关闭(图1)。在关闭件3 的关闭位置，弹性的密封件4压靠到密封面35上。在这里，密封件4设置在关闭件3上，而 密封面35设置在阀体1上。也可以采用相反的设置。 在真空阀的该实施方式中，密封件4具有位于两个平行的、沿着阀开孔2的纵轴线 的方向彼此间隔开的平面中的区段，这些区段通过连接区段相互连接。对关闭件3和阀体 1的密封面35的这种设计是已知的，例如在US 4， 809， 950 B中有所记载。 为了使得关闭件3从其在图2中所示的打开位置移动至其在图1中所示的关闭位 置，使用一种促动器5，在本实施例中，该促动器5的构造形式为电动机，例如AC伺服电动机 或DC伺服电动机或步进电动机。关闭件3利用促动本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于控制或调节真空阀的方法，该真空阀包括：－带有阀开孔（２）的阀体（１）；－关闭件（３），其为了关闭真空阀可在打开位置和关闭位置之间移位经过关闭路径（ｓ），且在关闭位置封闭阀开孔（２），其中至少一个弹性的密封件（４）压靠到密封面（３５）上；－用于使得关闭件（３）移位的促动器（５）；和－控制装置（９），通过该控制装置可控制促动器（５），其特征在于，考虑关闭路径（ｓ）的在弹性的密封件（４）到达密封面（３５）时的点（ｐ）和／或关闭件（３）的此时存在的速度（ｖ），作为用于控制装置（９）的决定性的参数。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：B杜利，F盖泽，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：CH[瑞士]