一种密封装置，用于使得真空机构的第一构件(1)和第二构件(2)借助布置在两个构件(1、2)之一上的弹性体的密封材料(5)而相互密封，该密封材料与布置在两个构件(1、2)中的另一个构件上的密封面(7)配合作用，对于该密封装置，在第一构件(...

本发明涉及一种电气隔离的销举升装置。销举升装置(10)尤其是销举升器，其设计成在可由真空工艺室提供的工艺气氛区内运动和定位待加工基片。销举升装置(10)具有连接部，其具有设计用于容纳设计成接触并支承该基片的托销的接合器(32)，销举升装...

用于调整体积流或质量流和/或气密中断流路的真空阀(1')，具有：阀座(3)，其具有限定出开口轴线(H)的阀开口(2)和围绕阀开口(2)的第一密封面(3)；用于调整体积流或质量流和/或中断流路的阀关闭件(4)，其具有对应于第一密封面(3)...

本发明涉及一种真空阀(1)，该真空阀(1)具有阀塞(4)和与该阀塞(4)耦合的、优选地气动或电动气动的具有压力介质的驱动单元(7、7’)。该真空阀(1)还具有压力传感器(10、10’)，使得能测量压力介质的压力。

本发明涉及真空阀(1')，具有至少一个声学传感器(10)，该声学传感器(10)设计成信息可以作为测量信号通过该声学传感器经由作用于真空阀(1')的至少一个部件的结构固有声波来产生。

本发明涉及一种真空阀(1)，其具有阀封闭件(4)和驱动单元(7)，该驱动单元与所述阀封闭件(4)耦接，该驱动单元具有至少一个移调部件(5)。所述真空阀(1)还具有位置传感器(10、10’)特别是位移或距离传感器，从而可参照所述真空阀(1...

本发明涉及具有包括至少一个惯性传感器(11a,11b,11c,11d,11e)的传感器组件的真空阀，其中该传感器组件被设计成，其探测与作用于该阀的加速度相关的测量信号。

具有第一腔室(1)和至少一个第二腔室(2)以及至少一个摆动驱动器(3)的装置，所述摆动驱动器用于使所述装置的摆动物体(4)摆动，其中，所述摆动物体(4)布置在所述第一腔室(1)中并且在所述第一腔室(1)和所述第二腔室(2)之间布置有至少...

本发明涉及一种具有传感器装置的真空阀，该传感器装置具有至少一个带有变形敏感元件的力传感器(11a,11b,11c,11d,11e,11f,11g)，其中该传感器装置被设计成通过该传感器装置获得与在第一和第二密封面之间的密封(10)的由第...

一种阀(1)、特别是真空阀，具有至少一个用于封闭阀开口(3)的封闭机构(2)和至少一个阀杆(4)，其中，在所述阀杆(4)中或上布置了至少一个第一连接区段(5)，在所述封闭机构(2)中或上布置了至少一个第二连接区段(6)，所述封闭机构(2...

本发明涉及用于移动并定位待处理基片的销举升装置(10)，包括气动驱动缸。所述气动驱动缸具有包围第一柱形内容积(25)的柱形壳体(21)和设置用于沿运动轴线移动且包括第一活塞(22)和第一活塞杆(23)的第一活塞组件。第一活塞(22)界定...

一种阀系统由真空阀和调节单元构成，其中该真空阀具有包括阀口和围绕该阀口的第一密封面的阀座以及具备用于对应于第一密封面的第二密封面基本气密封闭阀口的阀封闭件。与阀封闭件相连的驱动单元被设计成该阀封闭件能按规定被改变和调节以提供取决于阀封闭...

一种用于在腔室壁(3)上的开口(2)的封闭装置(1)，其中，所述封闭装置(1)具有至少一个封闭机构(4)和至少一个封闭机构承载体(5)和至少一个柱轭(6)，所述封闭机构(4)通过所述封闭机构承载体(5)刚性地与所述柱轭(6)连接，其中，...

本发明涉及一种用于真空区的具有夹钳连接器的调节装置。其具有接合作用元件的连接器。其具有驱动单元，构成和与连接器配合，连接器可从正常位置调回工作位置，在正常位置作用元件在接合状态处于基本无效状态，在工作位置其在接合状态中提供符合预期作用。...

一种封闭设备(1)，带有用来封闭所述封闭设备(1)的开口(5、6)的封闭机构(2)，该开口被所述封闭设备(1)的阀座(3、4)包围，其中，所述封闭设备(1)具有所述封闭机构(2)的打开状态、所述封闭机构(2)的中间状态和所述封闭机构(2...

本发明涉及一种用于基本气密中断流路的真空阀，具有阀壳体(1)，其包括具有几何开口轴线(4)的第一开口(3)和包围第一开口(3)的阀座(5)。还设有阀盘(8)，其具有带有外边界(9a)的第一盘部(9)和第二盘部(11)，第二盘部在外边界(...

本发明涉及用于和借助真空阀的优化的压力调节。阀系统有真空阀和调节控制单元，真空阀包括：阀座，带限定开口轴线的阀开口和围绕阀开口的第一密封表面；闭合阀开口的阀闭合件，带第二密封表面；驱动单元，联接阀闭合件，使阀闭合件限定可变，提供闭合位置...

具有光学传感器的真空阀。真空阀系统包括真空阀，该真空阀具有阀座和阀封闭件，该阀封闭件用于按大致气密方式关闭阀开口。设置有至少两个密封面，该至少两个密封面中的第一密封面由阀座提供且绕阀开口延伸，且第二密封面由阀封闭件提供且与第一密封面相对...

本发明涉及一种真空阀，包括阀壳体(1)，该阀壳体在内部具有真空区域(4)；设置在阀壳体(1)的真空区域(4)中的关闭单元(5)，至少一个阀开口(2、3)在真空阀的关闭状态下可由所述关闭单元关闭；纵向驱动装置(11)，由该纵向驱动装置可使...

用于基本气密中断流路的阀(10)具有阀壳体(11)，阀壳体具有在第一轴线方向上的第一端口(12)、在第二轴线方向上的第二端口和阀座，该阀座围绕第一端口(12)且设置在流动腔的流路中，阀壳体还具有阀件(17)，该阀件可沿垂直于阀座表面的运...