【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】具有声学传感器的真空阀本专利技术涉及真空阀，其具有包括至少一个声学传感器的传感器组件。总体上，用于调整体积流和/或质量流和/或用于基本气密关断延伸经过形成在阀壳体内的开口的流路的真空阀的不同实施方式已由现有技术公开了并且尤其应用在集成电路加工、半导体加工或基材加工领域的真空室系统中，所述加工须在受保护气氛下尽量不存在污染颗粒的情况下发生。这样的真空室系统尤其包括至少一个设置用于容纳待加工或待制造的半导体元件或基材的可抽真空的真空室，其具有至少一个真空室开口，半导体元件或其它基材可通过该真空室开口进出真空室，该真空室系统还包括至少一个用于真空室抽真空的真空泵。例如，在用于半导体晶圆或液晶基材的加工设备中，高度敏感的半导体元件或液晶元件依次穿过多个工艺真空室，在该工艺真空室内，位于工艺真空室内的元件分别借助加工装置被加工。不仅在工艺真空室内的加工期间内，也在腔室之间的输送期间内，高度敏感的半导体元件或基材必须总是处于受保护气氛、尤其是排空空气的环境中。为此，一方面采用用于启闭气体输入或排出的外围阀，另一方面采用用于真空室转移开口的启闭以便元件进出的转移阀...
【技术保护点】
1.一种用于调整体积流或质量流和/或用于气密中断流路的真空阀(1,1',1”,1”')、尤其是真空滑阀、摆动阀或单阀，该真空阀具有：/n·阀座，该阀座具有限定出开口轴线(5)的阀开口(2)和包围所述阀开口(2)的第一密封面(3)，/n·阀关闭件(4)且尤其是阀盘，用于调整所述体积流或所述质量流和/或用于中断所述流路，所述阀关闭件具有对应于所述第一密封面(3)的第二密封面(6)，/n·连接至所述阀关闭件(4)的驱动单元(7)，所述驱动单元被设计成，使得所述阀关闭件(4)/n°能按规定改变和调节以提供相应的阀开启状态，并且/n°能从开启位置(O)移动到关闭位置(G)并且回移，所...
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170630 EP 17179101.51.一种用于调整体积流或质量流和/或用于气密中断流路的真空阀(1,1',1”,1”')、尤其是真空滑阀、摆动阀或单阀，该真空阀具有：
·阀座，该阀座具有限定出开口轴线(5)的阀开口(2)和包围所述阀开口(2)的第一密封面(3)，
·阀关闭件(4)且尤其是阀盘，用于调整所述体积流或所述质量流和/或用于中断所述流路，所述阀关闭件具有对应于所述第一密封面(3)的第二密封面(6)，
·连接至所述阀关闭件(4)的驱动单元(7)，所述驱动单元被设计成，使得所述阀关闭件(4)
°能按规定改变和调节以提供相应的阀开启状态，并且
°能从开启位置(O)移动到关闭位置(G)并且回移，所述阀关闭件(4)在所述开启位置中至少部分放开所述阀开口(2)，所述第二密封面(6)在所述关闭位置中被压向所述第一密封面(3)且尤其借助位于其间的密封装置(23)基本气密关闭所述阀开口(2)，
其特征是，所述真空阀(1,1',1”,1”')具有至少一个声学传感器(10,10',10”,10”')，其中所述声学传感器(10,10',10”,10”')被设计和布置成，借助所述声学传感器(10,10',10”,10”')能作为测量信号产生关于在所述真空阀(1,1',1”,1”')的至少一个部件内出现的结构声波。
2.根据权利要求1所述的真空阀(1,1',1”,1”')，其特征是，所述声学传感器(10,10',10”,10”')布置在所述驱动单元(7)上。
3.根据权利要求1或2所述的真空阀(1,1',1”,1”')，其特征是，所述声学传感器(10,10',10”,10”')布置在所述阀关闭件(4)或所述阀座(3)上。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的真空阀(1,1',1”,1”')，其特征是，所述真空阀(1,1',1”,1”')具有阀壳体(24)，所述声学传感器(10,10',10”,10”')布置在所述阀壳体(24)上。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的真空阀(1,1',1”,1”')，其特征是，所述真空阀(1,1',1”,1”')具有处理和控制单元，该处理和控制单元至少被设计用于处理所述测量信号。
6.根据权利要求5所述的真空阀(1,1',1”,1”')，其特征是，所述处理和控制单元被设计用于
·以用于在所述开启位置(O)和所述关闭位置(G)之间调节所述阀关闭件(4)的控制值来控制所述驱动单元(7)，和
·根据当前所获得的测量信号自动调整所述控制值。
7.根据权利要求5或6所述的真空阀(1,1',1”,1”')，其特征是，所述处理和控制单元被设立成，使得所获得的测量信号能借助所述处理和控制单元被处理，并且依据所获得的所述测量信号能产生用于所述真空阀(1,1',1”,1”...
【专利技术属性】
技术研发人员：A·施恩莫塞尔，A·加勒，M·兹卡尔，
申请(专利权)人：VAT控股公司，
类型：发明
国别省市：瑞士;CH
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