一种形成ＭＥＭＳ器件的方法包括在子结构（２００）沉积传导材料（２２４），在传导材料上形成第一牺牲层（２３０），其中包括在第一形成层上形成大致平的表面（２３２），并在第一牺牲层的大致平的平面上形成第一元件（１４１），其中包括通过第一牺牲层...

本发明揭示一种透明基底上的装置与微机电系统装置，特别涉及一种在透明基底上形成对准标记的方法及系统。在一晶圆的光学透明基底上沉积一光反射层。在光学透明基底上定义围绕一对准标记的一区域。去除透明基底上该区域以外绝大部分的光反射层。另外，本发...

一种微镜，包括一基板、一反射层以及一保护层。反射层成形于基板上，并且包括有纯铝。保护层成形于反射层上，并且包括有氮化钛。

一种微镜及微镜制造方法。包括：一种微镜，包括一基板、一反射层以及一保护层。反射层成形于该基板上，并且包括有纯铝。保护层成形于反射层上，并且包括有氮化钛。

本发明揭示一种透明基底上的装置及对准标记形成方法与微机电系统装置，特别涉及一种在透明基底上形成对准标记的方法及系统。在一晶圆的光学透明基底上沉积一光反射层。在光学透明基底上定义围绕一对准标记的一区域。去除透明基底上该区域以外绝大部分的光...

本发明提供一种用于测试不同的半导体装置的通用系统，其提供具有一探针图形的探针头，可用于测试形成于不同的半导体装置上的不同的测试图形；所述测试图形的多个凸块或连接引脚分别与该探针头中与其对应的探针接触，从而能够测试上述半导体装置。上述用于...

一种自动晶片检测方法，首先提供第一组数据与第二组数据。接着，提供一自动程序，是提供一视介面，使用者只需修改其中简单的几个指令，即可方便检测各种不同的元件特性。执行此自动程序，载入第一组数据，并进行下列选择步骤：选择一检测模件，其以电性连...

本发明提供一种监测电熔丝电阻的系统。该监测电熔丝电阻的系统包括至少一非刷新型感测放大器。该监测电熔丝电阻的系统亦包括至少一熔丝模块，其包括至少一熔丝单元，而该熔丝单元耦接至该感测放大器的第一端点。该监测电熔丝电阻的系统尚包括参考电阻，耦...

本发明是有关于一种晶圆检查的方法和系统，其中检查被光罩图案化的半导体晶圆的方法包含有载入第一晶圆并扫描第一晶圆的第一影像、载入第二晶圆并扫描第二晶圆的第二影像步骤、比较第一和第二影像、以及分类第一影像与第二影像间所检测到的差异为光罩上的...

本发明公开了自动管理探针记号偏移的系统和方法。由测试数据确定在一晶片上的一晶粒是否有缺陷。于该晶片上执行一探针记号确认，以确定一探针记号是否偏移。对应于偏移的该探针记号执行一必须的恢复动作。在该探针记号确认中，从该测试数据中选取多个探针...

本发明提供一种半导体元件测试结构，包括多个尖端，每个尖端包括具有导电导孔的基底，第一介电层的导孔连接至导电导孔，具有导孔的第二介电层设置于第一介电层上方以及金属层设置于第二介电层上方。尖端电性连接至在尖端之间按路径发送信号的再分布线，且...

一种半导体晶粒测试结构，其包含一印刷电路板，该印刷电路板连接一空间转换层，该空间转换层连接一基板。基板利用穿过硅基板的过孔以及再分配层，以降低连接器的间距。探头采用眼镜蛇式探针，并以Ｃ４凸块连接再分配层。本发明的测试结构能够测试更小的半...

一种在一半导体元件中测量寄生电容的方法，所述方法包含以下步骤：　提供一第一测试结构，其具有一第一阵列的晶胞，所述第一阵列的各晶胞包含一第一栅极、第一多个待测量的接触及第一多个相邻的导电材质；　对所述第一栅极施加一第一偏压，且对所述第一多...

本发明提供一种定量装置，供输出定量液体至接收单元，其中定量装置包括第一容积单元及检测单元。第一容积单元，具有第一预设容积，并包括第一输入口、第一开口与第一输出口。当第一输出口闭合时，经由第一输入口输入液体至第一容积单元。当检测单元检测到...

本发明公开一种测量二氧化硅层厚度的方法，应用于化学机械研磨过程中。此方法先化学机械研磨一测试芯片上，在测试芯片研磨过程中，利用傅立叶转换红外线光谱仪与椭圆仪测量测试芯片数次，以获得一校正曲线。然后，再用化学机械研磨一测量芯片上的二氧化硅...

本实用新型提供了一种空气洁净系统及其空气洁净模块。一种空气洁净系统与一供水系统连接，其包括具有一既定空气流向的空气管路及一空气洁净模块。空气洁净模块包括一多孔性阻挡层及相对设置的复数个第一喷嘴及第二喷嘴。多孔性阻挡层完全覆盖空气管路的一...

一种空气洁净模组，其与一供水系统连接，适用于一空气管路，其特征在于该空气洁净模组包括：　　　　一多孔性阻挡层，设置于该空气管路中；以及　　　　复数个第一喷嘴，设置于该空气管路中，并与该多孔性阻挡层相距一既定距离，其中该等第一喷嘴与该供水...

本发明涉及一种空气洁净系统及其洁净方法，用于处理气流中的污染物。所述空气洁净系统包括：包括一壳体，具有多个喷嘴、一酸性水供应装置、以及一碱性水供应装置，其中壳体用于导引气流，酸性水供应装置供应酸性水给第一喷嘴以喷洒酸雾，而碱性水供应装置...

一种空气供应系统，适用于具有一重要制程机台的一无尘室之中，其包括有一外气空调单元、一进气导管、一二次空调箱或外气空调箱、一第一空气输送管、一第二空气输送管以及一排气导管。该进气导管系连接于该无尘室外部与该外气空调单元。该第一空气输送管连...

本发明提供一种浆料供应系统，此浆料供应系统具有多个供应模块及冲洗模块，此冲洗模块同时连接多个供应模块。每个供应模块包含浆料储槽及连接浆料储槽的至少一输送线，每条输送线导向一个化学机械抛光装置。冲洗模块包含冲洗液储槽及连接冲洗液储槽的多条...