微镜制造技术

一种微镜，包括一基板、一反射层以及一保护层。反射层成形于基板上，并且包括有纯铝。保护层成形于反射层上，并且包括有氮化钛。（*该技术在2015年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种使用于微机电系统(MEMS，Micro Electro-MechanicalSystem)中的微镜(Micromirror)，特别涉及一种具有一上氮化钛层及一纯铝层的多层式微镜，且纯铝层是设置于氮化钛层下，以减少微镜中的缺陷发生率。
技术介绍
投影系统中的最新进展是利用一种光学半导体，而此种光学半导体即为一数字微镜装置。一数字微镜装置芯片可以说是目前世上最为复杂的光开关(lightswitch)，并且其包含有一系列约750,000至1,300,000个枢设的精微微镜。每一个微镜都可量测小于人类头发宽度1/5的距离，且在一投射影像中，每一个微镜是对应于一个像素(pixel)。数字微镜装置芯片可以结合有一数字影像或图像信号、一光源以及一投影镜头，如此一来，微镜即可将一全数字影像反射至一屏幕或其它表面上。尽管目前的数字微镜装置有多种构造，典型的微镜大多是设置于微小的枢纽上，而此枢纽可使微镜倾斜朝向(开启)一投影系统中的光源以反射光线，或使微镜倾斜远离于(关闭)该光源，以在一投射表面上产生一较暗的像素。输入半导体中的一数字流对影像转换码(Bitstream-to-Image 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微镜，其特征在于，包括：　　　　一基板；　　　　一反射层，成形于所述的基板上，并且包括有纯铝；以及　　　　一保护层，成形于所述的反射层上，并且包括有氮化钛。

【技术特征摘要】
...

【专利技术属性】
技术研发人员：王升平，张毓华，陈斐筠，何大椿，陈加强，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]