本发明专利技术提供一种定量装置，供输出定量液体至接收单元，其中定量装置包括第一容积单元及检测单元。第一容积单元，具有第一预设容积，并包括第一输入口、第一开口与第一输出口。当第一输出口闭合时，经由第一输入口输入液体至第一容积单元。当检测单元检测到溢出第一开口的液体后，停止输入液体至第一容积单元。并且开启第一输出口，以输出具有第一预设容积的液体至接收单元。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种定量装置，特别是一种输出具有预设容积的液 体的定量装置。
技术介绍
在化学工业制程中，常需要将高浓度的化学液体，注入化学液 体混合槽中，用以稀释高浓度的化学液体，以制备具有合适浓度的 化学液体。一4殳而言，液体的注入动作是以自动化方式进4亍，其利用才全测器进4于^:测，以决定注入'液体的量。现有定量液体混合量(或体积)的方式，大致可以区分为二种。 第 一种方式为测量将注入混合槽中的液体体积；另 一种方式为测量 将注入混合槽中的液体重量。然而，不i仑是通过体积的量测或重量 的量测，其量测准确度都将影响注入混合槽的溶液浓度。在此二种 方式中，体积测量是利用4企测器4企测容器中液体的液面高度，当液 体的液面高度达一预设高度时，通过检测器的信号直接或间接操控 阀件的动作(开启或关闭)，以将液体注入混合槽。而重量量测是 利用磅秤或其它重量量测工具量测容器中液体的重量，当检测器测 得液体重量达一默认值时，检测器发出信号直接或间接操控阀件的 动作(开启或关闭)，以将液体注入混合槽中。然而，上述现有4支术中的两种方式，仍需考虑到4企测器与液体 控制阀件之间反应延迟的问题。举例而言，在第一种体积测量方式中，当液面高度检测器在检测到液体的液面高度达预定高度时，检测器传送一停止信号至输入液体的控制阀件；而在传送停止信号到 输入液体控制阀依据信号产生关闭反应的反应延迟期间，仍旧持续 会提供液体至容器中。在此反应延迟期间输入额外的液体量，将会 造成不精确的稀释浓度。同样地，第二种重量测量方式中，也同样 有反应延迟期间输入额外液体量，而造成稀释浓度不精确的问题。针对现有技术中的缺陷，本专利技术提供一种定量装置，可更有效 地提供精确的定量液体。
技术实现思路
在现有技术中，由于无法精确从容器中输出定量的液体，故容 易造成溶液浓度的误差，进而影响后续制程。故本专利技术的一方面是 提供一种定量装置，以精确地提供定量液体。本专利技术的另 一方面在于提供一种定量装置，其利用检测溢出容 器的液体，以决定停止液体输入容器的时间，进而消除现有反应延 迟期间额外输入液体的问题。在一实施例中，本专利技术提供的定量装置，用于输出定量液体至 一^t妾收单元。定量装置包^^舌第一容积单元及4企测单元。第一容积单 元具有一第一预设容积，且形成有第一输入口、第一开口与第一输 出口。当第一输出口闭合时，经由第一输入口输入液体至第一容积单元。当才全测单元冲企测到溢出第 一开口的液体后，停止车ir入液体至 第一容积单元。并且开启第一输口，以输出具有第一预i殳容积的液 体至接收单元。本专利技术的又一方面在于提供一种定量装置，其利用额外定量容器樣i调液体量，以增加应用弹性。在另一实施例中，定量装置还包括第二容积单元。第二容积单 元还包括第二开口与第二输入口 。第二开口与第 一容积单元可开合地连4妄。液体经第二ilr入口iir入至第二容积单元。当第二容积单元 中液体的液面与第二开口的最下缘对齐时，第二容积单元^f诸存具有 第二预设容积的液体。尤其是，第二预设容积小于第一预设容积。在又一实施例中，定量装置还包括一承接装置。承接装置与第 一容积单元相耦接，供承接从第一开口溢出的液体。；险测单元是冲企测承*接装置中的液体。在一例示实施例中，承^妄装置还包^"P鬲板， 用以将承接装置分隔成第一承接部分与第二承接部分。第一承接部 分承接从第一开口溢出的液体。第二承接部分承接从第一承接部分 溢出的'液体。在再一实施例中，第一承接部分还包括预设承接容积、第三开 口与第二输出口。在液体/人第三开口溢出至第二承接部分时，第一承冲妻部分^诸存具有预设^^妾容积的液体。在才全测单元4全测到溢出的 液体后，第二输出口开启，输出第一7 a妄部分中的液体至4^收单元。 尤其是，预设承接容积小于第一预设容积。在另一实施例中，定量装置还包括;微调装置，与第一容积单元 相结合。第一容积单元为可挠性的材质所构成，通过微调装置改变 第一容积单元的形状，用以调整第一预设容积。附图说明图1是本专利技术一实施例中定量装置的示意图； 图2是本专利技术另一实施例中定量装置的示意图； 图3是本专利技术又一实施例中定量装置的示意图4是本专利技术再一实施例中定量装置的示意图；以及 图5是本专利技术额外一实施例中定量装置示意图。 具体实施例方式以下参照附图通过优选实施例对本专利技术进行说明，以使本专利技术 的目的、实施例、特征、及优点更为清楚。参照图1，为本专利技术一实施例的定量装置IO的示意图。定量装 置10可4吏用于半导体制程中，用以4是供4青确定量液体以利调配成 合适的化学液体浓度，但不限定于此。举例来说，可利用定量装置 10输入一精确定量的高浓度氬氟酸原液(例如49% HF)至放置 有定量纯水的4妄收单元14 (例如一4匕学液体混合冲曹)中，4妄着在 接收单元14中高浓度氢氟酸原液与纯水(DI)进行稀释混酸，获 得一后续制程中所需浓度的稀释氢氟酸(DHF)。参照图1,定量装置10包括第一容积单元11、；险测单元12及 控制单元13。如图所示，第一容积单元11可以是包4舌第一llT入口112、 第一开口 113与第一l叙出口 114的一容器。第一容积单元ll 具有一第一预设容积(或体积)，即当第一容积单元11为单一开口 的半封闭空间时(例如第一输入口 112及第一输出口 114为关闭时)， 第一容积单元11可容纳的最大液体量基本为第一预设容积。换句 话说，当输入液体至第一容积单元11直到液体由第一开口 113溢出 时的液体量，称为具有第一预i殳容积的液体。本专利技术实施例通过控 制第一容积单元11的制造，或制造后利用校正仪器，可精确地决 定此第一预设容积。才企测单元12用于冲企测乂人第一开口 113溢出的'液体(例如高;农 度化学原液(下称原液)，并产生一信号以4戈表原液溢出第一开口113。 举例而言，4企测单元12可通过检测溢出原液的重量、液面高度等，从而检测到原液的溢出。控制单元13用以接收来自检测单 元12所产生的^表原液溢出第一开口 113的4言号，并且通过该4言号控制第一llr入口 112与第一车ir出口 114。在此需注意，以上实施例虽以高浓度化学原液(例如49。/。HF)为例，但本
普通 技术人员应当知道，本专利技术可适用于提供定量的任何合适液体，且 不局限于作为稀释的用途。在原液l俞入第一容积单元11之前，第一l叙出口 114关闭。接 着，原液经由第一输入口 112输入具有第一预设容积的第一容积单 元ll中。P遺着原液经由第一输入口 112持续输入，原液逐渐充满整 个第一容积单元11，直到原液经由第一容积、单元11的第一开口 113 溢出，使得检测单元12检测到从第一开口 113溢出的原液。才全测单元12在冲企测到溢出的原液后，送出一^C表原'液溢出的 信号至控制单元13。控制单元13根据检测单元12所产生的信号， 传送一停止信号以停止输入原液，使得原液不再输入至第一容积单 元ll中，即停止原液由第一开口 113溢出。举例而言，控制单元 13通过控制设于第一输入口 112的控制阀件，以关闭第一输入口 112， -使原液无法再进入第一容积单元11。取代方式为，控制单元 13可通过控制原液供应源出口的控制阀件，使得原液供应源不再供 应本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种定量装置，用于输出定量液体至一接收单元，所述定量装置包括： 一第一容积单元，具有一第一预设容积，所述第一容积单元具有一第一输入口、一第一开口与一第一输出口；以及 一检测单元； 其中，当所述第一输出口闭合时，经由所述第一输入口输入液体至所述第一容积单元，当所述检测单元检测到溢出所述第一开口的液体后，停止输入所述液体至所述第一容积单元，并开启所述第一输出口，以输出具有所述第一预设容积的液体至所述接收单元。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：黄文彬，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]
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