本发明公开了一种PVD机台用气体冷却盘，本发明涉及流体控制技术领域，通过冷却机构与分流机构配合控制冷却水的分流导向，并通过扩流机构对冷却管路内部的气体进行均匀冷却，冷却后的气体流向PVD机台，对PVD机台的各部位进行均匀冷却后，再次流回...

本发明公开了一种wafer定位升降装置，本发明公开了一种wafer定位升降装置，本发明涉及半导体技术领域，通过伺服电机控制丝杆于竖直方向运动的方式达到精准控制晶圆上下运动的目的。该机构由以往设计的控制丝杆旋转的模式改进为控制丝杆在竖直方...

本技术晶圆载片台升降装置：固定基座顶部固定法兰，法兰顶部固定波纹管，波纹管穿设腔体底部并与加热盘固定，加热盘顶部固定承载有晶圆的载片台，法兰底部固定直线轴承，直线轴承底端穿设固定基座，固定基座底部固定C型支架和置于C型支架内的上轴承座，...

本技术公开了一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，包括水流传感器、继电器和磁铁电机驱动器，水流传感器接入溅射台的靶材背面的回水管通道中，水流传感器的供电端接入电源，水流传感器的信号输出端与继电器的线圈的一端电连接、还通过二极管接入公...

本技术公开了一种用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：包括连接组件；所述连接组件包括连接组件本体、O型密封圈及视窗玻璃；所述连接组件本体设置有O型密封圈安装槽，所述O型密封圈安装槽匹配所述O型密封圈，所述连接组件本体设置有视...

本实用新型公开了一种用于调整PVD腔体水平的装置，其特征是：包括水平调节组件；所述水平调节组件包括调整螺丝、调整螺母、厚垫圈、防脱卡簧及固定压板；所述调整螺丝包括第一螺丝、调整块、第二螺丝及光杆，所述第一螺丝、所述调整块、所述第二螺丝及...

本实用新型公开了一种多功能的

本实用新型公开了一种自带冷却回路的

本发明一种带限位控制的晶圆载片台升降设备：控制器控制伺服马达启动，伺服马达驱动主动轮转动，从动轮随之转动，丝杆随着转动以使螺母沿着丝杆上下运动，夹箍

本实用新型公开了一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，薄膜溅射设备包括载片台，载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，载片台的腔体内装载有晶圆，装置包括检测相机和控制箱，检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，控制箱包括控制箱体，控制箱体的...

本实用新型公开一种用于改善金属溅射设备中气缸运动可靠性的结构，包括气缸和气缸固定底座，气缸的气缸导杆的顶部固定固定轴套，固定轴套螺接有连杆一端，连杆上固定磁感应片，气缸固定底座底面且靠近连杆位置固定接近传感器，接近传感器与气缸上位置传感...

本实用新型一种携带电源盒的电源柜包括，柜体内由上至下固定多个水平承载板，位于上方的水平承载板的底部和位于下方的水平承载板的顶部之间的空腔按照由左至右方向设置为多个插槽，每一插槽中插设有一个分子泵电源盒，分子泵电源盒包括抽屉式盒体，抽屉式...

本实用新型公开了一种用于检测机械手位置变化的装置，其包括腔体和腔体盖，腔体盖为透明腔体盖，透明腔体盖的顶部固定有测距传感器、左限位传感器和右限位传感器，测距传感器位于腔体内晶圆的正上方，左限位传感器和右限位传感器分别位于腔体内机械手位于...

本实用新型用于吊装腔体盖的小型吊机包括：吊装台上安装两个吊装对应腔体盖的吊机组件，每一吊机组件的底座上安装控制线接线排、电机正反转模块和蜗轮蜗杆电机，控制线接线排与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机、电机正反转模块连接，电机正反转模块与控制手...

本实用新型公开了一种磁控溅射设备中波纹管排气装置，其包括气缸和固定在气缸顶部的底座，底座由底部的方形座体、中部的圆柱座体和顶部的圆盘座体一体连通构成，气缸的活动杆套设固定有导杆并穿设底座，导杆的顶部固定有圆台，圆盘座体的顶部设置有波纹管...

本实用新型公开了一种用于腔体吊装和测漏的金属盖，其包括与腔体的上表面形状相契合的金属盖本体，金属盖本体的顶部中心位置处加固有金属板，金属盖本体和金属板的中心位置处均开设有螺纹孔，金属盖本体和金属板的螺纹孔内螺接有连接螺杆，连接螺杆的顶部...

本实用新型公开了一种用于组装腔体的翻转装置，其包括工字型底座，工字型底座的一侧固定有立杆，立杆的顶部固定有固定套，固定套的两端通过轴承套设有涡轮蜗杆机构的输出轴，涡轮蜗杆机构的输出轴穿设固定套后固定有腔体固定板，腔体固定板用于固定腔体，...

本发明吊装腔体盖的吊机包括：吊装台上安装两个吊装对应腔体盖的吊机组件，每一吊机组件的底座上安装控制线接线排、电机正反转模块和蜗轮蜗杆电机，控制线接线排与机台的控制系统、蜗轮蜗杆电机、电机正反转模块连接，电机正反转模块与控制手柄和蜗轮蜗杆...

本实用新型公开了一种用于降低晶圆溅射温度的冷却盘，其包括冷却盘主体，所述冷却盘主体上沿着圆周方向开设有与反应腔内的顶针一一匹配的晶圆顶针孔以供顶针穿设，所述冷却盘主体的中央位置处开设有背气的通气孔，所述冷却盘主体表面沿着中央位置向外方向...

本实用新型公开了一种晶圆夹压装置，包括压环和变径环，压环包括压环主体，压环主体吊装在遮罩的底部，压环主体置于用于承载晶圆的载片台的上方，变径环嵌设在压环主体的内径内，压环主体上沿着圆周方向开设有多个压杆调节槽，每一压杆调节槽的长度方向为...