一种多功能的制造技术

本实用新型专利技术公开了一种多功能的

【技术实现步骤摘要】
一种多功能的PVD腔体安装架构


[0001]本技术涉及半导体
，具体地讲，涉及一种多功能的
PVD
腔体安装架构
。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术属于物理气相沉积成膜的方法，具有操作简单，溅射速率高，膜层致密等优点，在科研与生产中有广泛的应用
。
[0003]现有的
PVD
溅射设备，主机台和工艺腔体采用固定连接
。
在不同工艺条件下，需要更换腔体，现有设备不方便实现工艺腔体更换
。
[0004]如果能够通过结构
、
外形设计来解决腔体与机台之间的管线，电气和工艺零部件的布置连接；将成为新型模块化
PVD
设备的基础架构
。
将实现不同工艺更换腔体时，可以方便快捷地安装就位
。

技术实现思路

[0005]本技术要解决的技术问题是提供一种多功能的
PVD
腔体安装架构，该架构不仅可以将腔体就位，并同时将所涉及工艺设备部件集成安装在内，达到结构紧凑，各部件安装简便可靠
。
[0006]本技术采用如下技术方案实现专利技术目的：
[0007]一种多功能的
PVD
腔体安装架构，其特征是：包括
PVD
腔体；腔体安装架构，位于所述
PVD
腔体下方，固定连接所述
PVD
腔体；工艺气体管道，位于所述
PVD
腔体下部，固定连通所述
PVD
腔体；腔体安装架构面板，位于所述腔体安装架构一侧，固定连接所述腔体安装架构；电气控制箱，位于所述腔体安装架构另一侧，固定连接所述腔体安装架构；阀岛，位于所述腔体安装架构中部，固定连接所述腔体安装架构；管线组件，位于所述腔体安装架构底板上侧
。
[0008]作为本技术方案的进一步限定，所述管线组件包括进水管
、
回水管
、
真空管
、
氩气管及氦气管
。
[0009]作为本技术方案的进一步限定，所述进水管固定连接所述腔体安装架构面板，所述进水管固定连通一组进水气控阀及电控三通阀，所述进水气控阀及所述电控三通阀分别固定连接所述腔体安装架构，所述回水管固定连接所述腔体安装架构面板，所述回水管固定连通一组水流量计，所述水流量计固定连接所述腔体安装架构
。
[0010]作为本技术方案的进一步限定，所述真空管
、
所述氩气管及所述氦气管分别穿过所述腔体安装架构面板上的槽口，所述真空管
、
所述氩气管及所述氦气管分别固定连接所述腔体安装架构的竖板，所述氩气管及所述氦气管分别固定连通气体流量控制器，两个所述气体流量控制器分别固定连接所述腔体安装架构
。
[0011]作为本技术方案的进一步限定，所述管线组件还包括压缩空气进气口，所述压缩空气进气口固定连接所述腔体安装架构面板
。
[0012]作为本技术方案的进一步限定，所述电气控制箱固定连接电气接插组件
。
[0013]作为本技术方案的进一步限定，所述电气控制箱固定连接电气重载插座
。
[0014]作为本技术方案的进一步限定，所述腔体安装架构固定连接漏水检测端口
。
[0015]作为本技术方案的进一步限定，所述腔体安装架构及所述电气控制箱分别固定连接一组对称的平衡脚轮
。
[0016]作为本技术方案的进一步限定，所述腔体安装架构及所述电气控制箱分别固定连接一组对称的垫脚
。
[0017]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果是：
[0018]本专利技术通过结构
、
外形设计来解决腔体与机台之间的管线，电气和工艺零部件的布置连接；成为新型模块化
PVD
设备的基础架构
。
为新型模块化
PVD
溅射平台设计机台与各工艺腔体的安装架构，不同工艺更换腔体时可以方便快捷地安装就位
。
附图说明
[0019]图1为本技术的腔体安装架构结构侧里面的部件分布
。
[0020]图2为本技术的腔体安装架构正立面的布局
。
[0021]图3为本技术的立体结构示意图一
。
[0022]图4为本技术的立体结构示意图二
。
[0023]图中：
1、PVD
腔体，
2、
工艺气体管道，
3、
阀岛，
4、
腔体安装架构，
5、
平衡脚轮，
6、
电气控制箱，
7、
电气重载插座，
8、
腔体安装架构面板，
9、
进水管，
10、
进水气控阀，
11、
电控三通阀 ，
12、
电气接插组件，
13、
漏水检测端口，
14、
水流量计，
15、
回水管，
16、
真空管，
17、
氩气管，
18、
氦气管，
19、
压缩空气进气口，
20、
气体流量控制器，
21、
垫脚
。
具体实施方式
[0024]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制
。
[0025]本技术包括
PVD
腔体1；腔体安装架构4，位于所述
PVD
腔体1下方，固定连接所述
PVD
腔体1；工艺气体管道2，位于所述
PVD
腔体1下部，固定连通所述
PVD
腔体1；腔体安装架构面板8，位于所述腔体安装架构4一侧，固定连接所述腔体安装架构4；电气控制箱6，位于所述腔体安装架构4另一侧，固定连接所述腔体安装架构4；阀岛3，位于所述腔体安装架构4中部，固定连接所述腔体安装架构4；管线组件，位于所述腔体安装架构4底板上侧
。
[0026]所述管线组件包括进水管
9、
回水管
15、
真空管
16、
氩气管
17
及氦气管
18。
[0027]所述进水管9固定连接所述腔体安装架构面板8，所述进水管9固定连通一组进水气控阀
10
及电控三通阀
11
，所述进水气控阀
10
及所述电控三通阀
11
分别固定连接所述腔体安装架构4，所述回水管
15
固定连接所述腔体安装架构面板8，所述回水管
15
固定连通一组水流量计
14
，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种多功能的
PVD
腔体安装架构，其特征是：包括
PVD
腔体（1）；腔体安装架构（4），位于所述
PVD
腔体（1）下方，固定连接所述
PVD
腔体（1）；工艺气体管道（2），位于所述
PVD
腔体（1）下部，固定连通所述
PVD
腔体（1）；腔体安装架构面板（8），位于所述腔体安装架构（4）一侧，固定连接所述腔体安装架构（4）；电气控制箱（6），位于所述腔体安装架构（4）另一侧，固定连接所述腔体安装架构（4）；阀岛（3），位于所述腔体安装架构（4）中部，固定连接所述腔体安装架构（4）；管线组件，位于所述腔体安装架构（4）底板上侧
。2.
根据权利要求1所述的多功能的
PVD
腔体安装架构，其特征是：所述管线组件包括进水管（9）
、
回水管（
15
）
、
真空管（
16
）
、
氩气管（
17
）及氦气管（
18
）
。3.
根据权利要求2所述的多功能的
PVD
腔体安装架构，其特征是：所述进水管（9）固定连接所述腔体安装架构面板（8），所述进水管（9）固定连通一组进水气控阀（
10
）及电控三通阀（
11
），所述进水气控阀（
10
）及所述电控三通阀（
11
）分别固定连接所述腔体安装架构（4），所述回水管（
15
）固定连接所述腔体安装架构面板（8），所述回水管（
15
）固定连通一组水流量计（
14
），所述水流量计（
14
）固定连接所述腔体安装架构（4）
。4.
根据权利要求2所述的多功能的
PVD
腔体安装架构，其特征是：所述真空管（
...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛勇峰，王开兵，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：