一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，薄膜溅射设备包括载片台，载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，载片台的腔体内装载有晶圆，装置包括检测相机和控制箱，检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，控制箱包括控制箱体，控制箱体的正面嵌设有触摸屏，控制箱体内设有PLC，控制箱体上设有电源信号线接口，电源信号线接口的一端与薄膜溅射设备的电源导线连接、另一端与PLC导线连接，检测相机和触摸屏均与PLC电连接。本实用新型专利技术的检测装置具有体积小、安装调试便捷的特点，在不改变原有设备电路的前提下，有效检测腔体内的晶圆位置角度，控制薄膜溅射设备的运转与报警。转与报警。转与报警。

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置


[0001]本技术涉及半导体
，应用于薄膜金属化制程，具体涉及薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置。

技术介绍

[0002]在半导体技术中，薄膜溅射是金属互联的主要工艺手段。在开始溅射工艺之前，机械手臂会将晶圆从真空片架升降腔体中取出放置到腔体内对晶圆缺口进行定位。定位的原理是旋转晶圆，通过CCD传感器的模拟量数值计算并调整缺口的角度位置。即便是这样，准确性还是有细微误差。需要再此基础上进一步提升缺口角度的精确性，在不改变现有薄膜溅射设备的外观功能的同时加装本装置。

技术实现思路

[0003]本技术针对现有技术存在的问题和不足，提供一种新型的薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置。
[0004]本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
[0005]本技术提供一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，所述薄膜溅射设备包括载片台，其特点在于，所述载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，所述载片台的腔体内装载有晶圆，所述装置包括检测相机和控制箱，所述检测相机通过支架安装在透明玻璃的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种薄膜溅射设备中晶圆旋转角度检测装置，所述薄膜溅射设备包括载片台，其特征在于，所述载片台的腔体的顶部密封有透明玻璃，所述载片台的腔体内装载有晶圆，所述装置包括检测相机和控制箱，所述检测相机通过支架安装在透明玻璃的正上方，所述控制箱包括控制箱体，所述控制箱体的正面嵌设有触摸屏，所述控制箱体内设有PLC，...

【专利技术属性】
技术研发人员：王开兵，孙及，姜靖，张强，瓮晴晴，沈晓华，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：