【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，具体地讲，涉及一种用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件。
技术介绍
1、真空镀膜技术属于物理气相沉积成膜的方法，具有操作简单、溅射速率高、膜层致密等优点，在科研与生产中有广泛的应用。
2、现有的pvd溅射设备，主机台和工艺腔体采用固定连接。在不同工艺条件下，需要更换腔体，现有设备不方便实现工艺腔体更换。
3、如果能够设计出一种连接组件，实现各种工艺模块腔体与主机台方便有效的分解和连接，将方便实现pvd生产。
技术实现思路
1、本技术要解决的技术问题是提供一种用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，实现各种工艺模块腔体与主机台方便有效的分解和连接。
2、本技术采用如下技术方案实现专利技术目的：
3、一种用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，其特征是：包括连接组件；所述连接组件包括连接组件本体、o型密封圈及视窗玻璃；所述连接组件本体设置有o型密封圈安装槽，所述o型密封圈安装槽匹配所述o型密封圈，所述连接组件本体设置有视窗玻璃安装槽，所述视窗玻璃安装槽匹配所述视窗玻璃。
4、作为本技术方案的进一步限定，所述连接组件还包括视窗压板，所述视窗压板设置有一组穿孔，所述连接组件本体设置有一组螺纹孔，一组所述穿孔匹配一组所述螺纹孔。
5、作为本技术方案的进一步限定，所述视窗压板设置有视窗。
6、作为本技术方案的进一步限定，所述连接组件本体一侧设置有燕尾密封槽。
7、作为本技术方案的
8、作为本技术方案的进一步限定，所述燕尾密封槽截面斜边夹角为48°。
9、作为本技术方案的进一步限定，所述连接组件本体对应所述燕尾密封槽设置有一组缺口，所述缺口连通所述燕尾密封槽。
10、作为本技术方案的进一步限定，所述缺口的深度小于所述燕尾密封槽的深度。
11、作为本技术方案的进一步限定，所述连接组件本体固定连接机台，所述连接组件本体固定连接工艺腔体，所述机台固定连接ai相机。
12、作为本技术方案的进一步限定，所述ai相机正对所述视窗玻璃。
13、与现有技术相比，本技术的优点和积极效果是：
14、(1)本装置的连接组件组装在工艺腔体和机台之间，是晶圆进出两者之间的通道，同时提供密封的功能；通过特殊设计，能实现各种工艺模块腔体与机台方便有效的分解和连接。既能确保连接后的密封性，又能在工艺流程实施过程中通过该组件的视窗，利用ai相机全程监控机台传输机器人手臂的位置状态，提高整个pvd生产过程稳定进行。
15、(2)本装置的连接组件为新型模块化pvd溅射平台设计机台与各工艺腔体之间的连接，使按不同工艺更换腔体时方便快捷安装就位和工艺稳定。
16、(3)由于连接组件在垂直面密封，工艺腔体在与机台组装和分解的过程中，密封圈会有脱开现象，影响安装进度和密封效果，本装置的燕尾密封槽外窄内宽，能使密封圈既能紧密嵌入、无法松脱，又能在连接紧固中使密封圈有压缩延展释放空间，确保连接后的密封要求。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：包括连接组件(1)；
2.根据权利要求1所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述连接组件(1)还包括视窗压板(14)，所述视窗压板(14)设置有一组穿孔(142)，所述连接组件本体(11)设置有一组螺纹孔(115)，一组所述穿孔(142)匹配一组所述螺纹孔(115)。
3.根据权利要求2所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述视窗压板(14)设置有视窗(141)。
4.根据权利要求1所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述连接组件本体(11)一侧设置有燕尾密封槽(111)。
5.根据权利要求4所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述燕尾密封槽(111)外窄内宽。
6.根据权利要求4所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述燕尾密封槽(111)截面斜边夹角为48°。
7.根据权利要求4所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述连接组件本体(
8.根据权利要求7所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述缺口(112)的深度小于所述燕尾密封槽(111)的深度。
9.根据权利要求7所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述连接组件本体(11)固定连接机台(3)，所述连接组件本体(11)固定连接工艺腔体(4)，所述机台(3)固定连接AI相机(2)。
10.根据权利要求9所述的用于新型模块化PVD溅射设备的连接组件，其特征是：所述AI相机(2)正对所述视窗玻璃(13)。
...【技术特征摘要】
1.一种用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，其特征是：包括连接组件(1)；
2.根据权利要求1所述的用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，其特征是：所述连接组件(1)还包括视窗压板(14)，所述视窗压板(14)设置有一组穿孔(142)，所述连接组件本体(11)设置有一组螺纹孔(115)，一组所述穿孔(142)匹配一组所述螺纹孔(115)。
3.根据权利要求2所述的用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，其特征是：所述视窗压板(14)设置有视窗(141)。
4.根据权利要求1所述的用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，其特征是：所述连接组件本体(11)一侧设置有燕尾密封槽(111)。
5.根据权利要求4所述的用于新型模块化pvd溅射设备的连接组件，其特征是：所述燕尾密封槽(111)外窄内宽。
6.根据权利要求4所述的用于新型模...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛勇峰，王开兵，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。