本实用新型专利技术公开了一种用于调整PVD腔体水平的装置，其特征是：包括水平调节组件；所述水平调节组件包括调整螺丝、调整螺母、厚垫圈、防脱卡簧及固定压板；所述调整螺丝包括第一螺丝、调整块、第二螺丝及光杆，所述第一螺丝、所述调整块、所述第二螺丝及所述光杆依次固定连接，所述光杆设置有凹槽；所述调整螺母包括螺母、长圆环及大圆环，所述螺母及所述大圆环分别固定连接所述长圆环。本实用新型专利技术涉及半导体技术领域，具体地讲，涉及一种用于调整PVD腔体水平的装置。本实用新型专利技术要解决的技术问题是提供一种用于调整PVD腔体水平的装置，解决在腔体与机台连接中安装定位困难，水平位置难以调整的问题。整的问题。整的问题。
【技术实现步骤摘要】
一种用于调整PVD腔体水平的装置
[0001]本技术涉及半导体
，具体地讲，涉及一种用于调整PVD腔体水平的装置。
技术介绍
[0002]真空镀膜技术属于物理气相沉积成膜的方法，具有操作简单、溅射速率高、膜层致密等优点，在科研与生产中有广泛的应用。
[0003]在半导体技术中，薄膜溅射一般在真空腔体中进行。腔体的水平位置调整往往要和主机台一起调整，整个系统调平变的复杂，往往是主机可以调平，但是腔体又无法调平，本专利技术即是在这个背景下设计了一种可方便腔体调平的机构。
技术实现思路
[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种用于调整PVD腔体水平的装置，解决在腔体与机台连接中安装定位困难，水平位置难以调整的问题。
[0005]本技术采用如下技术方案实现专利技术目的：
[0006]一种用于调整PVD腔体水平的装置，其特征是：包括水平调节组件；所述水平调节组件包括调整螺丝、调整螺母、厚垫圈、防脱卡簧及固定压板；所述调整螺丝包括第一螺丝、调整块、第二螺丝及光杆，所述第一螺丝、所述调整块、所述第二螺丝及所述光杆依次固定连接，所述光杆设置有凹槽；所述调整螺母包括螺母、长圆环及大圆环，所述螺母及所述大圆环分别固定连接所述长圆环；所述固定压板设置有小环及大环，所述小环连通所述大环；所述防脱卡簧匹配所述凹槽，所述厚垫圈设置在所述第二螺丝与所述防脱卡簧之间；所述第二螺丝螺纹连接所述螺母。
[0007]作为本技术方案的进一步限定，所述长圆环的直径小于所述小环的直径。
[0008]作为本技术方案的进一步限定，所述大圆环的直径介于所述小环的直径与大环的直径之间。
[0009]作为本技术方案的进一步限定，所述大圆环上端面与所述大环上端面平齐，所述长圆环下端面与所述固定压板下端面平齐。
[0010]作为本技术方案的进一步限定，PVD腔体轴承连接一组安装螺母，所述第一螺丝螺纹连接所述安装螺母。
[0011]作为本技术方案的进一步限定，一组腔体支架的上端分别固定连接安装板，所述固定压板上设置有对称的穿孔，压紧螺丝穿过所述穿孔螺纹连接所述安装板。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果是：
[0013]（1）本装置利用水平调节组件快速精准就位，方便PVD腔体快捷进行水平调整。
[0014]（2）本装置的固定压板的小环与调整螺母的长圆环存在着5
‑
10mm的游动间隙，方便实现PVD腔体位置调整。
[0015]（3）本装置通过锁紧压紧螺丝，实现固定压板与安装板的固定连接，实现调整螺母
位置固定，进而实现PVD腔体固定，使用方便。
附图说明
[0016]图1为本技术的水平调节组件爆炸图。
[0017]图2为本技术的水平调节组件俯视图。
[0018]图3为本技术的图2中A
‑
A的剖视图。
[0019]图4为本技术的水平调节组件安装位置示意图。
[0020]图5为本技术的图4中A的局部放大图。
[0021]图中：
[0022]1、PVD腔体，11、安装螺母；
[0023]2、水平调节组件，21、调整螺丝，211、第一螺丝，212、调整块，213、第二螺丝，214、光杆，215、凹槽，22、调整螺母，221、螺母，222、长圆环，223、大圆环，23、固定压板，231、小环，232、大环，24、防脱卡簧，25、厚垫圈；
[0024]3、腔体支架，31、安装板。
具体实施方式
[0025]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制。
[0026]本技术包括水平调节组件2；所述水平调节组件2包括调整螺丝21、调整螺母22、厚垫圈25、防脱卡簧24及固定压板23；所述调整螺丝21包括第一螺丝211、调整块212、第二螺丝213及光杆214，所述第一螺丝211、所述调整块212、所述第二螺丝213及所述光杆214依次固定连接，所述光杆214设置有凹槽215；所述调整螺母22包括螺母221、长圆环222及大圆环223，所述螺母221及所述大圆环223分别固定连接所述长圆环222；所述固定压板23设置有小环231及大环232，所述小环231连通所述大环232；所述防脱卡簧24匹配所述凹槽215，所述厚垫圈25设置在所述第二螺丝213与所述防脱卡簧24之间；所述第二螺丝213螺纹连接所述螺母221。
[0027]所述长圆环222的直径小于所述小环231的直径。
[0028]所述大圆环223的直径介于所述小环231的直径与大环232的直径之间。
[0029]所述大圆环223上端面与所述大环232上端面平齐，所述长圆环222下端面与所述固定压板23下端面平齐。
[0030]PVD腔体1轴承连接一组安装螺母11，所述第一螺丝211螺纹连接所述安装螺母11。
[0031]一组腔体支架3的上端分别固定连接安装板31，所述固定压板23上设置有对称的穿孔233，压紧螺丝穿过所述穿孔233螺纹连接所述安装板31。
[0032]将三套水平调节组件2与PVD腔体1连接，将第一螺丝211与安装螺母11螺纹连接。连接好后，将固定压板23放置在腔体支架3的安装板31上，此时，将固定压板23与安装板31用压紧螺丝连接待紧固，根据装置结构，固定压板23的小环231与调整螺母22的长圆环222存在着5
‑
10mm的游动间隙，在大致调整好位置后，旋转调整螺丝21和调整螺母22，调整PVD腔体1水平，调整完毕后，锁紧固定压紧螺丝，使调整螺母22固定，固定压板23固定，完成水平方向和平面位置方向的调整。
[0033]本装置利用水平调节组件2快速精准就位，方便PVD腔体1快捷进行水平调整。
[0034]本装置的固定压板23的小环231与调整螺母22的长圆环222存在着5
‑
10mm的游动间隙，方便实现PVD腔体1位置调整。
[0035]本装置通过锁紧压紧螺丝，实现固定压板23与安装板31的固定连接，实现调整螺母22位置固定，进而实现PVD腔体1固定，使用方便。
[0036]以上公开的仅为本技术的一个具体实施例，但是，本技术并非局限于此，任何本领域的技术人员能思之的变化都应落入本技术的保护范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于调整PVD腔体水平的装置，其特征是：包括水平调节组件（2）；所述水平调节组件（2）包括调整螺丝（21）、调整螺母（22）、厚垫圈（25）、防脱卡簧（24）及固定压板（23）；所述调整螺丝（21）包括第一螺丝（211）、调整块（212）、第二螺丝（213）及光杆（214），所述第一螺丝（211）、所述调整块（212）、所述第二螺丝（213）及所述光杆（214）依次固定连接，所述光杆（214）设置有凹槽（215）；所述调整螺母（22）包括螺母（221）、长圆环（222）及大圆环（223），所述螺母（221）及所述大圆环（223）分别固定连接所述长圆环（222）；所述固定压板（23）设置有小环（231）及大环（232），所述小环（231）连通所述大环（232）；所述防脱卡簧（24）匹配所述凹槽（215），所述厚垫圈（25）设置在所述第二螺丝（213）与所述防脱卡簧（24）之间；所述第二螺丝（213）螺纹连接所述螺母（221）。2...
【专利技术属性】
技术研发人员：盛勇峰，王开兵，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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