一种自带冷却回路的制造技术

本实用新型专利技术公开了一种自带冷却回路的

【技术实现步骤摘要】
一种自带冷却回路的PVD腔体连接板


[0001]本技术涉及半导体
，具体地讲，涉及一种自带冷却回路的
PVD
腔体连接板
。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术属于物理气相沉积成膜的方法，具有操作简单，溅射速率高，膜层致密等优点，在科研与生产中有广泛的应用
。
[0003]在微纳米的半导体制造工艺中，应用材料磁控溅射台占据了大部分的市场，以应用材料
5500
为例，在溅射过程中会产生极大热量，大部分热量通过靶材背部的冷却水带走，但是随着工艺条件越来越苛刻，往往在功率器件的功率过程中，需要长时间，高功率进行溅射，仅仅依靠靶材背面的冷却水已经不能满足冷却的需求，在这种情况下，腔体的整体温度会慢慢上升，由此导致各种不期望看到的问题，比如
AL Whisker
，密封性能下降，
Outgas
等，会对沉积薄膜的质量产生非常大的影响，本专利技术即在此背景下设计
。

技术实现思路

[0004]本技术要解决的技术问题是提供一种自带冷却回路的
PVD
腔体连接板，方便实现
PVD
腔体冷却
。
[0005]本技术采用如下技术方案实现专利技术目的：
[0006]一种自带冷却回路的
PVD
腔体连接板，其特征是：包括
PVD
腔体；腔体连接板，设置在所述
PVD
腔体开口上方，固定连接所述
PVD
腔体；所述腔体连接板设置有进水口及出水口，所述腔体连接板内设置有第一水道
、
第二水道
、
第三水道
、
第四水道
、
第五水道
、
第六水道及第七水道；所述进水口连通所述第一水道的一端，所述第一水道的另一端固定连通所述第二水道，所述第二水道的一端连通所述第三水道的一端，所述第三水道连通所述第四水道，所述第四水道的一端连通所述第五水道，所述第五水道一端连通所述第六水道，所述第六水道一端连通所述第七水道的一端，所述第七水道的另一端连通所述出水口
。
[0007]作为本技术方案的进一步限定，所述第二水道另一端
、
所述第三水道另一端
、
所述第四水道另一端
、
所述第五水道另一端及所述第六水道另一端分别安装密封堵头
。
[0008]作为本技术方案的进一步限定，所述第一水道
、
所述第二水道
、
所述第三水道
、
所述第四水道
、
所述第五水道
、
所述第六水道及所述第七水道设置在所述腔体连接板中心孔四周
。
[0009]作为本技术方案的进一步限定，所述第二水道
、
所述第四水道及所述第六水道与所述腔体连接板相应的侧壁平行
。
[0010]作为本技术方案的进一步限定，所述腔体连接板对应所述进水口及所述出水口分别固定连接螺纹水管接口
。
[0011]作为本技术方案的进一步限定，所述腔体连接板固定连接靶材座
。
[0012]与现有技术相比，本技术的优点和积极效果是：
[0013](1)
本装置过特殊设计的冷却水循环水道，能迅速有效的降低
PVD
工艺时的
PVD
腔体环境温度，从而确保
PVD
工艺的参数在控制范围内，提高产品质量，也提升了设备的可维护性
。
[0014](2)
本装置利用水的比热容高的特性，在
PVD
腔体与靶材座之间的腔体连接板内部建立冷却循环水道，这样
PVD
腔体内部的热量通过内部衬套，经由腔体连接板带走
。PVD
腔体本身也通有冷却水，可以将腔体内部的辐射热量带走
。
[0015](3)
本装置通过结构
、
外形设计，工艺设计来实现产品要求，不仅可以降低实际工艺中加工件的温度，有可以满足大部分生产研发中机台对温度的限制
。
附图说明
[0016]图1为本技术的腔体连接板安装位置示意
。
[0017]图2为本技术的腔体连接板立体结构示意图
。
[0018]图3为本技术的侧视图
。
[0019]图4为本技术的图3中
A
‑
A
的剖视图
。
[0020]图中：
[0021]1、
靶材座；
[0022]2、
腔体连接板，
21、
进水口，
22、
出水口，
23、
第一水道，
24、
第二水道，
25、
第三水道，
26、
第四水道，
27、
第五水道，
28、
第六水道，
29、
第七水道，
210、
定位凸起，
211、
定位槽，
212、
定位杆，
213、
螺孔；
[0023]3、PVD
腔体；
[0024]4、
螺纹水管接口
。
具体实施方式
[0025]下面结合附图，对本技术的具体实施方式进行详细描述，但应当理解本技术的保护范围并不受具体实施方式的限制
。
[0026]本技术包括
PVD
腔体3；腔体连接板2，设置在所述
PVD
腔体3开口上方，固定连接所述
PVD
腔体3；所述腔体连接板2设置有进水口
21
及出水口
22
，所述腔体连接板2内设置有第一水道
23、
第二水道
24、
第三水道
25、
第四水道
26、
第五水道
27、
第六水道
28
及第七水道
29
；所述进水口
21
连通所述第一水道
23
的一端，所述第一水道
23
的另一端固定连通所述第二水道
24
，所述第二水道
24
的一端连通所述第三水道
25
的一端，所述第三水道
25
连通所述第四水道
26
，所述第四水道
26
的一端连通所述第五水道
27
，所述第五水道
27
一端连通所述第六水道
28
，所述第六水道
28
一端连通所述第七水道
29
的一端，所述第七水道
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种自带冷却回路的
PVD
腔体连接板，其特征是：包括
PVD
腔体
(3)
；腔体连接板
(2)
，设置在所述
PVD
腔体
(3)
开口上方，固定连接所述
PVD
腔体
(3)
；所述腔体连接板
(2)
设置有进水口
(21)
及出水口
(22)
，所述腔体连接板
(2)
内设置有第一水道
(23)、
第二水道
(24)、
第三水道
(25)、
第四水道
(26)、
第五水道
(27)、
第六水道
(28)
及第七水道
(29)
；所述进水口
(21)
连通所述第一水道
(23)
的一端，所述第一水道
(23)
的另一端固定连通所述第二水道
(24)
，所述第二水道
(24)
的一端连通所述第三水道
(25)
的一端，所述第三水道
(25)
连通所述第四水道
(26)
，所述第四水道
(26)
的一端连通所述第五水道
(27)
，所述第五水道
(27)
一端连通所述第六水道
(28)
，所述第六水道
(28)
一端连通所述第七水道
(29)
的一端，所述第七水道
(29)
的另一端连通所述出水口
(22)。2.
根据权利要求1所述的自带冷却回路的<...

【专利技术属性】
技术研发人员：盛勇峰，王开兵，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：