【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体，应用于薄膜金属化制程，特别是涉及一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置。
技术介绍
1、在半导体技术中，金属薄膜溅射需要在溅射台的靶材背面通水，并且有磁铁在靶材背面持续旋转。由于一些特殊情况或设备异常，靶材背面水流中断时磁铁需要立即停止。现有的设备电路不能可靠的提供保护，磁铁在水流停止的情况下有可能继续旋转，本申请即是在这个背景下设计了一种更加可靠的保护电路装置。
技术实现思路
1、本技术针对现有技术存在的问题和不足，提供一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置。
2、本技术是通过下述技术方案来解决上述技术问题的：
3、本技术提供一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，其特点在于，其包括水流传感器、继电器和磁铁电机驱动器，所述水流传感器接入溅射台的靶材背面的回水管通道中，所述水流传感器的供电端接入电源，所述水流传感器的信号输出端与继电器的线圈的一端电连接、还通过二极管接入公共端，所述继电器的线圈接入公共端，所述继电器的公共触点接入电源，所述继电器的常开触点与磁铁电机驱动器的正极供电端电连接，所述磁铁电机驱动器的负极接入公共端。
4、本技术的积极进步效果在于：本技术设计了在靶材背面的水流停止时，利用本断电保护装置直接切断磁铁电机驱动器的电源供电，使磁铁停止旋转，以达到更加可靠的保护，有效避免了磁铁继续旋转导致可能出现其它异常的情况。
【技术保护点】
1.一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，其特征在于，其包括水流传感器、继电器和磁铁电机驱动器，所述水流传感器接入溅射台的靶材背面的回水管通道中，所述水流传感器的供电端接入电源，所述水流传感器的信号输出端与继电器的线圈的一端电连接、还通过二极管接入公共端，所述继电器的线圈接入公共端，所述继电器的公共触点接入电源，所述继电器的常开触点与磁铁电机驱动器的正极供电端电连接，所述磁铁电机驱动器的负极接入公共端。
2.如权利要求1所述的用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，其特征在于，所述继电器的公共触点通过保险丝接入电源。
3.如权利要求1所述的用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，其特征在于，所述电源为24V电源。
【技术特征摘要】
1.一种用于溅射台腔体水流停止的断电保护装置，其特征在于，其包括水流传感器、继电器和磁铁电机驱动器，所述水流传感器接入溅射台的靶材背面的回水管通道中，所述水流传感器的供电端接入电源，所述水流传感器的信号输出端与继电器的线圈的一端电连接、还通过二极管接入公共端，所述继电器的线圈接入公共端，所述继电器的公共触点接入电源，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：瓮晴晴，王开兵，
申请(专利权)人：上海悦匠实业有限公司，
类型：新型
国别省市：
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