一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘制造技术

本申请涉及一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，涉及镀膜设备技术领域，为了解决待镀膜工件的尺寸不一，普通托板不易对不同尺寸的待镀膜工件进行固定的问题，其包括框型基座

【技术实现步骤摘要】
一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘


[0001]本申请涉及镀膜设备
，尤其是涉及一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘
。

技术介绍

[0002]变频空调压缩机
、
工业节能电机和新能源汽车驱动电机用钕铁硼永磁材料必须具备高矫顽力
、
高磁能积
、
高耐腐蚀性等特性，这对传统钕铁硼永磁材料制造行业是个巨大的挑战，对钕铁硼永磁材料的耐腐蚀性能提出了更高的要求
。
[0003]以钕铁硼永磁材料中常见的烧结钕铁硼永磁铁（
NdFeB
）为例，
NdFeB
的
Nd
是化学活性最高的元素之一，其各相间电化学位相差较大，易引起电化学腐蚀；且
NdFeB
烧结过程中表面容易出现微孔
、
缺陷
、
结构疏松等缺陷，常常应用在高温
、
高湿和电化学环境中，极容易发生腐蚀，导致矫顽力严重下降，造成设备故障，带来巨大财产损失
。
[0004]目前钕铁硼永磁材本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.
一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，包括：框型基座（1）；固定组件（2），所述固定组件（2）包括若干相互垂直设置的第一边框（
21
）和第二边框（
22
），所述第一边框（
21
）和第二边框（
22
）均安装在基座（1）上，所述固定组件（2）还包括滑动设置于所述第一边框（
21
）上的若干横向夹板（
26
），以及滑动设置于所述第二边框（
22
）上的若干纵向夹板（
27
）
,
所述固定组件（2）呈网格状，形成多个用于夹持待镀膜工件（6）的夹持空间；固定件（3），所述固定件（3）用于将横向夹板（
26
）固定在第一边框（
21
）上以及将纵向夹板（
27
）固定在第二边框（
22
）上
。2.
根据权利要求1所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述横向夹板（
26
）内开设有沿横向夹板（
26
）长度方向设置的贯穿槽（
261
），所述纵向夹板（
27
）滑动设置在贯穿槽（
261
）内
。3.
根据权利要求1所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘，其特征在于，所述第一边框（
21
）
、
第二边框（
22
）沿着各自的长度方向均开设有定位槽（
23
），所述定位槽（
23
）贯穿第一边框（
21
）
、
第二边框（
22
）的顶面与底面，所述定位槽（
23
）中穿设有用于将第一边框（
21
）
、
第二边框（
22
）固定在基座（1）上的锁定件（
24
）
。4.
根据权利要求3所述的一种网格化设计的磁控溅射防腐镀膜用托盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：肖剑，苏艳波，刘旭，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：发明
国别省市：